108 年 國立臺灣聯合大學系統(清華、政治、陽明交通、中央四校聯招)研究所電機類《固態電子元件》
第 1 題
Consider a silicon sample is doped with phosphorus. How the following parameters will change (increase, decrease, or does not change) as the temperature of the sample is increases from 25 °C to 100 °C. Give also a brief justification of your choice.
(a) Electron concentration . (4%)
(b) Hole concentration . (4%)
(c) Electron mobility . (4%)
(d) Location of the Fermi level, i.e. . (5%)
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本題主要在探討溫度變化對半導體材料中載子濃度、遷移率以及費米能階位置的影響。
核心觀念:
- 載子濃度與溫度: 在本徵半導體中,載子濃度主要由熱產生決定,隨溫度升高而顯著增加。在摻雜半導體中,若摻雜濃度低於熱產生載子濃度,溫度升高也會增加載子濃度。
- 載子遷移率與溫度: 遷移率受散射機制影響。在半導體中,低溫時以離子散射為主,高溫時以晶格(聲子)散射為主。晶格散射隨溫度升高而增強,導致遷移率下降。
- 費米能階與溫度: 費米能階的位置由摻雜濃度決定。對於 n 型半導體,費米能階靠近導帶;對於 p 型半導體,費米能階靠近價帶。溫度變化會影響載子濃度,進而間接影響費米能階的位置。
解題過程:
題目給定矽樣本摻雜了 的磷 (Phosphorus),磷是五價元素,屬於 n 型摻雜。
(a) Electron concentration .
在 25 °C (室溫) 時,矽的本徵載子濃度 。由於摻雜濃度 遠大於 ,此時半導體主要為 n 型,且電子濃度近似等於摻雜濃度 (外延區,Extrinsic region)。
當溫度從 25 °C 升高到 100 °C 時,本徵載子濃度 會顯著增加(大約呈指數級增長)。在足夠高的溫度下,熱產生載子的數量會超過摻雜濃度,半導體會進入本徵區 (Intrinsic region),此時 。
因此,隨著溫度升高,電子濃度 會增加。
【答案】增加 (Increase)。理由:溫度升高導致本徵載子濃度 大幅增加,最終超過摻雜濃度,使半導體行為趨向本徵半導體。
(b) Hole concentration .
根據質量作用定律 (Law of Mass Action),在熱平衡狀態下,。
由於溫度升高導致 顯著增加,而 在溫度升高初期仍近似等於 ,但隨著溫度繼續升高,當半導體進入本徵區時,。
若考慮從外延區到本徵區的轉變:
在溫度較低時(外延區),。由於 增加,根據 ,孔洞濃度 會增加。
在溫度很高時(本徵區), 且 。由於 隨溫度顯著增加,因此 也會增加。
嚴格來說,即使在 n 型半導體中,孔洞濃度 也是由熱產生決定的。溫度升高,熱產生增加,因此 增加。
【答案】增加 (Increase)。理由:溫度升高導致本徵載子濃度 顯著增加,根據 ,孔洞濃度 隨之增加。
第 2 題
Use the energy band diagram to show the event described below:
(a) The existence of a constant electric field. (4%)
(b) An electron with kinetic energy = /2. (4%)
(c) Recombination via a mid-gap G-R center. (4%)
(d) Band-to-Band tunneling. (5%)
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本題要求利用能帶圖 (Energy band diagram) 來表示四個不同的物理現象。能帶圖是描述固體材料中電子能量狀態的圖形,通常以波數 (k) 或位置 (x) 為橫軸,能量 (E) 為縱軸。
核心觀念:
- 能帶圖的組成: 價帶 (Valence band, Ev)、導帶 (Conduction band, Ec)、禁帶 (Band gap, Eg)。
- 電子與電洞: 導帶中的電子是自由載子,價帶中的電子是束縛載子。價帶中的空位稱為電洞。
- 能量與動量: 在能帶圖中,電子的能量由縱軸表示,其晶格動量(或波數)由橫軸表示。
- 電場: 電場會影響能帶的傾斜程度。
- 電子行為: 電子在能帶中的運動,其能量和動量的變化反映了其行為。
解題過程:
(a) The existence of a constant electric field.
