109 年 國立臺灣聯合大學系統(清華、政治、陽明交通、中央四校聯招)研究所電機類《固態電子元件》

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第 1 題10 分

For a material of with E-k diagram shown in Figure 1, there are two different effective masses (heavy / light) for electrons. Which effective mass will be the one displayed by most electrons in the conduction band? Explain why? (10%)

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此題考查電子在 E-k 圖中的行為特性,以及有效質量(effective mass)與能帶曲率的關係。

核心觀念:
在固態物理中,電子的有效質量 m∗m^* 與能帶的曲率(curvature)成反比。其定義為 m∗=ℏ2/(d2E/dk2)m^* = \hbar^2 / (d^2E/dk^2)。曲率越大,有效質量越小。

解題過程:
圖一顯示了材料的 E-k 圖,其中 E 代表能量,k 代表波向量。能帶的曲率決定了電子的有效質量。

  • 在導帶(conduction band, CB)中,能量 E 隨 k 的變化曲線越彎曲(曲率越大),電子的有效質量就越小。
  • 反之,能帶曲線越平坦(曲率越小),電子的有效質量就越大。

題目中提到有兩種不同的有效質量:重質量(heavy mass)和輕質量(light mass)。這意味著導帶中 E-k 圖的曲率有兩種不同的值。
從圖一的 E-k 圖可以看出,導帶底部的能量曲線並非單一的拋物線,而是可能有多個區域具有不同的曲率,或者說,在某些範圍內,曲線的彎曲程度不同。然而,題目直接給出「two different effective masses (heavy / light) for electrons」,並且要求我們判斷哪種有效質量會被「most electrons」顯示。

在一個給定的能帶結構中,當電子處於導帶底部附近時,其能量與 k 的關係通常可以近似為一個拋物線。若存在兩種不同的有效質量,則意味著導帶底部附近至少有兩個區域具有顯著不同的曲率。

一般而言,在導帶中,電子傾向於佔據能量較低的狀態。在材料的平衡狀態下,溫度會使電子有一定的能量分佈(例如遵循 Fermi-Dirac 統計)。然而,當我們討論「most electrons」在導帶中顯示的有效質量時,通常指的是電子最容易被激發到的、能量最低的區域。

若導帶底部附近存在兩種曲率,那麼:

  1. 輕質量 (light effective mass):對應於導帶中 較大曲率 的區域。電子在這些區域的運動對外加電場的響應更為靈敏,因為它們更容易加速。
  2. 重質量 (heavy effective mass):對應於導帶中 較小曲率 的區域。電子在這些區域的運動較為遲緩。
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第 2 題20 分

  1. (a) Please draw two curves of electron mobility vs. temperature (K) in log-scale for two Si samples, A and B with uniform doping concentrations of ND1, ND2, respectively, where ND1 < ND2. Please label A and B on the plot. (10%) (b) Sample B is counter-doped uniformly with NA, becoming sample C. Draw its mobility vs. temperature curve on the same plot in (a) and explain the differences in the 3 corresponding curves. (10%)

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核心觀念

本題考查矽中電子遷移率 μn\mu_n 隨溫度的變化,以及兩種主要散射機制:

  1. 晶格聲子散射(lattice scattering)
  2. 離化雜質散射(ionized-impurity scattering)

電子遷移率定義為

μn=qτnmn∗\mu_n=\frac{q\tau_n}{m_n^*}

其中 qq 為電子電量、τn\tau_n 為平均碰撞時間、mn∗m_n^* 為電子有效質量。散射越強,τn\tau_n 越短,因此遷移率越低。

總遷移率可用 Matthiessen 定律表示:

1μn=1μL+1μI\frac{1}{\mu_n} = \frac{1}{\mu_{\mathrm{L}}} + \frac{1}{\mu_{\mathrm{I}}}

其中 μL\mu_{\mathrm{L}} 為晶格散射所決定的遷移率,μI\mu_{\mathrm{I}} 為離化雜質散射所決定的遷移率。


解題方法

低溫區:離化雜質散射主導

低溫時,晶格振動較弱,聲子數量少,因此晶格散射不明顯。此時主要受到離化施體或受體的庫倫散射。

在基本近似下:

