109 年 國立臺灣聯合大學系統(清華、政治、陽明交通、中央四校聯招)研究所電機類《固態電子元件》
第 1 題10 分
For a material of with E-k diagram shown in Figure 1, there are two different effective masses (heavy / light) for electrons. Which effective mass will be the one displayed by most electrons in the conduction band? Explain why? (10%)
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此題考查電子在 E-k 圖中的行為特性,以及有效質量(effective mass)與能帶曲率的關係。
核心觀念:
在固態物理中,電子的有效質量 與能帶的曲率(curvature)成反比。其定義為 。曲率越大,有效質量越小。
解題過程:
圖一顯示了材料的 E-k 圖,其中 E 代表能量,k 代表波向量。能帶的曲率決定了電子的有效質量。
- 在導帶(conduction band, CB)中,能量 E 隨 k 的變化曲線越彎曲(曲率越大),電子的有效質量就越小。
- 反之,能帶曲線越平坦(曲率越小),電子的有效質量就越大。
題目中提到有兩種不同的有效質量:重質量(heavy mass)和輕質量(light mass)。這意味著導帶中 E-k 圖的曲率有兩種不同的值。
從圖一的 E-k 圖可以看出,導帶底部的能量曲線並非單一的拋物線,而是可能有多個區域具有不同的曲率,或者說,在某些範圍內,曲線的彎曲程度不同。然而,題目直接給出「two different effective masses (heavy / light) for electrons」,並且要求我們判斷哪種有效質量會被「most electrons」顯示。
在一個給定的能帶結構中,當電子處於導帶底部附近時,其能量與 k 的關係通常可以近似為一個拋物線。若存在兩種不同的有效質量,則意味著導帶底部附近至少有兩個區域具有顯著不同的曲率。
一般而言,在導帶中,電子傾向於佔據能量較低的狀態。在材料的平衡狀態下,溫度會使電子有一定的能量分佈(例如遵循 Fermi-Dirac 統計)。然而,當我們討論「most electrons」在導帶中顯示的有效質量時,通常指的是電子最容易被激發到的、能量最低的區域。
若導帶底部附近存在兩種曲率,那麼:
- 輕質量 (light effective mass):對應於導帶中 較大曲率 的區域。電子在這些區域的運動對外加電場的響應更為靈敏,因為它們更容易加速。
- 重質量 (heavy effective mass):對應於導帶中 較小曲率 的區域。電子在這些區域的運動較為遲緩。
第 2 題20 分
- (a) Please draw two curves of electron mobility vs. temperature (K) in log-scale for two Si samples, A and B with uniform doping concentrations of ND1, ND2, respectively, where ND1 < ND2. Please label A and B on the plot. (10%) (b) Sample B is counter-doped uniformly with NA, becoming sample C. Draw its mobility vs. temperature curve on the same plot in (a) and explain the differences in the 3 corresponding curves. (10%)
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核心觀念
本題考查矽中電子遷移率 隨溫度的變化,以及兩種主要散射機制:
- 晶格聲子散射(lattice scattering)
- 離化雜質散射(ionized-impurity scattering)
電子遷移率定義為
其中 為電子電量、 為平均碰撞時間、 為電子有效質量。散射越強, 越短,因此遷移率越低。
總遷移率可用 Matthiessen 定律表示:
其中 為晶格散射所決定的遷移率, 為離化雜質散射所決定的遷移率。
解題方法
低溫區:離化雜質散射主導
低溫時,晶格振動較弱,聲子數量少,因此晶格散射不明顯。此時主要受到離化施體或受體的庫倫散射。
在基本近似下:
其中 為離化雜質濃度。
因此:
- 溫度升高時,電子平均速度增加、屏蔽效果改善, 上升。
- 摻雜濃度越高,離化雜質越多,遷移率越低。
由於