在能帶圖中,電場的存在會導致能帶發生傾斜。如果電場是常數且方向一致,那麼能帶的傾斜率也是常數。
假設電場 沿著 方向,則電場對電子能量的影響是 (對於電子,電荷 )。這表示在空間移動 的過程中,電子的能量會線性變化。
在能帶圖中,這會表現為導帶底 () 和價帶頂 () 都會呈現線性傾斜。如果電場沿著 軸正向,且我們繪製的是能量對位置的圖,那麼能帶會向 軸的右側(或左側,取決於定義)傾斜。
繪製時,畫出 和 兩條平行且帶有固定斜率的直線。斜率的大小與電場強度成正比。
🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
在能帶圖中,橫軸代表位置,縱軸代表能量。常數電場會使能帶發生線性傾斜,即 或 (取決於電場方向與座標定義)。畫出兩條平行且具有固定斜率的直線代表 和 。
(b) An electron with kinetic energy = /2.
電子在半導體中的總能量是其動能加上勢能。在能帶圖中,我們通常關注的是導帶中的自由電子。
假設電子位於導帶的最低點(即導帶底 )。如果該電子具有動能 ,則其總能量為 。
在能帶圖中,這表示該電子位於導帶內,其能量值比導帶底高出 。
繪製時,畫出 和 。在 上方,標示一個能量點,其高度為 。這個點代表了具有該能量的電子。
🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
第 3 題
For an abrupt PN junction made of Si, the acceptor (donor) concentration in the p (n) region is (). The width of neutral n- (p-) region is denoted as (). Assumed both contacts to electrodes are Ohmic and need not be taken into account.
(a) Assumed that both and are much larger than the diffusion lengths of their respective minority carriers, please plot the band diagram of this PN junction at a small forward bias (say, 0.3V). You must include , , and both quasi-Fermi levels in your band diagram. (4%)
(b) Continued to (a) and alongside with the band diagram, please plot the distribution of carrier concentration, both of electron and hole, for this forwardly biased PN junction. Repeat plotting again the current density, both of electron and hole, in a separate plot. (6%)
(c) Without derivation, write down the current density as a function of the applied bias voltage for a PN junction at small and moderate forward bias. You must include both generation/recombination in depletion and neutral regions. (4%)
(d) Repeat (c), albeit with a forwardly biased PN junction in which both and are much smaller than the diffusion lengths of their respective minority carriers. (3%)
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本題探討一個矽 P-N 接面在小順向偏壓下的行為,特別關注能帶圖、載子濃度分佈、電流密度以及不同摻雜區域寬度對電流的影響。
核心觀念:
- P-N 接面的平衡狀態: 在無偏壓時,擴散電流與漂移電流平衡,形成內建電位。
- 順向偏壓: 外加電壓降低了內建電位,使得擴散電流顯著增加,產生順向電流。
- 準費米能階 (Quasi-Fermi Levels): 在非平衡狀態下,電子和電洞的統計行為需要用兩個不同的費米能階來描述,分別是電子準費米能階 () 和電洞準費米能階 ()。在平衡狀態下,。
- 載子濃度分佈: 順向偏壓會在接面附近注入少數載子,導致其濃度超過平衡值。
- 電流密度: 總電流密度是電子和電洞電流密度的總和。在順向偏壓下,擴散電流是主導。
- 擴散長度 (Diffusion Length): 少數載子注入接面後,在複合前平均能擴散的距離。
- 中性區寬度 (Neutral Region Width): 接面以外的區域,總電荷接近零。
解題過程:
題目給定一個矽 P-N 接面,其中 和 (中性區寬度)遠大於其少數載子的擴散長度 ( 和 )。這是典型的擴散主導的 P-N 接面模型。
(a) Band diagram at small forward bias (0.3V).