μI∝T3/2NI\mu_{\mathrm{I}}\propto \frac{T^{3/2}}{N_{\mathrm{I}}}

其中 NIN_{\mathrm{I}} 為離化雜質濃度。

因此:

  • 溫度升高時,電子平均速度增加、屏蔽效果改善,μI\mu_{\mathrm{I}} 上升。
  • 摻雜濃度越高,離化雜質越多,遷移率越低。

由於

ND1<ND2N_{D1}<N_{D2}

樣品 A 的低溫電子遷移率高於樣品 B:

μA>μB\mu_A>\mu_B

高溫區:晶格聲子散射主導

高溫時,晶格振動增強,電子與聲子的碰撞變頻繁。晶格散射所造成的遷移率通常近似為

μL∝T−m\mu_{\mathrm{L}}\propto T^{-m}

其中 mm 約為 22 至 2.52.5,實際數值取決於散射模型與溫度範圍。

所以在高溫區:

  • 溫度升高,聲子散射增強。
  • 電子遷移率隨溫度上升而下降。
  • 晶格散射與摻雜濃度關係較小,因此 A、B 的曲線逐漸接近。

(a) 樣品 A 與 B 的遷移率曲線

兩個樣品的曲線都具有相同的基本形狀:

  1. 低溫區由離化雜質散射主導,遷移率隨溫度上升。
  2. 中間溫度附近出現最大值。
  3. 高溫區由晶格聲子散射主導,遷移率隨溫度上升而下降。

在雙對數座標中,可示意如下:

log μn
  ↑
  │                  A
  │                /  \
  │              /      \
  │            /          \
  │      B   /              \
  │        /                  \
  │      /                     \
  │    /                        \
  │  /                           \
  └──────────────────────────────────→ log T
     低溫          中溫              高溫

更精確地標示兩條曲線的相對位置:

  • 樣品 A:ND1N_{D1} 較低,因此低溫遷移率較高。
  • 樣品 B:ND2N_{D2} 較高,因此低溫遷移率較低。
  • 高溫時兩者皆由晶格散射主導,曲線趨於接近。
  • 樣品 A 的峰值通常較高,且較早進入晶格散射主導區。
  • 樣品 B 的低溫雜質散射較強,因此峰值較低,峰值位置通常向較高溫側移動。

可用下列關係概括:

μA(T)>μB(T)低溫區\mu_A(T)>\mu_B(T) \qquad \text{低溫區} μA(T)≈μB(T)高溫區\mu_A(T)\approx\mu_B(T) \qquad \text{高溫區}

(b) 樣品 C 的曲線與補償摻雜

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第 3 題20 分

  1. We deposit a metal with a work function of 4.6 eV on Si at room temperature. Suppose that the Si has an electron affinity of 4 eV and a doping concentration of 10¹7 cm³. Please draw the equilibrium band diagrams of this M-S junction if (a) the doping is n-type and (b) the doping is p-type, respectively. (20%)

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此題考查金屬-半導體 (M-S) 接面的能帶圖繪製,重點在於理解功函數、電子親和勢、費米能階的位置以及形成歐姆接觸或蕭特基接觸的條件。

核心觀念:

  1. 功函數 (ϕ\phi): 導體(金屬)中電子從費米能階逃逸到真空所需的最小能量。
  2. 電子親和勢 (χ\chi): 半導體中電子從導帶底逸出到真空所需的能量。
  3. 能帶圖繪製:在形成接面時,為了使兩者費米能階對齊,半導體會產生內建電位 (built-in potential, VbiV_{bi}),進而形成能帶彎曲。
  4. 歐姆接觸 vs. 蕭特基接觸:
    • 歐姆接觸:載流子可以自由通過接面,電阻很小。對於 n-type 半導體,若 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s (或 Efm>EfsE_{fm} > E_{fs}),則通常形成歐姆接觸。對於 p-type 半導體,若 ϕm<ϕs\phi_m < \phi_s (或 Efm<EfsE_{fm} < E_{fs}),則通常形成歐姆接觸。
    • 蕭特基接觸:形成一個能障 (Schottky barrier),載流子通過接面時會受到阻礙。對於 n-type 半導體,若 ϕm<ϕs\phi_m < \phi_s,則形成蕭特基接觸。對於 p-type 半導體,若 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s,則形成蕭特基接觸。
    • 注意:這裡的 ϕs\phi_s 是半導體的功函數,通常定義為 ϕs=χ+(Ec−EF)\phi_s = \chi + (E_c - E_F)。

已知參數:

  • 金屬功函數 ϕm=4.6\phi_m = 4.6 eV
  • 矽的電子親和勢 χSi=4.0\chi_{Si} = 4.0 eV
  • 摻雜濃度 NDN_D 或 NA=1017N_A = 10^{17} cm−3^{-3}
  • 室溫下 (約 300K),kT≈0.026kT \approx 0.026 eV。

解題過程:
首先,我們需要計算矽的功函數 ϕs\phi_s。
ϕs=χSi+(Ec−EF)\phi_s = \chi_{Si} + (E_c - E_F)

對於 n-type 矽,摻雜濃度 ND=1017N_D = 10^{17} cm−3^{-3}。
導帶底與費米能階的能量差 Ec−EFE_c - E_F 可以通過以下公式近似計算(對於簡併態,需要更精確的計算,但對於 101710^{17} cm−3^{-3},通常非簡併態近似是足夠的):
ND=Ncexp⁡(−(Ec−EF)/kT)N_D = N_c \exp(-(E_c - E_F)/kT)
其中,NcN_c 是矽的有效態密度,Nc≈2.8×1019N_c \approx 2.8 \times 10^{19} cm−3^{-3} (對於矽在 300K)。

計算 Ec−EFE_c - E_F for n-type:
1017=2.8×1019exp⁡(−(Ec−EF)/0.026)10^{17} = 2.8 \times 10^{19} \exp(-(E_c - E_F)/0.026)
1017/(2.8×1019)=exp⁡(−(Ec−EF)/0.026)10^{17} / (2.8 \times 10^{19}) = \exp(-(E_c - E_F)/0.026)
0.00357≈exp⁡(−(Ec−EF)/0.026)0.00357 \approx \exp(-(E_c - E_F)/0.026)
ln⁡(0.00357)≈−(Ec−EF)/0.026\ln(0.00357) \approx -(E_c - E_F)/0.026
−5.63≈−(Ec−EF)/0.026-5.63 \approx -(E_c - E_F)/0.026
Ec−EF≈5.63×0.026≈0.146E_c - E_F \approx 5.63 \times 0.026 \approx 0.146 eV。

所以,n-type 矽的功函數 ϕs,n=χSi+(Ec−EF)=4.0 eV+0.146 eV=4.146\phi_{s,n} = \chi_{Si} + (E_c - E_F) = 4.0 \text{ eV} + 0.146 \text{ eV} = 4.146 eV。

現在比較金屬和 n-type 矽的功函數:
ϕm=4.6\phi_m = 4.6 eV
ϕs,n=4.146\phi_{s,n} = 4.146 eV
由於 ϕm>ϕs,n\phi_m > \phi_{s,n},金屬的功函數大於半導體的功函數。

(a) n-type 矽

  • 當金屬與 n-type 半導體接觸時,若 ϕm>ϕs\phi_m > \phi_s,則通常形成 歐姆接觸 (Ohmic contact)。
  • 能帶圖繪製:
    • 繪製水平的能帶圖(未接觸前)。上方是金屬,下方是 n-type 矽。
    • 金屬的費米能階 EfmE_{fm} 處於其能帶中間(假設是簡單金屬)。
    • 矽的費米能階 EfnE_{fn} 靠近導帶底 EcE_c(因為是 n-type)。
    • 金屬的功函數 ϕm=Evac−Efm=4.6\phi_m = E_{vac} - E_{fm} = 4.6 eV。
    • 矽的功函數 ϕs,n=Evac−Efn=4.146\phi_{s,n} = E_{vac} - E_{fn} = 4.146 eV。
    • 形成接面後:費米能階對齊 Efm=EfnE_{fm} = E_{fn}。
    • 由於 ϕm>ϕs,n\phi_m > \phi_{s,n},為了使費米能階對齊,矽的能帶會向上彎曲,導帶底 EcE_c 和價帶頂 EvE_v 都會上升。
    • 接觸區的電子從能量較低的矽(相對於金屬的費米能階)流向能量較高的金屬,直到費米能階對齊。
    • 在矽側,由於電子流出,會形成一個區域(靠近接面)的淨正電荷(來自電離的施主離子 ND+N_D^+)。
    • 在金屬側,由於電子流入,會形成負電荷。
    • 由於是歐姆接觸,能帶彎曲的程度(內建電位 VbiV_{bi})會很小,或者說,蕭特基勢壘高度 qϕB≈Ec−EFq \phi_B \approx E_c - E_F (在半導體側)。
    • 蕭特基勢壘高度 qϕB=ϕm−χSi=4.6−4.0=0.6q \phi_B = \phi_m - \chi_{Si} = 4.6 - 4.0 = 0.6 eV。
    • 內建電位 Vbi=ϕm−ϕs=4.6−4.146=0.454V_{bi} = \phi_m - \phi_s = 4.6 - 4.146 = 0.454 V。
    • 能帶圖:金屬的能帶是平坦的。矽的導帶底和價帶頂在靠近接面的區域向上彎曲。費米能階在矽中靠近導帶底,在金屬中位於中間。

(b) p-type 矽
現在計算 p-type 矽的功函數。摻雜濃度 NA=1017N_A = 10^{17} cm−3^{-3}。
價帶頂與費米能階的能量差 EF−EvE_F - E_v。
NA=Nvexp⁡(−(EF−Ev)/kT)N_A = N_v \exp(-(E_F - E_v)/kT)
其中,NvN_v 是矽的有效態密度,Nv≈1.04×1019N_v \approx 1.04 \times 10^{19} cm−3^{-3} (對於矽在 300K)。

計算 EF−EvE_F - E_v for p-type:
1017=1.04×1019exp⁡(−(EF−Ev)/0.026)10^{17} = 1.04 \times 10^{19} \exp(-(E_F - E_v)/0.026)
1017/(1.04×1019)=exp⁡(−(EF−Ev)/0.026)10^{17} / (1.04 \times 10^{19}) = \exp(-(E_F - E_v)/0.026)
0.009615≈exp⁡(−(EF−Ev)/0.026)0.009615 \approx \exp(-(E_F - E_v)/0.026)

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第 4 題15 分

  1. Consider a uniformly doped Si NPN BJT. For the emitter and base regions, assume equal region widths (XE=XB), diffusion lengths (LE=LB), and minority carrier lifetimes (TE=TB). With doping concentrations NB=10¹7 cm³ and NE=10¹⁹ cm³, please calculate the emitter injection efficiency when the bandgap narrowing effect is neglected. (15%)

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核心觀念

本題考查 NPN BJT 的射極注入效率(emitter injection efficiency):

γE=JnBJnB+JpE\gamma_E=\frac{J_{nB}}{J_{nB}+J_{pE}}

其中:

  • JnBJ_{nB}:射極注入基極的電子電流,為主要電流成分。
  • JpEJ_{pE}:基極注入射極的電洞電流,為寄生電流成分。

射極注入效率越接近 11,表示射極注入的電子占比越高,BJT 的電流放大能力越好。


解題方法

對均勻摻雜、忽略 bandgap narrowing 的 BJT,少數載子平衡濃度為:

nB0=ni2NBn_{B0}=\frac{n_i^2}{N_B} pE0=ni2NEp_{E0}=\frac{n_i^2}{N_E}

因此,兩個注入電流密度可寫成比例形式:

JnB∝DnBLBni2NBcoth⁡(XBLB)J_{nB}\propto \frac{D_{nB}}{L_B}\frac{n_i^2}{N_B} \coth\left(\frac{X_B}{L_B}\right) JpE∝DpELEni2NEcoth⁡(XELE)J_{pE}\propto \frac{D_{pE}}{L_E}\frac{n_i^2}{N_E} \coth\left(\frac{X_E}{L_E}\right)

兩式中的正向偏壓因子與 ni2n_i^2 會相互抵消,所以:

JpEJnB=DpEDnBNBNELBLEcoth⁡(XE/LE)coth⁡(XB/LB)\frac{J_{pE}}{J_{nB}} = \frac{D_{pE}}{D_{nB}} \frac{N_B}{N_E} \frac{L_B}{L_E} \frac{\coth(X_E/L_E)}{\coth(X_B/L_B)}

題目給定:

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第 5 題9 分

  1. Consider a MOS capacitor fabricated on an n-type silicon. The charge diagrams for this MOS capacitor under various bias conditions are shown in diagram (1)-(5) of Figure 2.
    (a) Which charge diagram corresponds to accumulation condition? (3%)
    (b) Which charge diagram corresponds to depletion condition? (3%)
    (c) Which charge diagram corresponds to strong-inversion condition? (3%)
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核心觀念

MOS 電容的工作狀態由閘極電荷與半導體表面載子分布判斷。題目為 n 型矽基板:

  • n 型基板的多數載子是電子。
  • 閘極施加正電壓,吸引電子至 Si–SiO₂ 界面,形成累積。
  • 閘極施加負電壓,排斥電子,使施體離子化,形成空乏區。
  • 負閘極電壓再增加時,界面吸引少數載子電洞,形成反轉層;當電洞濃度足夠高,即為強反轉。

逐一判斷圖形

  1. 圖(1)

    閘極帶負電 −Q-Q,基板側為帶正電的離子化施體。電子被負閘極排斥,留下固定的正離子,因此形成空乏區。

    這是空乏狀態。

  2. 圖(2)

    閘極帶正電 +Q+Q,基板側聚集負電電子。電子為 n 型矽的多數載子,因此界面電子濃度增加,形成累積層。

    這是累積狀態。

  3. 圖(3)

    閘極與基板皆未顯示額外電荷,代表表面能帶未彎曲,屬於平帶狀態。

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第 6 題20 分

  1. For an NMOSFET, assume that the gate oxide thickness tox = 277 Å, the channel length L = 1 µm, the channel width W = 10 µm, and the threshold voltage Vr = 1 V and the saturation velocity of the electron vsat = 8 × 10⁶ cm/s. The output characteristics of the transistor with VGS = 5 V were measured and three data points are given here. Note that Ip = WQn(y)v(y) and that we have Cox = 1.25 F/m² for tox = 277 Å
    (a) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point A, VDS = 0.5 V, ID = 1.0 mA? (5%)
    (b) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point B, VDS = 2.5 V, ID = 2.5 mA? (5%)
    (c) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point C, VDS = 5.0 V, ID = 2.75 mA? (5%)
    (d) It appears from above findings that the drain current saturated well before VDS reach VDsat = VGS - Vr = 4 V as predicted by the basic MOSFET I-V model. Why does the current saturation happen before VDS = 4.0 V? (5%)

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此題考查 NMOSFET 的電流特性,特別是通道中的載流子速度、電流飽和現象,以及與理想 MOSFET 模型之間的差異。

核心觀念:

  1. MOSFET 電流公式:
    • 在線性區(或稱三極區):ID=12μnCoxWL(2(VGS−VT)VDS−VDS2)I_D = \frac{1}{2} \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (2(V_{GS} - V_T) V_{DS} - V_{DS}^2)
    • 在飽和區:ID=12μnCoxWL(VGS−VT)2I_D = \frac{1}{2} \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (V_{GS} - V_T)^2
    • 更精確的考慮通道長度調變(Channel Length Modulation, CLM)和速度飽和 (Velocity Saturation)。
  2. 速度飽和:當通道中的電場足夠強時,載流子速度達到一個飽和值 vsatv_{sat}。此時,電流不再簡單地由電場驅動,而是由載流子速度和載流子濃度決定。
  3. 電流飽和:在理想 MOSFET 模型中,當 VDS≥VGS−VTV_{DS} \ge V_{GS} - V_T 時,電流進入飽和區。但在實際器件中,由於通道長度調變、速度飽和等效應,飽和可能提前發生或表現出不同的行為。
  4. 載流子速度:在通道中,源極端的電場較弱,速度較低;隨著靠近汲極,電場增強,速度增加,直到達到 vsatv_{sat}。
  5. 電流計算:ID=WQnvnI_D = W Q_n v_n,其中 QnQ_n 是通道中的面電荷密度,vnv_n 是電子速度。

已知參數:

