114 年 國立中山大學電機工程學系碩士班甲組《半導體概論》

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第 1 題25 分

The dielectric constants of silicon and silicon dioxide (SiO2) are 11.7 and 3.9, respectively.
The permittivity of vacuum is 8.85 × 10⁻¹⁴ F/cm.
Energy bandgap of Si: Eg=1.12E_g = 1.12 eV, charge q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C, kT=25.9kT = 25.9 meV at T = 300 K
Electron affinity of Si: qx=4.01q_x = 4.01 eV. Intrinsic concentration of Si at T = 300 K: ni=1.5×1010n_i = 1.5 \times 10^{10} cm⁻³.
Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

  1. (25%) A silicon pn junction in thermal equilibrium at T = 300 K is doped such that EF−EFi=0.407E_F - E_{Fi} = 0.407 eV in the n region and EFi−EF=0.3474E_{Fi} - E_F = 0.3474 eV in the p region. In the p-type semiconductor, the diffusion coefficient of excess minority carriers is 25 cm²/s, and the carrier lifetime is 0.5 µs. In the n-type semiconductor, the diffusion coefficient of excess minority carriers is 10 cm²/s, and the carrier lifetime is 0.1 µs.

(a) (15%) Calculate the total potential difference across the depletion region and the maximum electric field (EmaxE_{max}) for a pn junction under a reverse bias of 8 V.
(b) (10%) Calculate the current density of holes (JpJ_p) and electrons (JnJ_n) at the edges of the depletion region when a forward bias of 0.72 V is applied.

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核心觀念

本題考查突變型(abrupt)矽 pnpn 接面在熱平衡與外加偏壓下的:

  1. 摻雜濃度與費米能階的關係。
  2. 內建電位與耗盡區總電位差。
  3. 耗盡近似下的最大電場。
  4. 順向偏壓下,兩側少數載子的擴散電流密度。

採用:

nn0=niexp⁡(EF−EFikT)n_{n0}=n_i\exp\left(\frac{E_F-E_{Fi}}{kT}\right) pp0=niexp⁡(EFi−EFkT)p_{p0}=n_i\exp\left(\frac{E_{Fi}-E_F}{kT}\right)

內建電位為:

Vbi=kTqln⁡(NANDni2)V_{bi}=\frac{kT}{q}\ln\left(\frac{N_A N_D}{n_i^2}\right)

對突變型 pnpn 接面,在耗盡近似下:

Emax⁡=2qVDεsNANDNA+NDE_{\max} = \sqrt{ \frac{2qV_D}{\varepsilon_s} \frac{N_A N_D}{N_A+N_D} }

其中 VDV_D 為耗盡區的總電位差。順向偏壓下的少數載子電流密度為:

Jp=qDppn0Lp[exp⁡(VFVT)−1]J_p=q\frac{D_p p_{n0}}{L_p} \left[\exp\left(\frac{V_F}{V_T}\right)-1\right] Jn=qDnnp0Ln[exp⁡(VFVT)−1]J_n=q\frac{D_n n_{p0}}{L_n} \left[\exp\left(\frac{V_F}{V_T}\right)-1\right]

且:

Lp=Dpτp,Ln=DnτnL_p=\sqrt{D_p\tau_p}, \qquad L_n=\sqrt{D_n\tau_n}

摻雜濃度與內建電位

n 型區的施體濃度 NDN_D

題目給定:

EF−EFi=0.407 eVE_F-E_{Fi}=0.407\ \text{eV}

因此:

ND≈nn0=niexp⁡(0.4070.0259)N_D\approx n_{n0} = n_i\exp\left(\frac{0.407}{0.0259}\right) ND=1.5×1010exp⁡(15.714)≈1.00×1017 cm−3N_D = 1.5\times10^{10} \exp(15.714) \approx 1.00\times10^{17}\ \text{cm}^{-3}

p 型區的受體濃度 NAN_A

題目給定:

EFi−EF=0.3474 eVE_{Fi}-E_F=0.3474\ \text{eV}

因此:

NA≈pp0=niexp⁡(0.34740.0259)N_A\approx p_{p0} = n_i\exp\left(\frac{0.3474}{0.0259}\right) NA=1.5×1010exp⁡(13.413)≈1.00×1016 cm−3N_A = 1.5\times10^{10} \exp(13.413) \approx 1.00\times10^{16}\ \text{cm}^{-3}

內建電位

也可直接由兩側費米能階差求得:

qVbi=(EF−EFi)n+(EFi−EF)pqV_{bi} = (E_F-E_{Fi})_n+(E_{Fi}-E_F)_p qVbi=0.407+0.3474=0.7544 eVqV_{bi} = 0.407+0.3474 = 0.7544\ \text{eV}

因為 1 eV/q=1 V1\ \text{eV}/q=1\ \text{V},所以:

Vbi=0.7544 VV_{bi}=0.7544\ \text{V}

(a)反向偏壓下的總電位差與最大電場

1. 耗盡區總電位差

反向偏壓會增加耗盡區電位差,因此:

VD=Vbi+VRV_D=V_{bi}+V_R VD=0.7544+8=8.7544 VV_D=0.7544+8 = 8.7544\ \text{V}

2. 矽的介電常數

εs=11.7ε0\varepsilon_s = 11.7\varepsilon_0 εs=11.7(8.85×10−14)=1.03545×10−12 F/cm\varepsilon_s = 11.7(8.85\times10^{-14}) = 1.03545\times10^{-12}\ \text{F/cm}

3. 有效摻雜濃度

NANDNA+ND=(1.00×1016)(1.00×1017)1.00×1016+1.00×1017\frac{N_A N_D}{N_A+N_D} = \frac{ (1.00\times10^{16})(1.00\times10^{17}) }{ 1.00\times10^{16}+1.00\times10^{17} } NANDNA+ND=9.09×1015 cm−3\frac{N_A N_D}{N_A+N_D} = 9.09\times10^{15}\ \text{cm}^{-3}

4. 最大電場

Emax⁡=2qVDεsNANDNA+NDE_{\max} = \sqrt{ \frac{2qV_D}{\varepsilon_s} \frac{N_A N_D}{N_A+N_D} }

代入:

Emax⁡=2(1.6×10−19)(8.7544)1.03545×10−12(9.09×1015)E_{\max} = \sqrt{ \frac{ 2(1.6\times10^{-19})(8.7544) }{ 1.03545\times10^{-12} } (9.09\times10^{15}) } Emax⁡≈1.57×105 V/cmE_{\max} \approx 1.57\times10^5\ \text{V/cm}

因此:

VD=8.7544 V\boxed{V_D=8.7544\ \text{V}} Emax⁡≈1.57×105 V/cm\boxed{E_{\max}\approx1.57\times10^5\ \text{V/cm}}
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第 2 題10 分

For a silicon-based n⁺-p one-side junction, the relationship between the capacitance density and the reverse bias voltage at T = 300 K is shown in Figure 1. Please calculate the doping concentrations of the p-type and n-type semiconductors (NaN_a and NdN_d, respectively).

🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
Figure 1 shows a plot of 1/C21/C^2 versus VRV_R for a silicon n⁺-p junction.
The x-axis is VRV_R (reverse bias voltage) in Volts.
The y-axis is 1/C21/C^2 in (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
Two points on the line are given:

  1. At VR=−0.75V_R = -0.75 V, 1/C2=3.33×10161/C^2 = 3.33 \times 10^{16} (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
  2. At VR=1V_R = 1 V, 1/C2=2.12×10161/C^2 = 2.12 \times 10^{16} (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
    Note: The plot seems to indicate a linear relationship between 1/C21/C^2 and VRV_R. The x-intercept is around 2V.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 2 頁

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核心觀念

這題利用突變單邊 n+−pn^+-p 接面在反向偏壓下的電容密度 CC 與偏壓關係。單邊接面中,空乏層主要延伸至低摻雜的 pp 側,因此 1/C21/C^2 對反向偏壓 VRV_R 呈線性,其斜率可求出 NaN_a;直線的 VRV_R 軸截距則可求內建電位 VbiV_{bi},再由內建電位公式求出 NdN_d。

解題方法

依原卷圖讀值:VR=1 VV_R=1\,\text{V} 時,1/C2=2.12×10161/C^2=2.12\times10^{16};VR=2 VV_R=2\,\text{V} 時,1/C2=3.33×10161/C^2=3.33\times10^{16}。直線的 VRV_R 軸截距為 −0.75 V-0.75\,\text{V}。題目附上的文字描述將 3.33×10163.33\times10^{16} 對應的電壓位置寫錯;以下依原卷圖計算。

對單邊 n+−pn^+-p 接面:

1C2=2(Vbi+VR)qεsNa\frac{1}{C^2} = \frac{2(V_{bi}+V_R)}{q\varepsilon_sN_a}

因此斜率 mm 為:

m=Δ(1/C2)ΔVR=(3.33−2.12)×10162−1=1.21×1016 cm4F2⋅Vm = \frac{\Delta(1/C^2)}{\Delta V_R} = \frac{(3.33-2.12)\times10^{16}}{2-1} = 1.21\times10^{16} \ \frac{\text{cm}^4}{\text{F}^2\cdot\text{V}}

矽的介電常數為:

εs=11.7ε0=11.7(8.85×10−14)=1.03545×10−12 F/cm\varepsilon_s = 11.7\varepsilon_0 = 11.7(8.85\times10^{-14}) = 1.03545\times10^{-12}\ \text{F/cm}

由 m=2/(qεsNa)m=2/(q\varepsilon_sN_a),且 q=1.6×10−19 Cq=1.6\times10^{-19}\,\text{C}:

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第 3 題10 分

The I-V relationship of a diode can generally be expressed as I=Is[exp⁡(qVa/nkT)−1]I = I_s[\exp(qV_a/nkT) - 1], where the parameter nn is referred to as the ideality factor. What are the possible reasons for n=2n = 2? Please provide two examples.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

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本題主要考驗對二極體 Ideality Factor (nn) 的理解,以及造成 n≠1n \neq 1 的物理機制。

核心觀念:

  1. Ideality Factor (nn):在理想的 PN 接面二極體中,電流主要由少數載子擴散主導,其 ideality factor n=1n=1。
  2. 電流模型:
    • Diffusion Current (n=1n=1):在 PN 接面處,少數載子注入並擴散,是理想情況下的主要電流。
    • Recombination Current (n=2n=2):在接面擴散區 (depletion region) 內,電子和電洞可能在此處複合 (recombine)。這種複合過程對電流的貢獻,其 ideality factor n=2n=2。
  3. 其他因素:除了擴散和複合,電阻效應 (如串聯電阻 RsR_s) 也會影響二極體的 I-V 特性,但通常不直接體現在 ideality factor 的定義中,而是會導致在正向導通時,實際電壓降小於外加電壓,使得電流成長不如理想。然而,某些情況下,電阻效應與其他機制結合,也可能間接影響 I-V 曲線的斜率,但 n=2n=2 的主要原因通常與複合直接相關。

Ideality Factor 的意義:

  • n=1n=1:電流主要由接面兩側的少數載子擴散決定 (Diffusion current)。
  • n=2n=2:電流主要由擴散區內的複合決定 (Recombination current)。
  • 1<n<21 < n < 2:通常是擴散電流和複合電流的混合。

題目要求:
提供 n=2n=2 的可能原因。

解題:
當二極體的 I-V 特性接近 I=Is[exp⁡(qVa/2kT)−1]I = I_s[\exp(qV_a/2kT) - 1] 時,其 ideality factor n=2n=2。這表示電流的主要貢獻來自於擴散區內的載子複合。

可能原因:

  1. 擴散區內的複合 (Recombination in the Depletion Region):
    在 PN 接面的擴散區,電子和電洞的濃度都相對較低,但由於有較強的電場,載子壽命較短,容易發生複合。如果複合是主要的電流機制,那麼 ideality factor 會是 2。這種情況在低摻雜濃度、擴散區較寬的 PN 接面中比較常見。
    • 解釋:在擴散區內,電子和電洞的複合會消耗由外加電壓產生的載子注入。根據 Shockley-Read-Hall (SRH) 複合理論,在擴散區內的複合電流與 exp⁡(qVa/2kT)\exp(qV_a/2kT) 成正比。
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第 4 題15 分

For a silicon-based p-i-n junction, the width of the intrinsic semiconductor is 1 µm, and the doping concentrations of the p-type and n-type semiconductors are 101610^{16} cm⁻³ and 101710^{17} cm⁻³, respectively. At T = 300 K, calculate the following when a reverse bias of 8 V is applied:
(a) (5%) The total depletion region width (WpinW_{pin})
(b) (10%) The maximum electric field (EmaxE_{max})

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

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核心觀念

本題考查矽基 pp-ii-nn 接面在反向偏壓下的空乏區與電場分布。

在空乏近似下:

  • 中間本質區 ii 完全空乏,寬度固定為 Wi=1 μmW_i=1~\mu\text{m}。
  • pp 區與 nn 區分別向接面延伸空乏寬度 xpx_p、xnx_n。
  • 空間電荷中性條件為
NAxp=NDxnN_Ax_p=N_Dx_n
  • 在本質區內,電場為最大值且近似為常數 Emax⁡E_{\max}。
  • 總電壓包含內建電位與外加反向偏壓:
V=Vbi+VRV=V_{bi}+V_R

矽的介電常數取

εs=11.8ε0=11.8(8.854×10−14)=1.044×10−12 F/cm\varepsilon_s=11.8\varepsilon_0 =11.8(8.854\times10^{-14}) =1.044\times10^{-12}~\text{F/cm}

已知條件

Wi=1 μm=1.0×10−4 cmW_i=1~\mu\text{m}=1.0\times10^{-4}~\text{cm} NA=1016 cm−3,ND=1017 cm−3N_A=10^{16}~\text{cm}^{-3},\qquad N_D=10^{17}~\text{cm}^{-3} VR=8 V,T=300 KV_R=8~\text{V},\qquad T=300~\text{K}

在 300 K300~\text{K} 下,矽的本質載子濃度取

ni≈1010 cm−3n_i\approx10^{10}~\text{cm}^{-3}

內建電位

熱電壓為

VT=kTq≈0.02585 VV_T=\frac{kT}{q}\approx0.02585~\text{V}

因此,pp-nn 兩端的內建電位為

Vbi=VTln⁡(NANDni2)V_{bi}=V_T\ln\left(\frac{N_AN_D}{n_i^2}\right)

代入數值:

Vbi=0.02585ln⁡(1016×1017(1010)2)V_{bi} =0.02585\ln\left( \frac{10^{16}\times10^{17}}{(10^{10})^2} \right) =0.02585ln⁡(1013)≈0.774 V=0.02585\ln(10^{13}) \approx0.774~\text{V}

所以空乏區總電壓為

V=VR+Vbi=8+0.774=8.774 VV=V_R+V_{bi} =8+0.774 =8.774~\text{V}

解題方法

設 Emax⁡E_{\max} 為本質區中的最大電場。由高斯定律,pp 區與 nn 區的電荷所造成的電場大小相同,因此

Emax⁡=qNAxpεs=qNDxnεsE_{\max} =\frac{qN_Ax_p}{\varepsilon_s} =\frac{qN_Dx_n}{\varepsilon_s}

故

xp=εsEmax⁡qNA,xn=εsEmax⁡qNDx_p=\frac{\varepsilon_sE_{\max}}{qN_A}, \qquad x_n=\frac{\varepsilon_sE_{\max}}{qN_D}

電壓降由三部分組成:

  1. pp 區三角形電場區
  2. ii 區矩形電場區
  3. nn 區三角形電場區

因此

V=Emax⁡Wi+12Emax⁡xp+12Emax⁡xnV =E_{\max}W_i +\frac{1}{2}E_{\max}x_p +\frac{1}{2}E_{\max}x_n

代入 xpx_p、xnx_n:

V=Emax⁡Wi+εsEmax⁡22q(1NA+1ND)V =E_{\max}W_i +\frac{\varepsilon_sE_{\max}^2}{2q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)

整理為

εs2q(1NA+1ND)Emax⁡2+WiEmax⁡−V=0\frac{\varepsilon_s}{2q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)E_{\max}^2 +W_iE_{\max}-V=0

其中

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第 5 題20 分

Consider an ideal tungsten-to-p-type silicon Schottky diode at a temperature of 300 K. The work function of tungsten is 4.55 eV, the doping concentration of the semiconductor is 3×10153 \times 10^{15} cm⁻³, and the effective density of states in the conduction band and valence band for silicon are 2.8×10192.8 \times 10^{19} cm⁻³ and 1.04×10191.04 \times 10^{19} cm³ respectively.