在小順向偏壓 下,接面的內建電位 被降低了 。對於矽,室溫下的 。
順向偏壓使得導帶底的能量差 ,價帶頂的能量差 。
準費米能階 和 會平行移動,它們之間的能量差等於外加偏壓 。
在 P 區,電子濃度是少數載子,其準費米能階 較低。在 N 區,電洞濃度是少數載子,其準費米能階 較高。
由於 和 ,表示 P 區和 N 區的遠處,載子濃度接近其平衡濃度(即 , )。因此,在 P 區遠處, (平衡時的費米能階),在 N 區遠處,。
順向偏壓下,接面兩側的準費米能階之差為 。
能帶圖應顯示:
- P 區和 N 區的 。
- 接面區域的彎曲(由於內建電位)。
- 順向偏壓下的準費米能階 和 。它們在 P 區遠處位於同一水平,在 N 區遠處位於同一水平,且在 N 區遠處的 比 P 區遠處的 高 。同樣地, 在 N 區遠處比 P 區遠處高 。
- 總是高於 。
- 在 N 區比 P 區高, 在 P 區比 N 區高。
🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
繪製 P-N 接面的能帶圖,包含 , , 。在 P 區和 N 區的遠處,畫出水平的 和 。在 P 區遠處,。在 N 區遠處,,且 N 區的準費米能階比 P 區高 。接面區域的能帶是彎曲的。
(b) Carrier concentration and current density distributions.
-
Carrier Concentration Distribution:
- Electrons (n): 在 P 區,電子是少數載子。順向偏壓注入的電子濃度在接面處達到最大值(稱為注入濃度),然後隨著遠離接面呈指數衰減,直到達到 N 區的平衡電子濃度 。在 N 區,電子是多數載子,濃度近似等於摻雜濃度 。
- Holes (p): 在 N 區,電洞是少數載子。順向偏壓注入的電洞濃度在接面處達到最大值(稱為注入濃度),然後隨著遠離接面呈指數衰減,直到達到 P 區的平衡電洞濃度 。在 P 區,電洞是多數載子,濃度近似等於摻雜濃度 。
- 由於 ,注入的少數載子在到達中性區邊界前會顯著複合,因此在 P 區的電子濃度和 N 區的電洞濃度在遠離接面處會迅速衰減到其平衡值。
-
Current Density Distribution:
- Electron Current Density (): 總電子電流密度包括擴散電流和漂移電流。在順向偏壓下,擴散電流是主導。電子電流密度在 P 區是由接面處注入的電子擴散產生的,在 N 區則是由 N 區的電子擴散到接面。
- Hole Current Density (): 類似地,總電洞電流密度包括擴散電流和漂移電流。電洞電流密度在 N 區是由接面處注入的電洞擴散產生的,在 P 區則是由 P 區的電洞擴散到接面。
- 由於 ,注入的少數載子在擴散過程中會複合,因此擴散電流密度也會隨距離呈指數衰減。
- 在 P 區,電子電流密度主要由接面注入的電子擴散產生,在遠離接面處因複合而衰減。
- 在 N 區,電洞電流密度主要由接面注入的電洞擴散產生,在遠離接面處因複合而衰減。
- 總電流密度 。在順向偏壓下,總電流密度在接面處最大,然後在遠離接面的中性區內,由於少數載子的複合,其值會減小,直到達到由多數載子擴散貢獻的較小值。但是,題目又說 遠大於擴散長度,這意味著在中性區的遠處,少數載子濃度已經衰減到接近平衡值,其擴散貢獻也很小。因此,總電流密度在接面後會衰減,但如果只考慮擴散電流,那麼在中性區遠處,由於注入的少數載子已經複合掉,其擴散電流貢獻會變得非常小。
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繪製兩個圖:
- 載子濃度分佈圖: 橫軸為位置 ,縱軸為載子濃度。畫出 P 區的 (多數載子) 和 (少數載子),以及 N 區的 (多數載子) 和 (少數載子)。在接面處, 和 顯著高於其平衡值,並隨距離指數衰減。
- 電流密度分佈圖: 橫軸為位置 ,縱軸為電流密度。畫出 和 。在順向偏壓下,接面注入的少數載子擴散是主導。 在 P 區由接面向 N 區流動,並衰減; 在 N 區由接面向 P 區流動,並衰減。總電流 在接面處最大,然後在中性區內,由於少數載子的複合,其值會減小。
第 4 題
For an npn bipolar junction transistor (BJT) of uniform cross section, denote as , , (, , ) for the doping levels (width of neutral region) of the emitter, the base and the collector, respectively. Assumed all contacts to electrodes are Ohmic and need not be taken into account.
