109 年 國立成功大學電機工程學系碩士班甲組《電子材料概論》

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第 1 題30 分

Briefly explain the following items (30%)
(a) Screw dislocation
(b) Bragg's law for x-ray diffraction
(c) Intermetallic compounds
(d) Schottky defect
(e) Burger's vector
(f) Fick's first law for solid-state diffusion
(g) Grain boundary
(h) Vacancy
(i) Eutectic reaction
(j) Peritectoid reaction

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這一題的完整詳解

本題為選擇題,共十個子題,涵蓋了電子材料中的多個基本概念,包含缺陷、晶體學、擴散、相圖等。需分別對每個名詞進行簡潔但準確的定義與說明。

(a) Screw dislocation: 螺位錯是一種線缺陷,其滑移面和螺鏇面是垂直的。想像一條螺絲的螺紋,其形狀就是螺位錯的幾何模型。在晶體中,它是由於在滑移平面上插入或移除半個原子層而產生的,導致原子排列發生螺旋狀的扭曲。

(b) Bragg's law for x-ray diffraction: 布拉格定律是描述 X 光或中子繞射現象的定律。當入射波與晶體中的原子層發生相干散射時,只有當入射波與原子層的夾角滿足特定條件時,才會產生增強的繞射波。其數學表達式為 2dsin⁡θ=nλ2d \sin\theta = n\lambda,其中 dd 是晶面間距,θ\theta 是入射角(或繞射角的一半),nn 是整數(繞射級數),λ\lambda 是入射波的波長。

(c) Intermetallic compounds: 金屬互化物是指由兩種或兩種以上金屬元素,或金屬與非金屬元素形成的具有明確化學計量比、規則的晶體結構以及介於金屬與離子/共價化合物之間的性質的化合物。它們通常具有較高的硬度、熔點和脆性,且導電性介於純金屬和陶瓷之間。

(d) Schottky defect: 蕭特基缺陷是晶體中常見的點缺陷。在離子晶體中,它表現為一對陽離子空位和陰離子空位的存在,以維持整個晶體的電中性。例如,在 NaCl 晶體中,一個 Na+^+ 空位和一個 Cl−^- 空位的組合就構成一個蕭特基缺陷。

(e) Burger's vector: 柏格向量(或稱布氏向量)是描述位錯大小和方向的向量。它定義為在有位錯的晶體中,從某一點沿著一封閉回路移動,然後在無位錯的理想晶體中從起始點繪製相同尺寸和形狀的回路,最後從終點到起始點的向量。對於螺位錯,柏格向量垂直於位錯線;對於刃位錯,柏格向量平行於位錯線。

(f) Fick's first law for solid-state diffusion: 費克第一定律描述了穩態擴散的速率與濃度梯度之間的關係。

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第 2 題10 分

Compare the bonding types and electric conductivity of polymer, ceramic and metal. (10%)

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本題要求比較聚合物 (polymer)、陶瓷 (ceramic) 和金屬 (metal) 三種材料的鍵結類型與導電性。

1. 鍵結類型 (Bonding Types)

  • 金屬 (Metal): 主要鍵結類型是金屬鍵 (Metallic Bonding)。金屬原子傾向於釋放出價電子,形成自由電子海 (sea of electrons)。這些自由電子在整個金屬晶體中自由移動,將帶正電的金屬離子束縛在一起。金屬鍵的特點是電子是離域的,這使得金屬具有良好的導電性和延展性。

  • 陶瓷 (Ceramic): 主要鍵結類型是離子鍵 (Ionic Bonding) 和共價鍵 (Covalent Bonding),或兩者的混合。陶瓷通常由金屬元素(通常是電正性較強的)和非金屬元素(通常是電負性較強的)組成。例如,氧化物、氮化物、碳化物等。離子鍵是由電子從金屬原子轉移到非金屬原子而形成的,產生靜電吸引力。共價鍵則是由原子間共享電子對而形成。由於電子被緊密束縛在離子或共價鍵中,離域電子極少,因此陶瓷通常是電和熱的絕緣體。

  • 聚合物 (Polymer): 主要鍵結類型是共價鍵 (Covalent Bonding),原子之間通過共享電子對形成強的鍵結。在聚合物鏈內部,共價鍵非常穩定。然而,聚合物分子之間通常只有較弱的凡得瓦力 (Van der Waals forces) 或氫鍵 (Hydrogen bonds) 相互作用。共價鍵的電子是局域的,不自由移動,因此大多數聚合物是電絕緣體。少數特殊聚合物(如導電聚合物)由於其特殊的分子結構(如共軛雙鍵系統)允許電子離域,因而具有一定的導電性。

2. 電導性 (Electric Conductivity)

  • 金屬 (Metal): 高導電性。由於存在大量的自由移動的電子,金屬能夠非常有效地傳導電流。其電導率通常在 10610^6 至 10810^8 S/m 的範圍。
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第 3 題10 分

Indicate the types of polarization of a dielectric material and explain the related mechanism. (10%)

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本題要求說明介電材料的極化類型及其機制。介電材料在電場作用下會產生極化現象,即材料內部產生宏觀的電偶極矩。常見的極化類型有電子極化、離子極化、取向極化和空間電荷極化。

1. 電子極化 (Electronic Polarization)

  • 機制: 當介電材料置於外電場 EE 中時,原子核(帶正電)和核外電子雲(帶負電)會發生相對位移。原子核受到電場的推動,電子雲受到電場的吸引。這種位移導致原子內部產生一個微小的電偶極矩。
  • 特點: 這種極化是所有原子和分子都具有的,與溫度無關,響應速度非常快(約 10−1510^{-15} s),是介電損耗的主要來源之一。其極化率 αe\alpha_e 較小。

2. 離子極化 (Ionic Polarization)

  • 機制: 僅存在於含有離子鍵的化合物(如離子晶體或極性分子)中。在外電場作用下,陽離子和陰離子會沿著相反的方向移動,導致正負電荷中心分離,產生一個淨的電偶極矩。
  • 特點: 這種極化只發生在離子化合物中。響應速度比電子極化慢(約 10−1310^{-13} s)。其極化率 αi\alpha_i 比電子極化大。

3. 取向極化 (Orientation Polarization)

  • 機制: 僅存在於具有永久電偶極矩的分子(如極性分子,例如 H2_2O)中。在外電場作用下,這些永久電偶極矩會傾向於沿電場方向排列,從而產生宏觀的淨電偶極矩。然而,熱運動會阻止它們完全排列。
  • 特點: 這種極化依賴於分子的永久偶極矩,並且與溫度有關(溫度越高,熱運動越劇烈,取向極化越弱)。響應速度相對較慢(約 10−1010^{-10} s)。其極化率 αo\alpha_o 通常較大。

4. 空間電荷極化 (Space Charge Polarization)

  • 機制: 這種極化是當材料中存在載子(如電子、離子)在電場作用下發生不均勻累積時產生的。例如,在異質界面、雜質區域或晶界處,載子的遷移受阻,導致電荷累積,形成宏觀的偶極矩。
  • 特點: 這種極化僅在非均勻材料或存在載子遷移的材料中發生。響應速度最慢(通常在 10−510^{-5} s 以上),對頻率非常敏感,在較高頻率下會消失。

極化率與介電常數的關係:

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第 4 題20 分

Using a 0.1542 nm Cu-Kα x-ray, we get an x-ray diffraction pattern of metallic tungsten (W). (a) What is the possible crystal structure of this material? Assume that it is either FCC or BCC. (b) Label each diffraction peak referring to its corresponding plane. (c) Determine the interplanar spacing for the first peak from low angle side. (d) Determine the atomic radius. (20%)
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🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 1 頁

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這一題的完整詳解

本題是關於 X 光繞射在金屬鎢 (W) 材料分析的應用。已知使用的 X 光波長為 λ=0.1542\lambda = 0.1542 nm。題目假設鎢的晶體結構為 FCC 或 BCC,並給出了繞射強度與繞射角 2θ2\theta 的圖。

核心觀念:

  • 布拉格定律 (2dsin⁡θ=nλ2d \sin\theta = n\lambda)
  • FCC 和 BCC 晶體的結構因子 (Structure factor) 決定了哪些晶面會產生繞射。
  • FCC 和 BCC 晶體的面間距公式 (dhkl=ah2+k2+l2d_{hkl} = \frac{a}{\sqrt{h^2+k^2+l^2}})。
  • FCC 和 BCC 晶體的原子半徑與晶格常數的關係。

解題步驟:

(a) 確定可能的晶體結構 (FCC 或 BCC)

結構因子決定了哪些晶面會產生繞射。對於 BCC 結構,只有當 h+k+lh+k+l 為偶數時,繞射才會發生。對於 FCC 結構,只有當 h,k,lh, k, l 皆為奇數或皆為偶數時,繞射才會發生。

我們觀察圖中的繞射峰,從低角度到高角度,其 2θ2\theta 值約為 40.2° 和 58.15°。
首先,我們需要知道 BCC 和 FCC 結構允許的最小幾個晶面繞射角。
對於 BCC 結構,允許的晶面指數 (hkl) 及其 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 值為:
(110) → 12+12+02=21^2+1^2+0^2 = 2
(200) → 22+02+02=42^2+0^2+0^2 = 4
(211) → 22+12+12=62^2+1^2+1^2 = 6
(220) → 22+22+02=82^2+2^2+0^2 = 8
(310) → 32+12+02=103^2+1^2+0^2 = 10
(222) → 22+22+22=122^2+2^2+2^2 = 12
...

對於 FCC 結構,允許的晶面指數 (hkl) 及其 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 值為:
(111) → 12+12+12=31^2+1^2+1^2 = 3
(200) → 22+02+02=42^2+0^2+0^2 = 4
(220) → 22+22+02=82^2+2^2+0^2 = 8
(311) → 32+12+12=113^2+1^2+1^2 = 11
(222) → 22+22+22=122^2+2^2+2^2 = 12
...

我們比較兩個峰的相對位置。
第一個峰的 2θ1≈40.2∘2\theta_1 \approx 40.2^\circ, 則 θ1≈20.1∘\theta_1 \approx 20.1^\circ。
第二個峰的 2θ2≈58.15∘2\theta_2 \approx 58.15^\circ, 則 θ2≈29.075∘\theta_2 \approx 29.075^\circ。

為了判斷是 BCC 還是 FCC,我們可以看這兩個峰對應的 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 值的比例。
若為 BCC,可能的 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 順序為 2, 4, 6, 8, 10, 12...
若為 FCC,可能的 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 順序為 3, 4, 8, 11, 12...

從圖上看,第一個峰的 2θ2\theta 值較小,對應的 dd 值較大。
假設第一個峰是 (110) for BCC,則 h2+k2+l2=2h^2+k^2+l^2 = 2。
假設第一個峰是 (111) for FCC,則 h2+k2+l2=3h^2+k^2+l^2 = 3。

我們來計算一下兩種結構下,如果第一個峰對應 (110) 或 (111) 時,第二個峰可能的 h2+k2+l2h^2+k^2+l^2 值,以及它們的 2θ2\theta 值。

情況一:假設為 BCC 結構
若第一個峰是 (110),則 h2+k2+l2=2h^2+k^2+l^2 = 2。
從圖上看,第二個峰的 2θ2\theta 值比第一個峰大約 58.15∘−40.2∘=17.95∘58.15^\circ - 40.2^\circ = 17.95^\circ。
對應的 dd 值與 sin⁡θ\sin\theta 成反比。
sin⁡θ1=sin⁡(20.1∘)≈0.3436\sin\theta_1 = \sin(20.1^\circ) \approx 0.3436
sin⁡θ2=sin⁡(29.075∘)≈0.4860\sin\theta_2 = \sin(29.075^\circ) \approx 0.4860

若第一個峰是 (110) (BCC),則 d1∝12d_1 \propto \frac{1}{\sqrt{2}}。
若第二個峰是 (200) (BCC),則 d2∝14=12d_2 \propto \frac{1}{\sqrt{4}} = \frac{1}{2}。
比例關係:d1d2=1/21/2=22=2≈1.414\frac{d_1}{d_2} = \frac{1/\sqrt{2}}{1/2} = \frac{2}{\sqrt{2}} = \sqrt{2} \approx 1.414
sin⁡θ1sin⁡θ2=0.34360.4860≈0.707≈12\frac{\sin\theta_1}{\sin\theta_2} = \frac{0.3436}{0.4860} \approx 0.707 \approx \frac{1}{\sqrt{2}}
所以 d1d2=sin⁡θ2sin⁡θ1≈0.48600.3436≈1.414\frac{d_1}{d_2} = \frac{\sin\theta_2}{\sin\theta_1} \approx \frac{0.4860}{0.3436} \approx 1.414。
這與 BCC 的 (110) 和 (200) 晶面的比例 2\sqrt{2} 是吻合的。
因此,第一個峰很可能是 (110),第二個峰很可能是 (200)。

情況二:假設為 FCC 結構
若第一個峰是 (111),則 h2+k2+l2=3h^2+k^2+l^2 = 3。
若第二個峰是 (200) (FCC),則 h2+k2+l2=4h^2+k^2+l^2 = 4。
比例關係:d1d2=1/31/4=43=23≈1.155\frac{d_1}{d_2} = \frac{1/\sqrt{3}}{1/\sqrt{4}} = \frac{\sqrt{4}}{\sqrt{3}} = \frac{2}{\sqrt{3}} \approx 1.155

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第 5 題20 分

(a) Calculate the planar atomic density in atoms per square millimeter for the (0001) plane in HCP beryllium, which has lattice constants of a=0.2286 nm and c= 0.3583 nm. (b) Compare the atomic packing factors (the volume fraction of atoms in an unit cell) of the bcc, fcc, and hcp crystal structures. (20%)

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這一題的完整詳解

本題包含兩個部分,(a) 要求計算六方密堆積 (HCP) 結構的特定晶面原子密度,(b) 要求比較 BCC、FCC 和 HCP 三種常見晶體結構的原子堆積因子。

部分 (a): 計算 HCP 鈹 (Beryllium) 的 (0001) 晶面原子密度

核心觀念:

  • HCP 晶體的單位晶胞結構。
  • 平面原子密度 (Planar Atomic Density, PAD) 的定義:單位面積上的原子數。PAD = (單位晶胞中落在該晶面上的原子數) / (該晶面的面積)。
  • HCP 晶格常數 aa 和 cc 的關係。

解題步驟:

HCP (Hexagonal Close-Packed) 結構的單位晶胞是一個六方柱體。
晶格常數為 aa 和 cc。
(0001) 晶面是 HCP 結構中的底面,它是一個正六邊形。

  1. 計算 (0001) 晶面的面積:
    HCP 單位晶胞的底面是一個邊長為 aa 的正六邊形。
    一個正六邊形的面積可以看作是六個邊長為 aa 的正三角形的面積之和。
    每個正三角形的面積為 34a2\frac{\sqrt{3}}{4}a^2。
    所以,正六邊形的面積為 6×34a2=332a26 \times \frac{\sqrt{3}}{4}a^2 = \frac{3\sqrt{3}}{2}a^2。
    另外一種計算方式:由兩個平行邊長為 aa 的三角形組成,高為 2×32a=3a2 \times \frac{\sqrt{3}}{2}a = \sqrt{3}a。面積為 a×3a=3a2a \times \sqrt{3}a = \sqrt{3}a^2。這是平行四邊形。
    正六邊形由兩個平行四邊形組成,每個平行四邊形的面積為 a×(32a)×2=3a2a \times (\frac{\sqrt{3}}{2}a) \times 2 = \sqrt{3}a^2.
    啊,這個計算方式有誤。
    一個邊長為 aa 的正六邊形,其面積是 6×(12a×asin⁡(60∘))=3a232=332a26 \times (\frac{1}{2} a \times a \sin(60^\circ)) = 3 a^2 \frac{\sqrt{3}}{2} = \frac{3\sqrt{3}}{2} a^2。
    或者,可以將其看作一個矩形(寬度為 2×32a=3a2 \times \frac{\sqrt{3}}{2}a = \sqrt{3}a,高度為 aa)加上兩個三角形。
    最直接的理解是,它由六個等邊三角形組成,邊長為 aa。
    一個等邊三角形面積是 34a2\frac{\sqrt{3}}{4}a^2。
    所以,正六邊形面積 A=6×34a2=332a2A = 6 \times \frac{\sqrt{3}}{4}a^2 = \frac{3\sqrt{3}}{2}a^2。

    給定的 a=0.2286a = 0.2286 nm。
    A=332(0.2286 nm)2A = \frac{3\sqrt{3}}{2} (0.2286 \text{ nm})^2
    A=3×1.7322×(0.05225796) nm2A = \frac{3 \times 1.732}{2} \times (0.05225796) \text{ nm}^2
    A≈2.598×0.05225796 nm2≈0.13577 nm2A \approx 2.598 \times 0.05225796 \text{ nm}^2 \approx 0.13577 \text{ nm}^2

  2. 計算單位晶胞中落在 (0001) 晶面上的原子數:
    HCP 單位晶胞包含 6 個原子。
    (0001) 晶面是底面,它包含了:

    • 頂點上的原子:有 6 個頂點,每個頂點被 3 個晶胞共用(在六方晶系中,頂點原子被 6 個晶胞共用,但考慮到底面,這裡的共用因子是 3)。
    • 中心原子:底面中心有一個原子,但這個原子是屬於上層或下層的。
    • HCP 結構的原子分佈:
      HCP 單位晶胞的原子數是 6。
      頂點原子:12 個頂點,每個頂點原子屬於 6 個晶胞,所以總共 12×16=212 \times \frac{1}{6} = 2 個原子。
      底面和頂面的中心原子:2 個,每個屬於 2 個晶胞,所以 2×12=12 \times \frac{1}{2} = 1 個原子。
      內部原子:3 個。
      總計 2+1+3=62+1+3 = 6 個原子。

    對於 (0001) 晶面,我們關注的是平面上的原子。
    在 HCP 結構中,(0001) 晶面是由位於 z=0z=0 和 z=cz=c 的原子層構成的。
    位於 z=0z=0 的原子層:有 6 個頂點原子,每個頂點原子屬於 3 個晶胞(沿 z 軸方向),所以落在底面上的頂點原子貢獻為 6×13=26 \times \frac{1}{3} = 2 個原子。
    位於 z=cz=c 的原子層(頂面)也是一樣,也貢獻 2 個原子。
    所以,(0001) 晶面上有 2+2=42+2=4 個原子。
    另外一種理解:HCP 單位晶胞的底面是一個正六邊形。在這個六邊形內部,有 6 個頂點,每個頂點上的原子貢獻 1/31/3 給這個晶胞的底面。所以頂點原子總共貢獻 6×(1/3)=26 \times (1/3) = 2 個原子。
    在 HCP 結構中,(0001) 晶面上的原子實際上是位於晶胞頂點的原子。每個頂點原子被 3 個相鄰的六方晶胞共享。因此,一個六方晶胞的底面((0001) 晶面)上的原子數是 6×13=26 \times \frac{1}{3} = 2。

    重新確認 HCP 單位晶胞結構和原子數:
    HCP 單位晶胞是個六方柱。
    頂點原子:12 個,每個貢獻 1/61/6。總計 12×1/6=212 \times 1/6 = 2。
    底面和頂面的中心原子:2 個,每個貢獻 1/21/2。總計 2×1/2=12 \times 1/2 = 1。
    內部原子:3 個。
    總原子數 = 2+1+3=62+1+3 = 6。

    (0001) 晶面的原子數:
    (0001) 晶面是六方柱的底面。
    底面上有 6 個頂點,每個頂點原子貢獻 1/31/3 給這個底面(因為一個頂點被 3 個相鄰的六方晶胞共享)。
    所以,底面上的原子數為 6×13=26 \times \frac{1}{3} = 2。
    頂面 (0001) 也是一樣,也貢獻 2 個原子。
    所以,(0001) 晶面上的原子數是 2。

  3. 計算平面原子密度 (PAD):
    PAD = (單位晶胞中落在 (0001) 晶面上的原子數) / ((0001) 晶面的面積)
    PAD = 2 atoms0.13577 nm2\frac{2 \text{ atoms}}{0.13577 \text{ nm}^2}
    PAD ≈14.73\approx 14.73 atoms/nm2^2

  4. 將單位轉換為 atoms/mm2^2:
    1 nm = 10−910^{-9} m
    1 mm = 10−310^{-3} m
    所以,1 nm = 10−610^{-6} mm
    1 nm2^2 = (10−6 mm)2=10−12(10^{-6} \text{ mm})^2 = 10^{-12} mm2^2

    PAD = 14.73 atoms/nm2×1 nm210−12 mm214.73 \text{ atoms/nm}^2 \times \frac{1 \text{ nm}^2}{10^{-12} \text{ mm}^2}
    PAD = 14.73×101214.73 \times 10^{12} atoms/mm2^2
    PAD = 1.473×10131.473 \times 10^{13} atoms/mm2^2

部分 (b): 比較 BCC, FCC, HCP 的原子堆積因子 (APF)

核心觀念:

  • 原子堆積因子 (Atomic Packing Factor, APF) 的定義:APF = (單位晶胞內原子體積) / (單位晶胞體積)。
  • APF = Number of atoms per unit cell×Volume of one atomVolume of unit cell\frac{\text{Number of atoms per unit cell} \times \text{Volume of one atom}}{\text{Volume of unit cell}}。
    其中,原子體積為 43πR3\frac{4}{3}\pi R^3,其中 RR 是原子半徑。

解題步驟:

  1. BCC (Body-Centered Cubic)
    • 單位晶胞中的原子數 (N) = 2。
    • 原子間的關係:原子在體對角線方向上緊密接觸。體對角線長度為 3a=4R\sqrt{3}a = 4R。所以 a=4R3a = \frac{4R}{\sqrt{3}}。
    • 單位晶胞體積 Vcell=a3=(4R3)3=64R333V_{cell} = a^3 = (\frac{4R}{\sqrt{3}})^3 = \frac{64R^3}{3\sqrt{3}}。
    • 單位晶胞內原子體積 = N×43πR3=2×43πR3=83πR3N \times \frac{4}{3}\pi R^3 = 2 \times \frac{4}{3}\pi R^3 = \frac{8}{3}\pi R^3。
🔒

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第 6 題10 分

Draw the band diagram of a (a) Schottky contact of metal and p-type semiconductor and (b) heterojunction of direct Γ band gap system of n-Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As (Eg=1.85 eV) and n-GaAs (1.43 eV), in which the band gap difference is approximately 2/3 in the conduction band and 1/3 in the valence band. (10%)

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本題要求繪製兩種異質接面的能帶圖:(a) 金屬與 P 型半導體的蕭特基接面,(b) 直接帶隙系統的 n 型 Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As 與 n 型 GaAs 的異質接面。

部分 (a): 金屬與 P 型半導體的蕭特基接面 (Schottky contact of metal and p-type semiconductor)

核心觀念:

  • 蕭特基接面是指金屬與半導體形成的接面。
  • 能帶圖表示了能帶的相對位置,包括導帶底 (EcE_c)、價帶頂 (EvE_v)、費米能階 (EFE_F)。
  • 在接面形成時,為了達到熱力學平衡,金屬和半導體的費米能階必須對齊。
  • 金屬功函數 ϕm\phi_m 和半導體功函數 ϕs\phi_s 的關係決定了接面類型(歐姆接觸或蕭特基阻擋接觸)。對於 P 型半導體,ϕs=χs+(Eg−EF)\phi_s = \chi_s + (E_g - E_F),其中 χs\chi_s 是電子親和勢,EgE_g 是帶隙,EFE_F 離價帶頂較近。
  • 歐姆接觸 (Ohmic contact): 當 ϕm<ϕs\phi_m < \phi_s (對於 P 型半導體),形成歐姆接觸,能帶彎曲很小,載子容易隧穿。
  • 蕭特基阻擋接觸 (Schottky barrier contact): 當 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s (對於 P 型半導體),形成蕭特基阻擋接觸,能帶彎曲較大,形成勢壘。

繪製步驟:

  1. 繪製獨立的金屬和 P 型半導體能帶圖:

    • 金屬: 導帶和價帶重疊,只有一個費米能階 EFmE_{Fm}。
    • P 型半導體: 導帶底 Ec,sE_{c,s},價帶頂 Ev,sE_{v,s}。由於是 P 型,費米能階 EF,sE_{F,s} 靠近價帶頂 Ev,sE_{v,s}。
  2. 接面形成後的費米能階對齊:
    將金屬和 P 型半導體接觸後,它們的費米能階必須對齊,即 EFm=EF,s=EFE_{Fm} = E_{F,s} = E_F。

  3. 繪製彎曲的能帶:

    • 由於費米能階對齊,且金屬和半導體有不同的功函數和電子親和勢,它們的能帶會發生彎曲,以形成一個共同的費米能階。
    • 對於 P 型半導體,當形成蕭特基阻擋接觸時(假設 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s),半導體的能帶會向上彎曲,形成一個向下的勢壘。
    • 在接面處,半導體的導帶底 Ec,sE_{c,s} 和價帶頂 Ev,sE_{v,s} 都會向上彎曲。
    • 金屬的能帶在接面附近幾乎是平坦的。
    • 標示出金屬的功函數 ϕm\phi_m 和半導體的功函數 ϕs\phi_s。
    • 標示出半導體的電子親和勢 χs\chi_s、帶隙 EgE_g、以及費米能階 EFE_F 相對於導帶底 Ec,sE_{c,s} 和價帶頂 Ev,sE_{v,s} 的位置。
    • 蕭特基勢壘高度 qϕBnq\phi_{Bn} (對於 P 型半導體) 是指金屬的費米能階與半導體導帶底之間的能量差。

繪圖要點:

  • 左側為金屬,右側為 P 型半導體。
  • 金屬部分能帶平坦,標示 EFmE_{Fm}。
  • P 型半導體部分,在遠離接面處,EF,sE_{F,s} 靠近 Ev,sE_{v,s}。
  • 在接面處,所有費米能階對齊。
  • P 型半導體的能帶 (Ec, Ev) 在接面附近向上彎曲。
  • 標示出接面勢壘的高度(對於 P 型,通常是指 EFE_{F} 到 Ev,sE_{v,s} 的距離,或者 EFE_{F} 到 Ec,sE_{c,s} 的距離,這裡是指 EFE_{F} 到 Ec,sE_{c,s} 的勢壘高度 qϕBnq\phi_{Bn})。
  • 標示出半導體的電子親和勢 χs\chi_s。

圖示說明:
假設金屬功函數 ϕm\phi_m 大於 P 型半導體的功函數 ϕs\phi_s (ϕs=χs+(Eg−EF)\phi_s = \chi_s + (E_g - E_F))。
則在平衡時,金屬的費米能階 EFmE_{Fm} 與 P 型半導體的費米能階 EF,sE_{F,s} 對齊。
由於 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s,半導體的能帶會向上彎曲,形成一個向下的勢壘(蕭特基勢壘)。
金屬的 EcE_c 會比半導體的 Ec,sE_{c,s} 低。
金屬的 EFE_F 會處於半導體價帶和導帶之間。
半導體的 Ec,sE_{c,s} 和 Ev,sE_{v,s} 在接面處向上彎曲。
蕭特基勢壘高度 qϕBn=EFm−Ec,s(at interface)q\phi_{Bn} = E_{Fm} - E_{c,s}(\text{at interface})。
通常,在繪製能帶圖時,會從左到右繪製,左側是金屬,右側是 P 型半導體。

部分 (b): n-Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As / n-GaAs 異質接面

核心觀念:

  • 異質接面 (Heterojunction) 是由兩種不同半導體材料形成的接面。
  • Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As 和 GaAs 都是直接帶隙半導體。
  • Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As 的帶隙 Eg=1.85E_g = 1.85 eV,GaAs 的帶隙 Eg=1.43E_g = 1.43 eV。Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As 的帶隙較大。
  • 兩者都是 n 型半導體,意味著費米能階 EFE_F 靠近導帶底 EcE_c。
  • 接面形成時,費米能階對齊。
  • 帶隙差會導致導帶和價帶的相對偏移,形成能帶階 (conduction band offset ΔEc\Delta E_c 和 valence band offset ΔEv\Delta E_v)。
  • ΔEc+ΔEv=Eg1−Eg2\Delta E_c + \Delta E_v = E_{g1} - E_{g2}。
  • 題目給出:帶隙差 ΔEg=1.85−1.43=0.42\Delta E_g = 1.85 - 1.43 = 0.42 eV。
    ΔEc≈23ΔEg=23×0.42 eV=0.28 eV\Delta E_c \approx \frac{2}{3} \Delta E_g = \frac{2}{3} \times 0.42 \text{ eV} = 0.28 \text{ eV}。
    ΔEv≈13ΔEg=13×0.42 eV=0.14 eV\Delta E_v \approx \frac{1}{3} \Delta E_g = \frac{1}{3} \times 0.42 \text{ eV} = 0.14 \text{ eV}。
    ΔEc+ΔEv=0.28+0.14=0.42\Delta E_c + \Delta E_v = 0.28 + 0.14 = 0.42 eV,符合。

繪製步驟:

  1. 繪製獨立的 n-Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As 和 n-GaAs 能帶圖:

    • n-Al0.3_{0.3}Ga0.7_{0.7}As: 導帶底 Ec1E_{c1},價帶頂 Ev1E_{v1},帶隙 Eg1=1.85E_{g1} = 1.85 eV。費米能階 EF1E_{F1} 靠近 Ec1E_{c1}。
    • n-GaAs: 導帶底 Ec2E_{c2},價帶頂 Ev2E_{v2},帶隙 Eg2=1.43E_{g2} = 1.43 eV。費米能階 EF2E_{F2} 靠近 Ec2E_{c2}。
  2. 接面形成後的費米能階對齊:
    將兩種材料接觸後,其費米能階對齊:EF1=EF2=EFE_{F1} = E_{F2} = E_F。

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