樣品 A 的低溫電子遷移率高於樣品 B:
高溫區:晶格聲子散射主導
高溫時,晶格振動增強,電子與聲子的碰撞變頻繁。晶格散射所造成的遷移率通常近似為
其中 約為 至 ,實際數值取決於散射模型與溫度範圍。
所以在高溫區:
- 溫度升高,聲子散射增強。
- 電子遷移率隨溫度上升而下降。
- 晶格散射與摻雜濃度關係較小,因此 A、B 的曲線逐漸接近。
(a) 樣品 A 與 B 的遷移率曲線
兩個樣品的曲線都具有相同的基本形狀:
- 低溫區由離化雜質散射主導,遷移率隨溫度上升。
- 中間溫度附近出現最大值。
- 高溫區由晶格聲子散射主導,遷移率隨溫度上升而下降。
在雙對數座標中,可示意如下:
log μn
↑
│ A
│ / \
│ / \
│ / \
│ B / \
│ / \
│ / \
│ / \
│ / \
└──────────────────────────────────→ log T
低溫 中溫 高溫
更精確地標示兩條曲線的相對位置:
- 樣品 A: 較低,因此低溫遷移率較高。
- 樣品 B: 較高,因此低溫遷移率較低。
- 高溫時兩者皆由晶格散射主導,曲線趨於接近。
- 樣品 A 的峰值通常較高,且較早進入晶格散射主導區。
- 樣品 B 的低溫雜質散射較強,因此峰值較低,峰值位置通常向較高溫側移動。
可用下列關係概括:
(b) 樣品 C 的曲線與補償摻雜
第 3 題20 分
- We deposit a metal with a work function of 4.6 eV on Si at room temperature. Suppose that the Si has an electron affinity of 4 eV and a doping concentration of 10¹7 cm³. Please draw the equilibrium band diagrams of this M-S junction if (a) the doping is n-type and (b) the doping is p-type, respectively. (20%)
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此題考查金屬-半導體 (M-S) 接面的能帶圖繪製,重點在於理解功函數、電子親和勢、費米能階的位置以及形成歐姆接觸或蕭特基接觸的條件。
核心觀念:
- 功函數 (): 導體(金屬)中電子從費米能階逃逸到真空所需的最小能量。
- 電子親和勢 (): 半導體中電子從導帶底逸出到真空所需的能量。
- 能帶圖繪製:在形成接面時,為了使兩者費米能階對齊,半導體會產生內建電位 (built-in potential, ),進而形成能帶彎曲。
- 歐姆接觸 vs. 蕭特基接觸:
- 歐姆接觸:載流子可以自由通過接面,電阻很小。對於 n-type 半導體,若 (或 ),則通常形成歐姆接觸。對於 p-type 半導體,若 (或 ),則通常形成歐姆接觸。
- 蕭特基接觸:形成一個能障 (Schottky barrier),載流子通過接面時會受到阻礙。對於 n-type 半導體,若 ,則形成蕭特基接觸。對於 p-type 半導體,若 ,則形成蕭特基接觸。
- 注意:這裡的 是半導體的功函數,通常定義為 。
已知參數:
- 金屬功函數 eV
- 矽的電子親和勢 eV
- 摻雜濃度 或 cm
- 室溫下 (約 300K), eV。
解題過程:
首先,我們需要計算矽的功函數 。
對於 n-type 矽,摻雜濃度 cm。
導帶底與費米能階的能量差 可以通過以下公式近似計算(對於簡併態,需要更精確的計算,但對於 cm,通常非簡併態近似是足夠的):
其中, 是矽的有效態密度, cm (對於矽在 300K)。
計算 for n-type:
eV。
所以,n-type 矽的功函數 eV。
現在比較金屬和 n-type 矽的功函數:
eV
eV
由於 ,金屬的功函數大於半導體的功函數。
(a) n-type 矽
- 當金屬與 n-type 半導體接觸時,若 ,則通常形成 歐姆接觸 (Ohmic contact)。
- 能帶圖繪製:
- 繪製水平的能帶圖(未接觸前)。上方是金屬,下方是 n-type 矽。
- 金屬的費米能階 處於其能帶中間(假設是簡單金屬)。
- 矽的費米能階 靠近導帶底 (因為是 n-type)。
- 金屬的功函數 eV。
- 矽的功函數 eV。
- 形成接面後:費米能階對齊 。
- 由於 ,為了使費米能階對齊,矽的能帶會向上彎曲,導帶底 和價帶頂 都會上升。
- 接觸區的電子從能量較低的矽(相對於金屬的費米能階)流向能量較高的金屬,直到費米能階對齊。
- 在矽側,由於電子流出,會形成一個區域(靠近接面)的淨正電荷(來自電離的施主離子 )。
- 在金屬側,由於電子流入,會形成負電荷。
- 由於是歐姆接觸,能帶彎曲的程度(內建電位 )會很小,或者說,蕭特基勢壘高度 (在半導體側)。
- 蕭特基勢壘高度 eV。
- 內建電位 V。
- 能帶圖:金屬的能帶是平坦的。矽的導帶底和價帶頂在靠近接面的區域向上彎曲。費米能階在矽中靠近導帶底,在金屬中位於中間。
(b) p-type 矽
現在計算 p-type 矽的功函數。摻雜濃度 cm。
價帶頂與費米能階的能量差 。
其中, 是矽的有效態密度, cm (對於矽在 300K)。
計算 for p-type:
第 4 題15 分
- Consider a uniformly doped Si NPN BJT. For the emitter and base regions, assume equal region widths (XE=XB), diffusion lengths (LE=LB), and minority carrier lifetimes (TE=TB). With doping concentrations NB=10¹7 cm³ and NE=10¹⁹ cm³, please calculate the emitter injection efficiency when the bandgap narrowing effect is neglected. (15%)
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核心觀念
本題考查 NPN BJT 的射極注入效率(emitter injection efficiency):
其中:
- :射極注入基極的電子電流,為主要電流成分。
- :基極注入射極的電洞電流,為寄生電流成分。
射極注入效率越接近 ,表示射極注入的電子占比越高,BJT 的電流放大能力越好。
解題方法
對均勻摻雜、忽略 bandgap narrowing 的 BJT,少數載子平衡濃度為:
因此,兩個注入電流密度可寫成比例形式:
兩式中的正向偏壓因子與 會相互抵消,所以:
題目給定:
第 5 題9 分
- Consider a MOS capacitor fabricated on an n-type silicon. The charge diagrams for this MOS capacitor under various bias conditions are shown in diagram (1)-(5) of Figure 2.
(a) Which charge diagram corresponds to accumulation condition? (3%)
(b) Which charge diagram corresponds to depletion condition? (3%)
(c) Which charge diagram corresponds to strong-inversion condition? (3%)
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核心觀念
MOS 電容的工作狀態由閘極電荷與半導體表面載子分布判斷。題目為 n 型矽基板:
- n 型基板的多數載子是電子。
- 閘極施加正電壓,吸引電子至 Si–SiO₂ 界面,形成累積。
- 閘極施加負電壓,排斥電子,使施體離子化,形成空乏區。
- 負閘極電壓再增加時,界面吸引少數載子電洞,形成反轉層;當電洞濃度足夠高,即為強反轉。
逐一判斷圖形
-
圖(1)
閘極帶負電 ,基板側為帶正電的離子化施體。電子被負閘極排斥,留下固定的正離子,因此形成空乏區。
這是空乏狀態。
-
圖(2)
閘極帶正電 ,基板側聚集負電電子。電子為 n 型矽的多數載子,因此界面電子濃度增加,形成累積層。
這是累積狀態。
-
圖(3)
閘極與基板皆未顯示額外電荷,代表表面能帶未彎曲,屬於平帶狀態。
第 6 題20 分
- For an NMOSFET, assume that the gate oxide thickness tox = 277 Å, the channel length L = 1 µm, the channel width W = 10 µm, and the threshold voltage Vr = 1 V and the saturation velocity of the electron vsat = 8 × 10⁶ cm/s. The output characteristics of the transistor with VGS = 5 V were measured and three data points are given here. Note that Ip = WQn(y)v(y) and that we have Cox = 1.25 F/m² for tox = 277 Å
(a) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point A, VDS = 0.5 V, ID = 1.0 mA? (5%)
(b) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point B, VDS = 2.5 V, ID = 2.5 mA? (5%)
(c) What are the electron velocities at the source end of the channel and at the drain end of the channel for data point C, VDS = 5.0 V, ID = 2.75 mA? (5%)
(d) It appears from above findings that the drain current saturated well before VDS reach VDsat = VGS - Vr = 4 V as predicted by the basic MOSFET I-V model. Why does the current saturation happen before VDS = 4.0 V? (5%)
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此題考查 NMOSFET 的電流特性,特別是通道中的載流子速度、電流飽和現象,以及與理想 MOSFET 模型之間的差異。
核心觀念:
- MOSFET 電流公式:
- 在線性區(或稱三極區):
- 在飽和區:
- 更精確的考慮通道長度調變(Channel Length Modulation, CLM)和速度飽和 (Velocity Saturation)。
- 速度飽和:當通道中的電場足夠強時,載流子速度達到一個飽和值 。此時,電流不再簡單地由電場驅動,而是由載流子速度和載流子濃度決定。
- 電流飽和:在理想 MOSFET 模型中,當 時,電流進入飽和區。但在實際器件中,由於通道長度調變、速度飽和等效應,飽和可能提前發生或表現出不同的行為。
- 載流子速度:在通道中,源極端的電場較弱,速度較低;隨著靠近汲極,電場增強,速度增加,直到達到 。
- 電流計算:,其中 是通道中的面電荷密度, 是電子速度。
已知參數:
- Å cm
- m cm
- m cm
- V
- cm/s
- V
- F/m F/cm (注意單位轉換)
計算 :
(單位為 S/V)
從飽和電流公式 可以估計 。
若以數據點 C ( V, mA) 作為飽和電流參考:
cm/Vs。
這個 值非常小,這說明在 V 時,器件很可能工作在速度飽和區,而不是簡單的平方律飽和。
更適合的參數計算:
F/cm。
題目給的 F/m F/cm。這個值似乎偏大。
若使用題目給的 F/cm:
cm/V。
從理想模型飽和電流(假設數據點 C 接近飽和):
cm/Vs。這個 值比較合理。
計算通道中的面電荷密度 :
計算源極端速度 和汲極端速度 :
在通道中,電場 。
源極端: (相對位置)。汲極端: (相對位置)。
電場在源極端較弱,汲極端較強。
速度 隨電場 變化。一般模型為: (低電場), (高電場)。
更精確的模型: 或 。
這裡 是引起速度飽和的電場強度,約為 。
通道電壓 :
(近似線性電場,僅適用於線性區)
更準確的關係:,其中 是通道中的面電荷密度。
是通道在位置 的電位。源極端 。
速度飽和下的電流:
當通道某處的電場 達到 時,速度開始飽和。
V/cm。
通道的電場強度範圍:
在線性區,源極端電場 (近似),汲極端電場 (近似)。
對於 V, m, V/cm。
對於 V, V/cm。
對於 V, V/cm。
這些電場強度都遠遠小於 ,這說明在這些點,速度飽和可能還沒有發生,或者說,速度飽和效應是影響飽和提前的主要原因。
通道電場和速度的計算:
在 MOSFET 中,通道電位 與源極端的電位差是 (線性近似)。
則通道電場 (近似為常數,這是不準確的)。
更準確地,通道電位 滿足 。
。
速度 。
。
。
積分從 到 , 從 到 :
這就是線性區的公式。
考慮速度飽和:
當電場 很大時,速度 。
通道中的面電荷密度 。
電流 。
在通道的某個點 ,電場 達到 ,速度開始飽和。
。
for
for
計算 和 :
。
.
。
or .
一個簡化的速度飽和模型:
是通道電位。
在源極端 , .
(假設 處處為 0,這不對)。
正確的計算方法:
- 計算通道中的面電荷密度 。
。
在源極端,速度 較低,所以 較高。
在汲極端,速度 可能達到 ,所以 可能較低。 - 使用 來估計通道電位 。
。
數據點 A: V, mA
數據點 B: V, mA
數據點 C: V, mA
估計 cm/Vs, cm/s, F/cm,
V, V
(a) 數據點 A: V, mA
- 汲極端速度 :
在汲極端,電場最強。如果速度飽和,則 cm/s。
我們可以用 來檢查。