(a) Please plot the band diagram of this BJT at active bias mode, that is, with forwardly biased EB junction and reversely biased BC junction. You must include , , and both quasi-Fermi levels in your band diagram. (4%)
(b) Explain why such an actively biased BJT exhibits high (>>1) current gain , which is defined as the ratio of collector current to base current, whereas two head-to-head connected conventional pn diodes do not. (6%)
(c) Plot the current gain of an actively biased npn BJT as a function of the collector current and explain the trend, i.e., why increases/decreases. (6%)
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本題探討 NPN 型雙極性接面電晶體 (BJT) 在主動偏壓模式下的能帶圖、電流增益 的來源以及 隨集極電流變化的趨勢。
核心觀念:
- BJT 的結構與工作模式: BJT 由三個半導體區組成:射極 (Emitter, E)、基極 (Base, B) 和集極 (Collector, C)。主動偏壓模式是指射極-基極 (EB) 接面順向偏壓,集極-基極 (BC) 接面逆向偏壓。
- 能帶圖與準費米能階: 在主動模式下,電子和電洞的注入與擴散是電流的主要來源。準費米能階用於描述非平衡狀態下的載子分佈。
- 電流增益 : 。在 BJT 中,射極注入的大量載子,大部分能擴散通過窄基極到達集極形成集極電流 ,只有少部分在基極複合形成基極電流 。
- 載子複合: 在基極區域,電子(從射極注入)與基極中的電洞(或基極中的電子與射極注入的電洞)複合,形成基極電流。
- 掺雜濃度與擴散長度: 射極摻雜濃度遠高於基極,基極寬度遠小於少數載子擴散長度,是 BJT 獲得高 的關鍵。
解題過程:
題目給定一個 NPN BJT,其射極 (E)、基極 (B)、集極 (C) 的摻雜濃度為 ,區域寬度為 。
(a) Band diagram of BJT at active bias mode.
主動偏壓模式:EB 接面順向偏壓 (),BC 接面逆向偏壓 ()。
- EB 接面: 順向偏壓使得 EB 接面的內建電位降低,電子從 N 型射極注入到 P 型基極,電洞從 P 型基極注入到 N 型射極。
- BC 接面: 逆向偏壓使得 BC 接面的內建電位增強,電子從 P 型基極擴散到 N 型集極,電洞從 N 型集極擴散到 P 型基極(但此處電洞是少數載子,其擴散貢獻較小)。
- 準費米能階:
- 在射極區:電子是多數載子,電洞是少數載子。
- 在基極區:電子是少數載子(從射極注入),電洞是多數載子。
- 在集極區:電子是少數載子(從基極擴散),電洞是多數載子。
- 由於 EB 接面順向偏壓,射極的準費米能階 () 與基極的準費米能階 () 之間有能量差 。
- 由於 BC 接面逆向偏壓,基極的準費米能階 () 與集極的準費米能階 () 之間有能量差 。
- 在能帶圖中,準費米能階會呈現平行移動。
- 在射極區最高,然後在基極區下降,在集極區進一步下降。
- 在集極區最高,然後在基極區下降,在射極區進一步下降。
- 在每個區域內, 始終高於 。
- EB 接面順向偏壓導致 比 高, 比 高。
- BC 接面逆向偏壓導致 比 高, 比 高。
🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
繪製 NPN BJT 的能帶圖,包含 。
- EB 接面區域有順向偏壓引起的能帶彎曲。
- BC 接面區域有逆向偏壓引起的能帶彎曲。
- 畫出射極、基極、集極的準費米能階。
- 在 E 區最高,B 區次之,C 區最低。
- 在 C 區最高,B 區次之,E 區最低。
- 在 E 區 ;在 B 區 ;在 C 區 。
- , 。
(b) Why high current gain in BJT?