(a) (10%) Calculate the ideal Schottky barrier height and the built-in potential of the semiconductor.
(b) (10%) Calculate the depletion region width and the maximum electric field when a reverse bias of 8 V is applied.

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核心觀念

本題考查金屬—半導體蕭特基二極體的:

  1. 理想蕭特基能障高度。
  2. pp 型矽中的費米能階位置。
  3. 內建電位。
  4. 反向偏壓下的空乏區寬度與最大電場。

採用標準矽參數:

χSi=4.05 eV,Eg=1.12 eV\chi_{\mathrm{Si}}=4.05\ \mathrm{eV},\qquad E_g=1.12\ \mathrm{eV} εSi=11.8ε0=11.8(8.854×10−14)=1.044×10−12 F/cm\varepsilon_{\mathrm{Si}}=11.8\varepsilon_0 =11.8(8.854\times10^{-14}) =1.044\times10^{-12}\ \mathrm{F/cm}

其中題目未提供矽的電子親和力、能隙與介電常數,以上為 300 K300\ \mathrm{K} 常用標準值。


解題方法

對理想金屬—pp 型半導體接面:

  • 電子蕭特基能障:
ϕBn=ϕm−χ\phi_{Bn}=\phi_m-\chi
  • 電洞蕭特基能障:
ϕBp=Eg−ϕBn\phi_{Bp}=E_g-\phi_{Bn}

由於半導體為 pp 型,題目所需的蕭特基能障高度採用電洞能障 ϕBp\phi_{Bp}。

半導體費米能階與價帶頂的距離為:

EF−EV=kTln⁡(NVNA)E_F-E_V=kT\ln\left(\frac{N_V}{N_A}\right)

內建電位為:

Vbi=ϕBp−EF−EVqV_{bi}=\phi_{Bp}-\frac{E_F-E_V}{q}

在反向偏壓 VRV_R 下,空乏區總電位降為:

Vdep=Vbi+VRV_{\mathrm{dep}}=V_{bi}+V_R

空乏區寬度與最大電場分別為:

W=2εs(Vbi+VR)qNAW=\sqrt{\frac{2\varepsilon_s(V_{bi}+V_R)}{qN_A}} Emax⁡=qNAWεs=2(Vbi+VR)WE_{\max}=\frac{qN_AW}{\varepsilon_s} =\frac{2(V_{bi}+V_R)}{W}

(a)理想蕭特基能障高度與內建電位

已知:

ϕm=4.55 eV\phi_m=4.55\ \mathrm{eV} NA=3×1015 cm−3N_A=3\times10^{15}\ \mathrm{cm^{-3}} NV=1.04×1019 cm−3N_V=1.04\times10^{19}\ \mathrm{cm^{-3}}

在 300 K300\ \mathrm{K}:

kT=0.02585 eVkT=0.02585\ \mathrm{eV}

1. 電子蕭特基能障

ϕBn=ϕm−χ\phi_{Bn}=\phi_m-\chi ϕBn=4.55−4.05=0.50 eV\phi_{Bn}=4.55-4.05=0.50\ \mathrm{eV}

2. 電洞蕭特基能障

ϕBp=Eg−ϕBn\phi_{Bp}=E_g-\phi_{Bn} ϕBp=1.12−0.50=0.62 eV\phi_{Bp}=1.12-0.50=0.62\ \mathrm{eV}

因此,pp 型矽所對應的理想蕭特基電洞能障為:

ϕBp=0.62 eV\boxed{\phi_{Bp}=0.62\ \mathrm{eV}}

3. 計算費米能階與價帶頂的距離

EF−EV=kTln⁡(NVNA)E_F-E_V=kT\ln\left(\frac{N_V}{N_A}\right) EF−EV=0.02585ln⁡(1.04×10193×1015) eVE_F-E_V =0.02585\ln\left( \frac{1.04\times10^{19}}{3\times10^{15}} \right)\ \mathrm{eV} 1.04×10193×1015=3466.7\frac{1.04\times10^{19}}{3\times10^{15}} =3466.7 EF−EV=0.02585ln⁡(3466.7)≈0.2107 eVE_F-E_V =0.02585\ln(3466.7) \approx0.2107\ \mathrm{eV}

因此:

EF−EVq=0.2107 V\frac{E_F-E_V}{q}=0.2107\ \mathrm{V}

4. 計算內建電位

Vbi=ϕBp−EF−EVqV_{bi}=\phi_{Bp}-\frac{E_F-E_V}{q} Vbi=0.62−0.2107=0.4093 VV_{bi}=0.62-0.2107 =0.4093\ \mathrm{V}

因此:

Vbi≈0.409 V\boxed{V_{bi}\approx0.409\ \mathrm{V}}
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第 6 題20 分

Consider a MOS capacitor with an n-type silicon substrate doped to Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³, a silicon dioxide (SiO2) insulator with a thickness of tox=20t_{ox} = 20 nm, and an n⁺ polysilicon gate (assuming EF≈EcE_F \approx E_c). The threshold voltage (VthV_{th}) is defined as the gate voltage required to achieve strong inversion at the silicon surface, where the surface potential ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F.

(a) (10%) Calculate the threshold voltage (VthV_{th}).
(b) (10%) Calculate the capacitance density at flat-band (CFBC_{FB}) and the minimum capacitance density (CminC_{min}) in the high-frequency C-V curve.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

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本題主要考驗 MOS 電容器的閾值電壓 (VthV_{th}) 以及高頻 C-V 曲線中的平帶電容 (CFBC_{FB}) 和最小電容 (CminC_{min}) 的計算。

核心觀念:

  1. MOS 電容器結構:金屬 (或 n⁺ 多晶矽) / 氧化層 (SiO₂) / 半導體 (n-type Si)。
  2. 閾值電壓 (VthV_{th}):達到強反轉 (Strong Inversion) 時所需的閘極電壓。強反轉的條件是表面電位 ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F,其中 ϕF{\phi}_F 是半導體的費米電位。
  3. 閾值電壓公式:Vth=VFB+ϕs+VoxV_{th} = V_{FB} + {\phi}_s + V_{ox}。其中 VFBV_{FB} 是平帶電壓,VoxV_{ox} 是氧化層電壓。Vox=−QsCoxV_{ox} = -\frac{Q_s}{C_{ox}},QsQ_s 是半導體表面的總電荷。
  4. 平帶電壓 (VFBV_{FB}):當半導體表面沒有表面電位和表面電荷時,金屬與半導體之間的電位差。VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms} (金屬與半導體功函數差)。
  5. 高頻 C-V 曲線:在強反轉區,由於少數載子無法快速響應高頻信號,表面電荷變化主要由多數載子決定,導致電容下降。
  6. 平帶電容 (CFBC_{FB}):在平帶條件下的總電容,等於氧化層電容 (CoxC_{ox}) 與半導體電容 (CsC_s) 的串聯。在平帶時,CsC_s 很大,所以 CFB≈CoxC_{FB} \approx C_{ox}。
  7. 最小電容 (CminC_{min}):在高頻 C-V 曲線的強反轉區,半導體電容達到最小值 (Cs,minC_{s,min}),總電容為 Cmin=CoxCs,minCox+Cs,minC_{min} = \frac{C_{ox} C_{s,min}}{C_{ox} + C_{s,min}}。

已知條件整理:

  • n-type Si 摻雜濃度 Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³
  • SiO₂ 氧化層厚度 tox=20t_{ox} = 20 nm = 20×10−720 \times 10^{-7} cm
  • SiO₂ 介電常數 ϵox=3.9×8.85×10−14{\epsilon}_{ox} = 3.9 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈3.45×10−13\approx 3.45 \times 10^{-13} F/cm
  • Si 介電常數 ϵSi=11.7×8.85×10−14{\epsilon}_{Si} = 11.7 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈1.036×10−12\approx 1.036 \times 10^{-12} F/cm
  • kT=0.0259kT = 0.0259 eV
  • q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C
  • ni=1.5×1010n_i = 1.5 \times 10^{10} cm⁻³ (來自題目 1)
  • n⁺ 多晶矽閘極,假設 EF≈EcE_F \approx E_c,表示金屬功函數 ΦM{\Phi}_{M} 接近導帶底的能量。
  • Si 的電子親和勢 χSi=4.01{\chi}_{Si} = 4.01 eV (來自題目 1)
  • Si 的功函數 ΦSi{\Phi}_{Si} (需要從 NdN_d 計算)
  • Si 的帶隙 Eg=1.12E_g = 1.12 eV (來自題目 1)

解題步驟:

(a) 計算閾值電壓 (VthV_{th})

1. 計算費米電位 (ϕF{\phi}_F)
對於 n-type 半導體,ϕF=kTqln⁡(Ndni){\phi}_F = \frac{kT}{q} \ln\left(\frac{N_d}{n_i}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(1016 cm−31.5×1010 cm−3){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln\left(\frac{10^{16} \text{ cm}^{-3}}{1.5 \times 10^{10} \text{ cm}^{-3}}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(6.67×105){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln(6.67 \times 10^5)
ϕF=0.0259 eV×13.41≈0.347{\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times 13.41 \approx 0.347 eV。

2. 計算表面電位 (ϕs{\phi}_s)
在強反轉條件下,ϕs=2ϕF{\phi}_s = 2{\phi}_F。
ϕs=2×0.347 eV=0.694{\phi}_s = 2 \times 0.347 \text{ eV} = 0.694 eV。

3. 計算平帶電壓 (VFBV_{FB})
VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms}。
Φms=ΦM−ΦS{\Phi}_{ms} = {\Phi}_{M} - {\Phi}_{S}。
ΦM{\Phi}_{M} (n⁺ 多晶矽閘極):由於 EF≈EcE_F \approx E_c,ΦM{\Phi}_{M} 接近 Si 的導帶底能量。
ΦM=χSi+(Ec−EF)Si{\Phi}_{M} = {\chi}_{Si} + (E_c - E_F)_{Si}。
對於 n-type Si,Ec−EF=ϕF=0.347E_c - E_F = {\phi}_F = 0.347 eV。
ΦM=4.01 eV+0.347 eV=4.357{\Phi}_{M} = 4.01 \text{ eV} + 0.347 \text{ eV} = 4.357 eV。
ΦS{\Phi}_{S} (Si 半導體功函數):ΦS=χSi+(Ec−EF)Si=4.01 eV+0.347 eV=4.357{\Phi}_{S} = {\chi}_{Si} + (E_c - E_F)_{Si} = 4.01 \text{ eV} + 0.347 \text{ eV} = 4.357 eV。
Φms=ΦM−ΦS=4.357 eV−4.357 eV=0{\Phi}_{ms} = {\Phi}_{M} - {\Phi}_{S} = 4.357 \text{ eV} - 4.357 \text{ eV} = 0 V。
所以,VFB=0V_{FB} = 0 V。 (這表示閘極材料和半導體功函數非常接近,理想情況下)

4. 計算氧化層電容 (CoxC_{ox})
Cox=ϵoxtoxC_{ox} = \frac{{\epsilon}_{ox}}{t_{ox}}

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第 6 題20 分

Consider a MOS capacitor with an n-type silicon substrate doped to Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³, a silicon dioxide (SiO2) insulator with a thickness of tox=20t_{ox} = 20 nm, and an n⁺ polysilicon gate (assuming EF≈EcE_F \approx E_c). The threshold voltage (VthV_{th}) is defined as the gate voltage required to achieve strong inversion at the silicon surface, where the surface potential ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F.

(a) (10%) Calculate the threshold voltage (VthV_{th}).
(b) (10%) Calculate the capacitance density at flat-band (CFBC_{FB}) and the minimum capacitance density (CminC_{min}) in the high-frequency C-V curve.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

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這一題的完整詳解

本題主要考驗 MOS 電容器的閾值電壓 (VthV_{th}) 以及高頻 C-V 曲線中的平帶電容 (CFBC_{FB}) 和最小電容 (CminC_{min}) 的計算。

核心觀念:

  1. MOS 電容器結構:金屬 (或 n⁺ 多晶矽) / 氧化層 (SiO₂) / 半導體 (n-type Si)。
  2. 閾值電壓 (VthV_{th}):達到強反轉 (Strong Inversion) 時所需的閘極電壓。強反轉的條件是表面電位 ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F,其中 ϕF{\phi}_F 是半導體的費米電位。
  3. 閾值電壓公式:Vth=VFB+ϕs−QsCoxV_{th} = V_{FB} + {\phi}_s - \frac{Q_s}{C_{ox}}。其中 VFBV_{FB} 是平帶電壓,QsQ_s 是半導體表面的總電荷 (耗盡層電荷 QdQ_d 和反轉層電荷 QinvQ_{inv})。在高頻下,QinvQ_{inv} 在強反轉區可忽略。
  4. 平帶電壓 (VFBV_{FB}):當半導體表面沒有表面電位和表面電荷時,金屬與半導體之間的電位差。VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms}。
  5. 高頻 C-V 曲線:在強反轉區,由於少數載子無法快速響應高頻信號,表面電荷變化主要由多數載子決定,導致電容下降。
  6. 平帶電容 (CFBC_{FB}):在平帶條件下的總電容,等於氧化層電容 (CoxC_{ox}) 與半導體電容 (CsC_s) 的串聯。在平帶時,CsC_s 很大,所以 CFB≈CoxC_{FB} \approx C_{ox}。
  7. 最小電容 (CminC_{min}):在高頻 C-V 曲線的強反轉區,半導體電容達到最小值 (Cs,minC_{s,min}),總電容為 Cmin=CoxCs,minCox+Cs,minC_{min} = \frac{C_{ox} C_{s,min}}{C_{ox} + C_{s,min}}。

已知條件整理:

  • n-type Si 摻雜濃度 Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³
  • SiO₂ 氧化層厚度 tox=20t_{ox} = 20 nm = 20×10−720 \times 10^{-7} cm
  • SiO₂ 介電常數 ϵox=3.9×8.85×10−14{\epsilon}_{ox} = 3.9 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈3.45×10−13\approx 3.45 \times 10^{-13} F/cm
  • Si 介電常數 ϵSi=11.7×8.85×10−14{\epsilon}_{Si} = 11.7 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈1.036×10−12\approx 1.036 \times 10^{-12} F/cm
  • kT=0.0259kT = 0.0259 eV
  • q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C
  • ni=1.5×1010n_i = 1.5 \times 10^{10} cm⁻³ (引用自題目 1)
  • n⁺ 多晶矽閘極,假設 EF≈EcE_F \approx E_c,表示金屬功函數 ΦM{\Phi}_{M} 接近導帶底的能量。
  • Si 的電子親和勢 χSi=4.01{\chi}_{Si} = 4.01 eV (引用自題目 1)

解題步驟:

(a) 計算閾值電壓 (VthV_{th})

1. 計算費米電位 (ϕF{\phi}_F)
對於 n-type 半導體,ϕF=kTqln⁡(Ndni){\phi}_F = \frac{kT}{q} \ln\left(\frac{N_d}{n_i}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(1016 cm−31.5×1010 cm−3){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln\left(\frac{10^{16} \text{ cm}^{-3}}{1.5 \times 10^{10} \text{ cm}^{-3}}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(6.67×105){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln(6.67 \times 10^5)
ϕF=0.0259 eV×13.41≈0.347{\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times 13.41 \approx 0.347 eV。

2. 計算表面電位 (ϕs{\phi}_s)
在強反轉條件下,ϕs=2ϕF{\phi}_s = 2{\phi}_F。
ϕs=2×0.347 eV=0.694{\phi}_s = 2 \times 0.347 \text{ eV} = 0.694 eV。

3. 計算平帶電壓 (VFBV_{FB})
VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms}。
Φms=ΦM−ΦS{\Phi}_{ms} = {\Phi}_{M} - {\Phi}_{S}。
ΦM{\Phi}_{M} (n⁺ 多晶矽閘極):由於 EF≈EcE_F \approx E_c,ΦM{\Phi}_{M} 接近 Si 的導帶底能量。
ΦM=χSi+(Ec−EF)Si{\Phi}_{M} = {\chi}_{Si} + (E_c - E_F)_{Si}。
對於 n-type Si,Ec−EF=ϕF=0.347E_c - E_F = {\phi}_F = 0.347 eV。
ΦM=4.01 eV+0.347 eV=4.357{\Phi}_{M} = 4.01 \text{ eV} + 0.347 \text{ eV} = 4.357 eV。

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第 1 題25 分

The dielectric constants of silicon and silicon dioxide (SiO2) are 11.7 and 3.9, respectively.
The permittivity of vacuum is 8.85 × 10-14 F/cm.
Energy bandgap of Si: Eg=1.12E_g = 1.12 eV, charge q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C, kT=25.9kT = 25.9 meV at T = 300 K
Electron affinity of Si: qx=4.01q_x = 4.01 eV. Intrinsic concentration of Si at T = 300 K: ni=1.5×1010n_i = 1.5 \times 10^{10} cm⁻³.
Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

  1. (25%) A silicon pn junction in thermal equilibrium at T = 300 K is doped such that EF−EFi=0.407E_F - E_{Fi} = 0.407 eV in the n region and EFi−EF=0.3474E_{Fi} - E_F = 0.3474 eV in the p region. In the p-type semiconductor, the diffusion coefficient of excess minority carriers is 25 cm²/s, and the carrier lifetime is 0.5 µs. In the n-type semiconductor, the diffusion coefficient of excess minority carriers is 10 cm²/s, and the carrier lifetime is 0.1 µs.

(a) (15%) Calculate the total potential difference across the depletion region and the maximum electric field (EmaxE_{max}) for a pn junction under a reverse bias of 8 V.
(b) (10%) Calculate the current density of holes (JpJ_p) and electrons (JnJ_n) at the edges of the depletion region when a forward bias of 0.72 V is applied.

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這一題的完整詳解

本題主要考驗半導體元件中 PN 接面在不同偏壓下的電位分佈、電場以及載子電流密度計算。

核心觀念:

  1. 內建電位 (Built-in Potential, VbiV_{bi}):由兩側半導體的費米能階決定。
  2. 接面電位 (Junction Potential):外加偏壓下的總電位差,等於內建電位減去外加偏壓。
  3. 最大電場 (EmaxE_{max}):與接面電位和擴散區寬度有關。
  4. 擴散區寬度 (Depletion Region Width, WW):由摻雜濃度和接面電位決定。
  5. 載子電流密度:包含擴散電流和漂移電流,在接面邊緣,擴散電流佔主導。

已知條件整理:

  • T = 300 K
  • EF−EFi=0.407E_F - E_{Fi} = 0.407 eV (n region)
  • EFi−EF=0.3474E_{Fi} - E_F = 0.3474 eV (p region)
  • p-type: Dp=25D_p = 25 cm²/s, τp=0.5\tau_p = 0.5 µs = 0.5×10−60.5 \times 10^{-6} s
  • n-type: Dn=10D_n = 10 cm²/s, τn=0.1\tau_n = 0.1 µs = 0.1×10−60.1 \times 10^{-6} s
  • q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C
  • kT=25.9kT = 25.9 meV = 0.02590.0259 eV
  • ϵSi=11.7×8.85×10−14\epsilon_{Si} = 11.7 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈1.036×10−12\approx 1.036 \times 10^{-12} F/cm

解題步驟:

首先,我們需要計算內建電位 (VbiV_{bi})。內建電位與兩側半導體的費米能階與本質費米能階的差值有關。
qVbi=(EF−EFi)n+(EFi−EF)pqV_{bi} = (E_F - E_{Fi})_n + (E_{Fi} - E_F)_p
qVbi=0.407 eV+0.3474 eV=0.7544 eVqV_{bi} = 0.407 \text{ eV} + 0.3474 \text{ eV} = 0.7544 \text{ eV}
Vbi=0.7544 eVq=0.7544 VV_{bi} = \frac{0.7544 \text{ eV}}{q} = 0.7544 \text{ V}

為了計算接面電位和最大電場,我們需要知道兩側半導體的摻雜濃度。
由 EF−EFi=kTln⁡NdniE_F - E_{Fi} = kT \ln \frac{N_d}{n_i},可知 Nd=niexp⁡(EF−EFikT)N_d = n_i \exp\left(\frac{E_F - E_{Fi}}{kT}\right)
Nd=1.5×1010 cm−3exp⁡(0.407 eV0.0259 eV)≈1.5×1010×exp⁡(15.71)≈1.5×1010×7.35×106≈1.1×1017 cm−3N_d = 1.5 \times 10^{10} \text{ cm}^{-3} \exp\left(\frac{0.407 \text{ eV}}{0.0259 \text{ eV}}\right) \approx 1.5 \times 10^{10} \times \exp(15.71) \approx 1.5 \times 10^{10} \times 7.35 \times 10^6 \approx 1.1 \times 10^{17} \text{ cm}^{-3}

由 EFi−EF=kTln⁡NaniE_{Fi} - E_F = kT \ln \frac{N_a}{n_i},可知 Na=niexp⁡(EFi−EFkT)N_a = n_i \exp\left(\frac{E_{Fi} - E_F}{kT}\right)
Na=1.5×1010 cm−3exp⁡(0.3474 eV0.0259 eV)≈1.5×1010×exp⁡(13.41)≈1.5×1010×6.64×105≈9.96×1015 cm−3N_a = 1.5 \times 10^{10} \text{ cm}^{-3} \exp\left(\frac{0.3474 \text{ eV}}{0.0259 \text{ eV}}\right) \approx 1.5 \times 10^{10} \times \exp(13.41) \approx 1.5 \times 10^{10} \times 6.64 \times 10^5 \approx 9.96 \times 10^{15} \text{ cm}^{-3}

(a) 反向偏壓下的總電位差與最大電場

反向偏壓 VR=8V_R = 8 V。
總電位差 VJ=Vbi+VR=0.7544 V+8 V=8.7544 VV_J = V_{bi} + V_R = 0.7544 \text{ V} + 8 \text{ V} = 8.7544 \text{ V}。

擴散區寬度 WW 可以近似為:
W=2ϵSiq(1Na+1Nd)VJW = \sqrt{\frac{2\epsilon_{Si}}{q} \left(\frac{1}{N_a} + \frac{1}{N_d}\right) V_J}
由於 Nd≫NaN_d \gg N_a,所以 W≈2ϵSiqNaVJW \approx \sqrt{\frac{2\epsilon_{Si}}{qN_a} V_J}
ϵSi=11.7×8.85×10−14 F/cm≈1.036×10−12 F/cm\epsilon_{Si} = 11.7 \times 8.85 \times 10^{-14} \text{ F/cm} \approx 1.036 \times 10^{-12} \text{ F/cm}
W≈2×1.036×10−12 F/cm1.6×10−19 C×9.96×1015 cm−3×8.7544 VW \approx \sqrt{\frac{2 \times 1.036 \times 10^{-12} \text{ F/cm}}{1.6 \times 10^{-19} \text{ C} \times 9.96 \times 10^{15} \text{ cm}^{-3}} \times 8.7544 \text{ V}}
W≈2.072×10−121.594×10−3×8.7544 cmW \approx \sqrt{\frac{2.072 \times 10^{-12}}{1.594 \times 10^{-3}} \times 8.7544} \text{ cm}
W≈1.3×10−9×8.7544 cm≈11.38×10−9 cm≈1.067×10−4 cm=1.067 µmW \approx \sqrt{1.3 \times 10^{-9} \times 8.7544} \text{ cm} \approx \sqrt{11.38 \times 10^{-9}} \text{ cm} \approx 1.067 \times 10^{-4} \text{ cm} = 1.067 \text{ µm}

最大電場 EmaxE_{max} 發生在接面中心,其值為:
Emax=2VJWE_{max} = \frac{2V_J}{W}
Emax=2×8.7544 V1.067×10−4 cm≈17.50881.067×10−4 V/cm≈1.64×105 V/cmE_{max} = \frac{2 \times 8.7544 \text{ V}}{1.067 \times 10^{-4} \text{ cm}} \approx \frac{17.5088}{1.067 \times 10^{-4}} \text{ V/cm} \approx 1.64 \times 10^5 \text{ V/cm}

或者也可以用 Emax=2qNaVJϵSiE_{max} = \sqrt{\frac{2q N_a V_J}{\epsilon_{Si}}} (假設 NaN_a 決定擴散區寬度)
Emax=2×1.6×10−19 C×9.96×1015 cm−3×8.7544 V1.036×10−12 F/cmE_{max} = \sqrt{\frac{2 \times 1.6 \times 10^{-19} \text{ C} \times 9.96 \times 10^{15} \text{ cm}^{-3} \times 8.7544 \text{ V}}{1.036 \times 10^{-12} \text{ F/cm}}}
Emax=2.79×10−21.036×10−12 V/cm=2.69×1010 V/cm≈1.64×105 V/cmE_{max} = \sqrt{\frac{2.79 \times 10^{-2}}{1.036 \times 10^{-12}}} \text{ V/cm} = \sqrt{2.69 \times 10^{10}} \text{ V/cm} \approx 1.64 \times 10^5 \text{ V/cm}

(b) 正向偏壓下的載子電流密度

正向偏壓 VF=0.72V_F = 0.72 V。
此時,主要的載子電流是少數載子的擴散電流。
在接面邊緣,少數載子的濃度接近其平衡濃度,而多數載子濃度則因注入效應而升高。
我們需要計算 n 區邊緣 (x=0) 的少數載子 (電洞 pnp_n) 和 p 區邊緣 (x=0) 的少數載子 (電子 npn_p) 的濃度。

首先計算平衡時的少數載子濃度:

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第 2 題10 分

For a silicon-based n⁺-p one-side junction, the relationship between the capacitance density and the reverse bias voltage at T = 300 K is shown in Figure 1. Please calculate the doping concentrations of the p-type and n-type semiconductors (NaN_a and NdN_d, respectively).

🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
Figure 1 shows a plot of 1/C21/C^2 versus VRV_R for a silicon n⁺-p junction.
The x-axis is VRV_R (reverse bias voltage) in Volts.
The y-axis is 1/C21/C^2 in (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
Two points on the line are given:

  1. At VR=−0.75V_R = -0.75 V, 1/C2=3.33×10161/C^2 = 3.33 \times 10^{16} (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
  2. At VR=1V_R = 1 V, 1/C2=2.12×10161/C^2 = 2.12 \times 10^{16} (F/cm²)−2^{-2}V−1^{-1}.
    Note: The plot seems to indicate a linear relationship between 1/C21/C^2 and VRV_R. The x-intercept is around 2V.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 2 頁

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核心觀念

這題利用突變單邊 n+−pn^+-p 接面在反向偏壓下的電容密度 CC 與偏壓關係。單邊接面中,空乏層主要延伸至低摻雜的 pp 側,因此 1/C21/C^2 對反向偏壓 VRV_R 呈線性,其斜率可求出 NaN_a;直線的 VRV_R 軸截距則可求內建電位 VbiV_{bi},再由內建電位公式求出 NdN_d。

解題方法

依原卷圖讀值:VR=1 VV_R=1\,\text{V} 時,1/C2=2.12×10161/C^2=2.12\times10^{16};VR=2 VV_R=2\,\text{V} 時,1/C2=3.33×10161/C^2=3.33\times10^{16}。直線的 VRV_R 軸截距為 −0.75 V-0.75\,\text{V}。題目附上的文字描述將 3.33×10163.33\times10^{16} 對應的電壓位置寫錯;以下依原卷圖計算。

對單邊 n+−pn^+-p 接面:

1C2=2(Vbi+VR)qεsNa\frac{1}{C^2} = \frac{2(V_{bi}+V_R)}{q\varepsilon_sN_a}

因此斜率 mm 為:

m=Δ(1/C2)ΔVR=(3.33−2.12)×10162−1=1.21×1016 cm4F2⋅Vm = \frac{\Delta(1/C^2)}{\Delta V_R} = \frac{(3.33-2.12)\times10^{16}}{2-1} = 1.21\times10^{16} \ \frac{\text{cm}^4}{\text{F}^2\cdot\text{V}}

矽的介電常數為:

εs=11.7ε0=11.7(8.85×10−14)=1.03545×10−12 F/cm\varepsilon_s = 11.7\varepsilon_0 = 11.7(8.85\times10^{-14}) = 1.03545\times10^{-12}\ \text{F/cm}

由 m=2/(qεsNa)m=2/(q\varepsilon_sN_a),且 q=1.6×10−19 Cq=1.6\times10^{-19}\,\text{C}:

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第 3 題10 分

The I-V relationship of a diode can generally be expressed as I=Is[exp⁡(qVa/nkT)−1]I = I_s[\exp(qV_a/nkT) - 1], where the parameter nn is referred to as the ideality factor. What are the possible reasons for n=2n = 2? Please provide two examples.

Please note that all calculation answers must include the unit and calculation process.

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本題主要考驗對二極體 Ideality Factor (nn) 的理解,以及造成 n≠1n \neq 1 的物理機制。

核心觀念:

  1. Ideality Factor (nn):在理想的 PN 接面二極體中,電流主要由少數載子擴散主導,其 ideality factor n=1n=1。
  2. 電流模型:
    • Diffusion Current (n=1n=1):在 PN 接面處,少數載子注入並擴散,是理想情況下的主要電流。
    • Recombination Current (n=2n=2):在接面擴散區 (depletion region) 內,電子和電洞可能在此處複合 (recombine)。這種複合過程對電流的貢獻,其 ideality factor n=2n=2。
  3. 其他因素:除了擴散和複合,電阻效應 (如串聯電阻 RsR_s) 也會影響二極體的 I-V 特性,但通常不直接體現在 ideality factor 的定義中,而是會導致在正向導通時,實際電壓降小於外加電壓,使得電流成長不如理想。然而,某些情況下,電阻效應與其他機制結合,也可能間接影響 I-V 曲線的斜率,但 n=2n=2 的主要原因通常與複合直接相關。

Ideality Factor 的意義:

  • n=1n=1:電流主要由接面兩側的少數載子擴散決定 (Diffusion current)。
  • n=2n=2:電流主要由擴散區內的複合決定 (Recombination current)。
  • 1<n<21 < n < 2:通常是擴散電流和複合電流的混合。

題目要求:
提供 n=2n=2 的可能原因。

解題:
當二極體的 I-V 特性接近 I=Is[exp⁡(qVa/2kT)−1]I = I_s[\exp(qV_a/2kT) - 1] 時,其 ideality factor n=2n=2。這表示電流的主要貢獻來自於擴散區內的載子複合。

可能原因:

  1. 擴散區內的複合 (Recombination in the Depletion Region):
    在 PN 接面的擴散區,電子和電洞的濃度都相對較低,但由於有較強的電場,載子壽命較短,容易發生複合。如果複合是主要的電流機制,那麼 ideality factor 會是 2。這種情況在低摻雜濃度、擴散區較寬的 PN 接面中比較常見。
    • 解釋:在擴散區內,電子和電洞的複合會消耗由外加電壓產生的載子注入。根據 Shockley-Read-Hall (SRH) 複合理論,在擴散區內的複合電流與 exp⁡(qVa/2kT)\exp(qV_a/2kT) 成正比。
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第 4 題15 分

For a silicon-based p-i-n junction, the width of the intrinsic semiconductor is 1 µm, and the doping concentrations of the p-type and n-type semiconductors are 101610^{16} cm⁻³ and 101710^{17} cm⁻³, respectively. At T = 300 K, calculate the following when a reverse bias of 8 V is applied:
(a) (5%) The total depletion region width (WpinW_{pin})
(b) (10%) The maximum electric field (EmaxE_{max})

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核心觀念

本題考查矽基 pp-ii-nn 接面在反向偏壓下的空乏區與電場分布。

在空乏近似下:

  • 中間本質區 ii 完全空乏,寬度固定為 Wi=1 μmW_i=1~\mu\text{m}。
  • pp 區與 nn 區分別向接面延伸空乏寬度 xpx_p、xnx_n。
  • 空間電荷中性條件為
NAxp=NDxnN_Ax_p=N_Dx_n
  • 在本質區內,電場為最大值且近似為常數 Emax⁡E_{\max}。
  • 總電壓包含內建電位與外加反向偏壓:
V=Vbi+VRV=V_{bi}+V_R

矽的介電常數取

εs=11.8ε0=11.8(8.854×10−14)=1.044×10−12 F/cm\varepsilon_s=11.8\varepsilon_0 =11.8(8.854\times10^{-14}) =1.044\times10^{-12}~\text{F/cm}

已知條件

Wi=1 μm=1.0×10−4 cmW_i=1~\mu\text{m}=1.0\times10^{-4}~\text{cm} NA=1016 cm−3,ND=1017 cm−3N_A=10^{16}~\text{cm}^{-3},\qquad N_D=10^{17}~\text{cm}^{-3} VR=8 V,T=300 KV_R=8~\text{V},\qquad T=300~\text{K}

在 300 K300~\text{K} 下,矽的本質載子濃度取

ni≈1010 cm−3n_i\approx10^{10}~\text{cm}^{-3}

內建電位

熱電壓為

VT=kTq≈0.02585 VV_T=\frac{kT}{q}\approx0.02585~\text{V}

因此,pp-nn 兩端的內建電位為

Vbi=VTln⁡(NANDni2)V_{bi}=V_T\ln\left(\frac{N_AN_D}{n_i^2}\right)

代入數值:

Vbi=0.02585ln⁡(1016×1017(1010)2)V_{bi} =0.02585\ln\left( \frac{10^{16}\times10^{17}}{(10^{10})^2} \right) =0.02585ln⁡(1013)≈0.774 V=0.02585\ln(10^{13}) \approx0.774~\text{V}

所以空乏區總電壓為

V=VR+Vbi=8+0.774=8.774 VV=V_R+V_{bi} =8+0.774 =8.774~\text{V}

解題方法

設 Emax⁡E_{\max} 為本質區中的最大電場。由高斯定律,pp 區與 nn 區的電荷所造成的電場大小相同,因此

Emax⁡=qNAxpεs=qNDxnεsE_{\max} =\frac{qN_Ax_p}{\varepsilon_s} =\frac{qN_Dx_n}{\varepsilon_s}

故

xp=εsEmax⁡qNA,xn=εsEmax⁡qNDx_p=\frac{\varepsilon_sE_{\max}}{qN_A}, \qquad x_n=\frac{\varepsilon_sE_{\max}}{qN_D}

電壓降由三部分組成:

  1. pp 區三角形電場區
  2. ii 區矩形電場區
  3. nn 區三角形電場區

因此

V=Emax⁡Wi+12Emax⁡xp+12Emax⁡xnV =E_{\max}W_i +\frac{1}{2}E_{\max}x_p +\frac{1}{2}E_{\max}x_n

代入 xpx_p、xnx_n:

V=Emax⁡Wi+εsEmax⁡22q(1NA+1ND)V =E_{\max}W_i +\frac{\varepsilon_sE_{\max}^2}{2q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)

整理為

εs2q(1NA+1ND)Emax⁡2+WiEmax⁡−V=0\frac{\varepsilon_s}{2q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right)E_{\max}^2 +W_iE_{\max}-V=0

其中

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第 5 題20 分

Consider an ideal tungsten-to-p-type silicon Schottky diode at a temperature of 300 K. The work function of tungsten is 4.55 eV, the doping concentration of the semiconductor is 3×10153 \times 10^{15} cm⁻³, and the effective density of states in the conduction band and valence band for silicon are 2.8×10192.8 \times 10^{19} cm⁻³ and 1.04×10191.04 \times 10^{19} cm³ respectively.

(a) (10%) Calculate the ideal Schottky barrier height and the built-in potential of the semiconductor.
(b) (10%) Calculate the depletion region width and the maximum electric field when a reverse bias of 8 V is applied.

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核心觀念

本題考查金屬—半導體蕭特基二極體的:

  1. 理想蕭特基能障高度。
  2. pp 型矽中的費米能階位置。
  3. 內建電位。
  4. 反向偏壓下的空乏區寬度與最大電場。

採用標準矽參數:

χSi=4.05 eV,Eg=1.12 eV\chi_{\mathrm{Si}}=4.05\ \mathrm{eV},\qquad E_g=1.12\ \mathrm{eV} εSi=11.8ε0=11.8(8.854×10−14)=1.044×10−12 F/cm\varepsilon_{\mathrm{Si}}=11.8\varepsilon_0 =11.8(8.854\times10^{-14}) =1.044\times10^{-12}\ \mathrm{F/cm}

其中題目未提供矽的電子親和力、能隙與介電常數,以上為 300 K300\ \mathrm{K} 常用標準值。


解題方法

對理想金屬—pp 型半導體接面:

  • 電子蕭特基能障:
ϕBn=ϕm−χ\phi_{Bn}=\phi_m-\chi
  • 電洞蕭特基能障:
ϕBp=Eg−ϕBn\phi_{Bp}=E_g-\phi_{Bn}

由於半導體為 pp 型,題目所需的蕭特基能障高度採用電洞能障 ϕBp\phi_{Bp}。

半導體費米能階與價帶頂的距離為:

EF−EV=kTln⁡(NVNA)E_F-E_V=kT\ln\left(\frac{N_V}{N_A}\right)

內建電位為:

Vbi=ϕBp−EF−EVqV_{bi}=\phi_{Bp}-\frac{E_F-E_V}{q}

在反向偏壓 VRV_R 下,空乏區總電位降為:

Vdep=Vbi+VRV_{\mathrm{dep}}=V_{bi}+V_R

空乏區寬度與最大電場分別為:

W=2εs(Vbi+VR)qNAW=\sqrt{\frac{2\varepsilon_s(V_{bi}+V_R)}{qN_A}} Emax⁡=qNAWεs=2(Vbi+VR)WE_{\max}=\frac{qN_AW}{\varepsilon_s} =\frac{2(V_{bi}+V_R)}{W}

(a)理想蕭特基能障高度與內建電位

已知:

ϕm=4.55 eV\phi_m=4.55\ \mathrm{eV} NA=3×1015 cm−3N_A=3\times10^{15}\ \mathrm{cm^{-3}} NV=1.04×1019 cm−3N_V=1.04\times10^{19}\ \mathrm{cm^{-3}}

在 300 K300\ \mathrm{K}:

kT=0.02585 eVkT=0.02585\ \mathrm{eV}

1. 電子蕭特基能障

ϕBn=ϕm−χ\phi_{Bn}=\phi_m-\chi ϕBn=4.55−4.05=0.50 eV\phi_{Bn}=4.55-4.05=0.50\ \mathrm{eV}

2. 電洞蕭特基能障

ϕBp=Eg−ϕBn\phi_{Bp}=E_g-\phi_{Bn} ϕBp=1.12−0.50=0.62 eV\phi_{Bp}=1.12-0.50=0.62\ \mathrm{eV}

因此,pp 型矽所對應的理想蕭特基電洞能障為:

ϕBp=0.62 eV\boxed{\phi_{Bp}=0.62\ \mathrm{eV}}

3. 計算費米能階與價帶頂的距離

EF−EV=kTln⁡(NVNA)E_F-E_V=kT\ln\left(\frac{N_V}{N_A}\right) EF−EV=0.02585ln⁡(1.04×10193×1015) eVE_F-E_V =0.02585\ln\left( \frac{1.04\times10^{19}}{3\times10^{15}} \right)\ \mathrm{eV} 1.04×10193×1015=3466.7\frac{1.04\times10^{19}}{3\times10^{15}} =3466.7 EF−EV=0.02585ln⁡(3466.7)≈0.2107 eVE_F-E_V =0.02585\ln(3466.7) \approx0.2107\ \mathrm{eV}

因此:

EF−EVq=0.2107 V\frac{E_F-E_V}{q}=0.2107\ \mathrm{V}

4. 計算內建電位

Vbi=ϕBp−EF−EVqV_{bi}=\phi_{Bp}-\frac{E_F-E_V}{q} Vbi=0.62−0.2107=0.4093 VV_{bi}=0.62-0.2107 =0.4093\ \mathrm{V}

因此:

Vbi≈0.409 V\boxed{V_{bi}\approx0.409\ \mathrm{V}}
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第 6 題20 分

Consider a MOS capacitor with an n-type silicon substrate doped to Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³, a silicon dioxide (SiO2) insulator with a thickness of tox=20t_{ox} = 20 nm, and an n⁺ polysilicon gate (assuming EF≈EcE_F \approx E_c). The threshold voltage (VthV_{th}) is defined as the gate voltage required to achieve strong inversion at the silicon surface, where the surface potential ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F.

(a) (10%) Calculate the threshold voltage (VthV_{th}).
(b) (10%) Calculate the capacitance density at flat-band (CFBC_{FB}) and the minimum capacitance density (CminC_{min}) in the high-frequency C-V curve.

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本題主要考驗 MOS 電容器的閾值電壓 (VthV_{th}) 以及高頻 C-V 曲線中的平帶電容 (CFBC_{FB}) 和最小電容 (CminC_{min}) 的計算。

核心觀念:

  1. MOS 電容器結構:金屬 (或 n⁺ 多晶矽) / 氧化層 (SiO₂) / 半導體 (n-type Si)。
  2. 閾值電壓 (VthV_{th}):達到強反轉 (Strong Inversion) 時所需的閘極電壓。強反轉的條件是表面電位 ∣ϕs∣=2ϕF|{\phi}_s| = 2{\phi}_F,其中 ϕF{\phi}_F 是半導體的費米電位。
  3. 閾值電壓公式:Vth=VFB+ϕs+VoxV_{th} = V_{FB} + {\phi}_s + V_{ox}。其中 VFBV_{FB} 是平帶電壓,VoxV_{ox} 是氧化層電壓。Vox=−QsCoxV_{ox} = -\frac{Q_s}{C_{ox}},QsQ_s 是半導體表面的總電荷。
  4. 平帶電壓 (VFBV_{FB}):當半導體表面沒有表面電位和表面電荷時,金屬與半導體之間的電位差。VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms} (金屬與半導體功函數差)。
  5. 高頻 C-V 曲線:在強反轉區,由於少數載子無法快速響應高頻信號,表面電荷變化主要由多數載子決定,導致電容下降。
  6. 平帶電容 (CFBC_{FB}):在平帶條件下的總電容,等於氧化層電容 (CoxC_{ox}) 與半導體電容 (CsC_s) 的串聯。在平帶時,CsC_s 很大,所以 CFB≈CoxC_{FB} \approx C_{ox}。
  7. 最小電容 (CminC_{min}):在高頻 C-V 曲線的強反轉區,半導體電容達到最小值 (Cs,minC_{s,min}),總電容為 Cmin=CoxCs,minCox+Cs,minC_{min} = \frac{C_{ox} C_{s,min}}{C_{ox} + C_{s,min}}。

已知條件整理:

  • n-type Si 摻雜濃度 Nd=1016N_d = 10^{16} cm⁻³
  • SiO₂ 氧化層厚度 tox=20t_{ox} = 20 nm = 20×10−720 \times 10^{-7} cm
  • SiO₂ 介電常數 ϵox=3.9×8.85×10−14{\epsilon}_{ox} = 3.9 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈3.45×10−13\approx 3.45 \times 10^{-13} F/cm
  • Si 介電常數 ϵSi=11.7×8.85×10−14{\epsilon}_{Si} = 11.7 \times 8.85 \times 10^{-14} F/cm ≈1.036×10−12\approx 1.036 \times 10^{-12} F/cm
  • kT=0.0259kT = 0.0259 eV
  • q=1.6×10−19q = 1.6 \times 10^{-19} C
  • ni=1.5×1010n_i = 1.5 \times 10^{10} cm⁻³ (來自題目 1)
  • n⁺ 多晶矽閘極,假設 EF≈EcE_F \approx E_c,表示金屬功函數 ΦM{\Phi}_{M} 接近導帶底的能量。
  • Si 的電子親和勢 χSi=4.01{\chi}_{Si} = 4.01 eV (來自題目 1)
  • Si 的功函數 ΦSi{\Phi}_{Si} (需要從 NdN_d 計算)
  • Si 的帶隙 Eg=1.12E_g = 1.12 eV (來自題目 1)

解題步驟:

(a) 計算閾值電壓 (VthV_{th})

1. 計算費米電位 (ϕF{\phi}_F)
對於 n-type 半導體,ϕF=kTqln⁡(Ndni){\phi}_F = \frac{kT}{q} \ln\left(\frac{N_d}{n_i}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(1016 cm−31.5×1010 cm−3){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln\left(\frac{10^{16} \text{ cm}^{-3}}{1.5 \times 10^{10} \text{ cm}^{-3}}\right)
ϕF=0.0259 eV×ln⁡(6.67×105){\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times \ln(6.67 \times 10^5)
ϕF=0.0259 eV×13.41≈0.347{\phi}_F = 0.0259 \text{ eV} \times 13.41 \approx 0.347 eV。

2. 計算表面電位 (ϕs{\phi}_s)
在強反轉條件下,ϕs=2ϕF{\phi}_s = 2{\phi}_F。
ϕs=2×0.347 eV=0.694{\phi}_s = 2 \times 0.347 \text{ eV} = 0.694 eV。

3. 計算平帶電壓 (VFBV_{FB})
VFB=ΦmsV_{FB} = {\Phi}_{ms}。
Φms=ΦM−ΦS{\Phi}_{ms} = {\Phi}_{M} - {\Phi}_{S}。
ΦM{\Phi}_{M} (n⁺ 多晶矽閘極):由於 EF≈EcE_F \approx E_c,ΦM{\Phi}_{M} 接近 Si 的導帶底能量。
ΦM=χSi+(Ec−EF)Si{\Phi}_{M} = {\chi}_{Si} + (E_c - E_F)_{Si}。
對於 n-type Si,Ec−EF=ϕF=0.347E_c - E_F = {\phi}_F = 0.347 eV。
ΦM=4.01 eV+0.347 eV=4.357{\Phi}_{M} = 4.01 \text{ eV} + 0.347 \text{ eV} = 4.357 eV。
ΦS{\Phi}_{S} (Si 半導體功函數):ΦS=χSi+(Ec−EF)Si=4.01 eV+0.347 eV=4.357{\Phi}_{S} = {\chi}_{Si} + (E_c - E_F)_{Si} = 4.01 \text{ eV} + 0.347 \text{ eV} = 4.357 eV。
Φms=ΦM−ΦS=4.357 eV−4.357 eV=0{\Phi}_{ms} = {\Phi}_{M} - {\Phi}_{S} = 4.357 \text{ eV} - 4.357 \text{ eV} = 0 V。
所以,VFB=0V_{FB} = 0 V。 (這表示閘極材料和半導體功函數非常接近,理想情況下)

4. 計算氧化層電容 (CoxC_{ox})
Cox=ϵoxtoxC_{ox} = \frac{{\epsilon}_{ox}}{t_{ox}}

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