  • tox=277t_{ox} = 277 Å =27.7×10−7= 27.7 \times 10^{-7} cm
  • L=1μL = 1 \mum =1×10−4= 1 \times 10^{-4} cm
  • W=10μW = 10 \mum =10×10−4= 10 \times 10^{-4} cm
  • VT=1V_T = 1 V
  • vsat=8×106v_{sat} = 8 \times 10^6 cm/s
  • VGS=5V_{GS} = 5 V
  • Cox=1.25C_{ox} = 1.25 F/m2=1.25×104^2 = 1.25 \times 10^4 F/cm2^2 (注意單位轉換)

計算 μnCoxWL\mu_n C_{ox} \frac{W}{L}:
μnCoxWL=μn(1.25×104 F/cm2)10×10−4 cm1×10−4 cm=μn(1.25×104)×10=1.25×105μn\mu_n C_{ox} \frac{W}{L} = \mu_n (1.25 \times 10^4 \text{ F/cm}^2) \frac{10 \times 10^{-4} \text{ cm}}{1 \times 10^{-4} \text{ cm}} = \mu_n (1.25 \times 10^4) \times 10 = 1.25 \times 10^5 \mu_n (單位為 S/V)

從飽和電流公式 ID=12μnCoxWL(VGS−VT)2I_D = \frac{1}{2} \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (V_{GS} - V_T)^2 可以估計 μn\mu_n。
若以數據點 C (VDS=5.0V_{DS}=5.0 V, ID=2.75I_D=2.75 mA) 作為飽和電流參考:
2.75×10−3 A=12(1.25×105μn)(5−1)2=12(1.25×105μn)(16)=106μn2.75 \times 10^{-3} \text{ A} = \frac{1}{2} (1.25 \times 10^5 \mu_n) (5 - 1)^2 = \frac{1}{2} (1.25 \times 10^5 \mu_n) (16) = 10^6 \mu_n
μn=2.75×10−3106=2.75×10−9\mu_n = \frac{2.75 \times 10^{-3}}{10^6} = 2.75 \times 10^{-9} cm2^2/Vs。
這個 μn\mu_n 值非常小,這說明在 VGS=5V_{GS}=5 V 時,器件很可能工作在速度飽和區,而不是簡單的平方律飽和。

更適合的參數計算:
Cox=ϵoxtox=3.9×8.854×10−14 F/cm27.7×10−7 cm≈1.25×10−7C_{ox} = \frac{\epsilon_{ox}}{t_{ox}} = \frac{3.9 \times 8.854 \times 10^{-14} \text{ F/cm}}{27.7 \times 10^{-7} \text{ cm}} \approx 1.25 \times 10^{-7} F/cm2^2。
題目給的 Cox=1.25C_{ox} = 1.25 F/m2=1.25×10−4^2 = 1.25 \times 10^{-4} F/cm2^2。這個值似乎偏大。
若使用題目給的 Cox=1.25×10−4C_{ox} = 1.25 \times 10^{-4} F/cm2^2:
WLCox=10×10−4 cm1×10−4 cm×1.25×10−4 F/cm2=10×1.25×10−4=1.25×10−3\frac{W}{L} C_{ox} = \frac{10 \times 10^{-4} \text{ cm}}{1 \times 10^{-4} \text{ cm}} \times 1.25 \times 10^{-4} \text{ F/cm}^2 = 10 \times 1.25 \times 10^{-4} = 1.25 \times 10^{-3} cm/V。

從理想模型飽和電流(假設數據點 C 接近飽和):
ID=12μnCoxWL(VGS−VT)2I_D = \frac{1}{2} \mu_n C_{ox} \frac{W}{L} (V_{GS} - V_T)^2
2.75×10−3 A=12μn(1.25×10−3 cm/V)(5−1)2=12μn(1.25×10−3)(16)=μn(10×1.25×10−3)=μn(0.0125)2.75 \times 10^{-3} \text{ A} = \frac{1}{2} \mu_n (1.25 \times 10^{-3} \text{ cm/V}) (5-1)^2 = \frac{1}{2} \mu_n (1.25 \times 10^{-3}) (16) = \mu_n (10 \times 1.25 \times 10^{-3}) = \mu_n (0.0125)
μn=2.75×10−30.0125=0.22\mu_n = \frac{2.75 \times 10^{-3}}{0.0125} = 0.22 cm2^2/Vs。這個 μn\mu_n 值比較合理。

計算通道中的面電荷密度 QnQ_n:
ID=WQnvI_D = W Q_n v
Qn=ID/(Wv)Q_n = I_D / (Wv)

計算源極端速度 vsv_s 和汲極端速度 vdv_d:
在通道中,電場 E=−dV/dxE = -dV/dx。
源極端:x=0x=0 (相對位置)。汲極端:x=Lx=L (相對位置)。
電場在源極端較弱,汲極端較強。
速度 vv 隨電場 EE 變化。一般模型為:v=μEv = \mu E (低電場),v=vsatv = v_{sat} (高電場)。
更精確的模型:v=μE11+E/Esatv = \mu E \frac{1}{1 + E/E_{sat}} 或 v=μEtanh⁡(E/Esat)v = \mu E \tanh(E/E_{sat})。
這裡 EsatE_{sat} 是引起速度飽和的電場強度,約為 vsat/μv_{sat}/\mu。

通道電壓 V(x)V(x):
VGS−V(x)−VT=VDSxLV_{GS} - V(x) - V_T = V_{DS} \frac{x}{L} (近似線性電場,僅適用於線性區)
更準確的關係:VGS−V(x)=VT+Qn(x)CoxV_{GS} - V(x) = V_{T} + \frac{Q_n(x)}{C_{ox}},其中 Qn(x)Q_n(x) 是通道中的面電荷密度。
V(x)V(x) 是通道在位置 xx 的電位。源極端 V(0)=0V(0)=0。

速度飽和下的電流:
當通道某處的電場 EE 達到 EsatE_{sat} 時,速度開始飽和。
Esat=vsat/μnE_{sat} = v_{sat}/\mu_n
Esat≈(8×106 cm/s)/(0.22 cm2/Vs)≈3.6×107E_{sat} \approx (8 \times 10^6 \text{ cm/s}) / (0.22 \text{ cm}^2/\text{Vs}) \approx 3.6 \times 10^7 V/cm。
通道的電場強度範圍:
在線性區,源極端電場 Es=VDS/LE_s = V_{DS}/L (近似),汲極端電場 Ed=VDS/LE_d = V_{DS}/L (近似)。
對於 VDS=0.5V_{DS}=0.5 V, L=1μL=1 \mum, E≈0.5 V/10−4 cm=5000E \approx 0.5 \text{ V} / 10^{-4} \text{ cm} = 5000 V/cm。
對於 VDS=2.5V_{DS}=2.5 V, E≈2.5×104E \approx 2.5 \times 10^4 V/cm。
對於 VDS=5.0V_{DS}=5.0 V, E≈5.0×104E \approx 5.0 \times 10^4 V/cm。
這些電場強度都遠遠小於 EsatE_{sat},這說明在這些點,速度飽和可能還沒有發生,或者說,速度飽和效應是影響飽和提前的主要原因。

通道電場和速度的計算:
在 MOSFET 中,通道電位 V(x)V(x) 與源極端的電位差是 VDSxLV_{DS} \frac{x}{L} (線性近似)。
則通道電場 E(x)≈VDS/LE(x) \approx V_{DS}/L (近似為常數,這是不準確的)。
更準確地,通道電位 V(x)V(x) 滿足 VGS−V(x)=VT+Qn(x)CoxV_{GS} - V(x) = V_T + \frac{Q_n(x)}{C_{ox}}。
Qn(x)=Cox(VGS−V(x)−VT)Q_n(x) = C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T)。
速度 v(x)=μnE(x)=μndVdxv(x) = \mu_n E(x) = \mu_n \frac{dV}{dx}。
ID=WQn(x)v(x)=WCox(VGS−V(x)−VT)μndVdxI_D = W Q_n(x) v(x) = W C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T) \mu_n \frac{dV}{dx}。
IDdx=WCoxμn(VGS−VT−V(x))dVI_D dx = W C_{ox} \mu_n (V_{GS} - V_T - V(x)) dV。
積分從 x=0x=0 到 LL, VV 從 00 到 VDSV_{DS}:
∫0LIDdx=WCoxμn∫0VDS(VGS−VT−V)dV\int_0^L I_D dx = W C_{ox} \mu_n \int_0^{V_{DS}} (V_{GS} - V_T - V) dV
IDL=WCoxμn[(VGS−VT)V−12V2]0VDSI_D L = W C_{ox} \mu_n [(V_{GS} - V_T)V - \frac{1}{2}V^2]_0^{V_{DS}}
IDL=WCoxμn[(VGS−VT)VDS−12VDS2]I_D L = W C_{ox} \mu_n [(V_{GS} - V_T)V_{DS} - \frac{1}{2}V_{DS}^2]
ID=WLCoxμn[(VGS−VT)VDS−12VDS2]I_D = \frac{W}{L} C_{ox} \mu_n [(V_{GS} - V_T)V_{DS} - \frac{1}{2}V_{DS}^2]
這就是線性區的公式。

考慮速度飽和:
當電場 EE 很大時,速度 v≈vsatv \approx v_{sat}。
通道中的面電荷密度 Qn(x)=Cox(VGS−V(x)−VT)Q_n(x) = C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T)。
電流 ID=WQn(x)v(x)I_D = W Q_n(x) v(x)。
在通道的某個點 xcx_c,電場 E(xc)E(x_c) 達到 EsatE_{sat},速度開始飽和。
Esat=vsat/μnE_{sat} = v_{sat}/\mu_n。
v(x)=μnE(x)v(x) = \mu_n E(x) for E<EsatE < E_{sat}
v(x)=vsatv(x) = v_{sat} for E≥EsatE \ge E_{sat}

計算 QnQ_n 和 vv:
ID=WQnvI_D = W Q_n v。
Qn=ID/(Wv)Q_n = I_D / (Wv).
Qn=Cox(VGS−V(x)−VT)Q_n = C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T)。
v(x)=μnE(x)v(x) = \mu_n E(x) or vsatv_{sat}.

一個簡化的速度飽和模型:
ID=WQnvsatI_D = W Q_n v_{sat}
Qn=Cox(VGS−V(x)−VT)Q_n = C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T)
ID=WCox(VGS−V(x)−VT)vsatI_D = W C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T) v_{sat}
V(x)V(x) 是通道電位。
在源極端 x=0x=0, V(0)=0V(0)=0.
ID=WCox(VGS−VT)vsatI_D = W C_{ox} (V_{GS} - V_T) v_{sat} (假設 V(x)V(x) 處處為 0,這不對)。

正確的計算方法:

  1. 計算通道中的面電荷密度 QnQ_n。
    Qn=IDWvQ_n = \frac{I_D}{W v}。
    在源極端,速度 vsv_s 較低,所以 QnsQ_{ns} 較高。
    在汲極端,速度 vdv_d 可能達到 vsatv_{sat},所以 QndQ_{nd} 可能較低。
  2. 使用 Qn=Cox(VGS−V(x)−VT)Q_n = C_{ox} (V_{GS} - V(x) - V_T) 來估計通道電位 V(x)V(x)。
    V(x)=VGS−VT−Qn(x)/CoxV(x) = V_{GS} - V_T - Q_n(x)/C_{ox}。

數據點 A: VDS=0.5V_{DS} = 0.5 V, ID=1.0I_D = 1.0 mA
數據點 B: VDS=2.5V_{DS} = 2.5 V, ID=2.5I_D = 2.5 mA
數據點 C: VDS=5.0V_{DS} = 5.0 V, ID=2.75I_D = 2.75 mA

估計 μn=0.22\mu_n = 0.22 cm2^2/Vs, vsat=8×106v_{sat} = 8 \times 10^6 cm/s, Cox=1.25×10−4C_{ox} = 1.25 \times 10^{-4} F/cm2^2, W/L=10W/L = 10
VGS=5V_{GS} = 5 V, VT=1V_T = 1 V

(a) 數據點 A: VDS=0.5V_{DS} = 0.5 V, ID=1.0I_D = 1.0 mA

  • 汲極端速度 vdv_d:
    在汲極端,電場最強。如果速度飽和,則 vd≈vsat=8×106v_d \approx v_{sat} = 8 \times 10^6 cm/s。
    我們可以用 ID=WQnvI_D = W Q_n v 來檢查。
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