BJT 的高 值源於其特殊的結構設計和工作原理,這與兩個串聯的 PN 接面(例如,兩個背對背連接的 PN 二極體)有顯著不同。
關鍵因素包括:
- 優化的掺雜濃度: 射極的摻雜濃度 () 遠高於基極的摻雜濃度 ()。這使得在 EB 接面順向偏壓下,射極注入到基極的電子數量遠遠大於基極注入到射極的電洞數量。因此,射極注入的載子(電子)是主導電流,而基極注入的載子(電洞)只佔一小部分。
- 電子注入電流 (在 P 區,電子是少數載子,其濃度與 N 區的 有關)。
- 電洞注入電流 (在 N 區,電洞是少數載子,其濃度與 P 區的 有關)。
- 在 EB 接面,電子從 N 區(射極)注入 P 區(基極)的電流密度 ,其中 和 是載子導電率。由於 , (射極) (基極),所以電子注入佔主導。
第 5 題
For a silicon n-channel MOSFET, assume that the gate-to-substrate work function difference , gate oxide thickness = 10 nm, , and fixed oxide charge of where .
(a) Calculate the threshold voltage of this MOSFET for the substrate bias of -2.5 V and the source voltage of 0 V. (10%)
(b) Calculate the threshold voltage of this MOSFET for the substrate bias of 0 V and the source voltage of 0 V. (10%)
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核心觀念
本題考查 n-channel MOSFET 的臨界電壓,以及基板偏壓造成的 body effect(基體效應)。
臨界電壓公式為
其中:
- :平帶電壓
- :基板費米位能
- :源極—基板電壓
- :基體效應參數
當 時,公式簡化為
參數計算
以下採用室溫 、,並取
1. 氧化層電容密度
氧化層厚度為
因此
2. 固定氧化層電荷造成的電壓
固定氧化層電荷為
平帶電壓為
題目給定 ,在電壓計算中相當於 ,所以
3. 基板費米位能
對 p 型基板,
代入 :
因此
4. 基體效應參數
第 6 題13 分
For an ideal MOSFET, please derive the expressions of transconductance in the linear region and in the saturation region, respectively, and state the dependence of the transconductance on and for both cases.
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本題要求推導理想 MOSFET 在線性區 (Linear Region) 和飽和區 (Saturation Region) 的跨導 (Transconductance, ) 表達式,並說明 如何隨 和 變化。
核心觀念:
- 理想 MOSFET 模型: 通常指忽略次臨界擺盪效應 (Subthreshold Swing)、短通道效應 (Short Channel Effects)、體效應 (Body Effect) 等的長通道 MOSFET 模型。
- 線性區 (Linear Region): 當 時, MOSFET 處於線性區,此時導電通道的電阻行為類似於一個電阻。
- 飽和區 (Saturation Region): 當 時, MOSFET 處於飽和區,此時通道在汲極端被夾斷 (Pinch-off),通道電流不再隨 顯著增加。
- 跨導 (): 定義為輸出電流對輸入電壓的變化率,即 。對於 MOSFET,輸入電壓是閘極-源極電壓 ,輸出電流是汲極電流 。
推導過程:
首先,我們需要 MOSFET 在線性區和飽和區的汲極電流 表達式。對於 n-channel MOSFET,忽略體效應和短通道效應:
1. 線性區 (Linear Region):
在此區域,通道中的電位差 ,其中 是通道在距離源極 處的電位。
通道中的電流密度可以視為由通道電位差 驅動,並受到通道電容 的影響。
將通道視為一連串的電阻,總電流 可以通過對通道電位差積分得到。
一個更直接的方法是考慮通道的電阻。在線性區,通道的電導率與 成正比,且與 無關。
汲極電流 的表達式為:
其中, 是電子的遷移率, 是閘極氧化層電容, 是 MOSFET 的寬長比。
跨導 () 在線性區:
對上述 表達式對 微分: