115 年 國立臺灣聯合大學系統(清華、政治、陽明交通、中央四校聯招)研究所電機類《固態電子元件》

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第 1 題

Crystalline silicon has a diamond structure whose lattice constant is 5.43 angstrom. What is the volume density of silicon atoms?
A. 6 x 10^22 cm^-3
B. 5 x 10^22 cm^-3
C. 1 x 10^23 cm^-3
D. 2.5 x 10^22 cm^-3

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這一題的完整詳解

本題考查晶體結構與原子密度計算。
矽晶體為鑽石結構 (diamond structure),其晶格常數 (lattice constant) 為 a=5.43a = 5.43 Å。
鑽石結構中,每個晶胞 (unit cell) 包含 8 個原子。
體積密度即為單位體積內的原子數。
首先,計算晶胞的體積:
Vcell=a3=(5.43 A˚)3V_{cell} = a^3 = (5.43 \text{ Å})^3
將單位 Å 轉換為 cm:1 A˚=10−8 cm1 \text{ Å} = 10^{-8} \text{ cm}
Vcell=(5.43×10−8 cm)3=(5.43)3×10−24 cm3≈160.1×10−24 cm3V_{cell} = (5.43 \times 10^{-8} \text{ cm})^3 = (5.43)^3 \times 10^{-24} \text{ cm}^3 \approx 160.1 \times 10^{-24} \text{ cm}^3
每個晶胞有 8 個原子,因此矽原子的體積密度為:

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第 2 題

Which of the following statements about light is true?
A. Light has no mass but it has momentum.
B. The energy of a photon is equal to h/λ where h is Planck's constant and λ is the wavelength of light.
C. Light has no momentum so it has no mass.
D. Increasing light power means increasing the frequency of light.

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本題考查光子的基本性質。
A. 光本身沒有靜止質量,但根據量子力學,光子具有動量。光子的動量 p=h/λp = h/\lambda 或 p=E/cp = E/c。因此,此敘述正確。
B. 光子的能量 EE 與波長 λ\lambda 的關係是 E=hc/λ=hfE = hc/\lambda = hf,其中 ff 是頻率。

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第 3 題

The E-k diagram for a particular allowed energy band is shown below. At which point does the particle have a positive effective mass and move in the negative direction?
A. A
B. B
C. C
D. D
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原卷第 1 頁

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核心觀念

電子在能帶中的群速度由能量對波數的斜率決定:

v=1ℏdEdkv=\frac{1}{\hbar}\frac{dE}{dk}

因此,粒子沿負方向移動表示 dEdk<0\frac{dE}{dk}<0,也就是 EE 隨 kk 增加而下降。

有效質量由能帶曲率決定:

m∗=ℏ2d2Edk2m^*=\frac{\hbar^2}{\dfrac{d^2E}{dk^2}}

正有效質量表示 d2Edk2>0\frac{d^2E}{dk^2}>0,也就是能帶在該點附近開口向上。

解題方法

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第 4 題

Consider silicon at 300 K for the following two doping conditions: (1) NA=ND=10^17 cm^-3, (2) NA=ND=10^19 cm^-3. Assume complete ionization of the dopants. Which statement below is false?
A. The electron and hole concentrations for both conditions are the same.
B. p=n=n_i for both conditions
C. The Fermi level locates near the middle of energy bandgap for both conditions.
D. The conductivities for both conditions are the same.

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核心觀念

本題考補償摻雜半導體的電荷中性條件、熱平衡質量作用定律,以及電導率與載子遷移率的關係。採用矽在 300 K 的標準熱平衡模型,並依題意假設施體與受體完全游離。

電荷中性條件為

n+NA−=p+ND+n+N_A^- = p+N_D^+

完全游離時,NA−=NAN_A^-=N_A、ND+=NDN_D^+=N_D。熱平衡下,電子與電洞濃度滿足

np=ni2np=n_i^2

電導率則為

σ=q(nμn+pμp)\sigma=q(n\mu_n+p\mu_p)

其中 μn\mu_n、μp\mu_p 分別是電子與電洞遷移率。

解題方法

兩種條件都有 NA=NDN_A=N_D。代入電荷中性條件:

n+NA=p+NDn+N_A=p+N_D

因為 NA=NDN_A=N_D,所以 n=pn=p。再與質量作用定律聯立:

np=n2=ni2np=n^2=n_i^2

因此

n=p=nin=p=n_i

所以兩種摻雜條件下的電子與電洞濃度相同;在 300 K 的矽中,nin_i 約為 1010 cm−310^{10}\ \mathrm{cm^{-3}}。

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第 5 題

Suppose that n_i for silicon at T=300 K is 1.5 x 10^10 cm^-3. What is the equilibrium minority carrier concentration in a compensated silicon where ND=5 x 10^15 cm^-3 and NA=2 x 10^15 cm^-3 at T=300 K?
A. no=5 x 10^15 cm^-3
B. no=7.5 x 10^4 cm^-3
C. po=7.5 x 10^4 cm^-3
D. po=3 x 10^15 cm^-3

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核心觀念

補償型矽中同時含有施體與受體雜質。若 ND>NAN_D>N_A,材料為 n 型,平衡時的多數載子電子濃度約為淨施體濃度:

n0≈ND−NAn_0 \approx N_D-N_A

在熱平衡下,電子與電洞濃度遵守質量作用定律:

n0p0=ni2n_0p_0=n_i^2

因此少數載子電洞濃度為:

p0=ni2n0p_0=\frac{n_i^2}{n_0}

解題方法

先求施體與受體互相補償後的淨施體濃度:

n0≈ND−NA=5×1015−2×1015=3×1015 cm−3n_0 \approx N_D-N_A =5\times10^{15}-2\times10^{15} =3\times10^{15}\ \text{cm}^{-3}

因為 ND>NAN_D>N_A,矽為 n 型,少數載子是電洞。代入質量作用定律:

p0=(1.5×1010)23×1015=2.25×10203×1015=7.5×104 cm−3p_0=\frac{(1.5\times10^{10})^2}{3\times10^{15}} =\frac{2.25\times10^{20}}{3\times10^{15}} =7.5\times10^4\ \text{cm}^{-3}

選項分析

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第 6 題

The E-k diagram of two valence bands is shown below. Which of the following statements is true?
A. The holes in A band have a higher mobility.
B. The holes in B band have a smaller effective mass.
C. The energy of the holes in B band is higher.
D. The holes in both bands have negative effective masses.
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核心觀念

本題考查 E−kE-k 能帶圖與有效質量、載子遷移率的關係。

能帶有效質量為

m∗=ℏ2d2E/dk2m^*=\frac{\hbar^2}{d^2E/dk^2}

在價帶頂端,E−kE-k 曲線向下彎曲,因此電子有效質量為負;但電洞的有效質量取正值,其大小為

mh∗=ℏ2∣d2E/dk2∣m_h^*=\frac{\hbar^2}{\left|d^2E/dk^2\right|}

電洞遷移率為

μh=qτhmh∗\mu_h=\frac{q\tau_h}{m_h^*}

在散射時間 τh\tau_h 相近時,電洞有效質量越小,遷移率越高。

解題方法

由圖可見:

  • A 能帶為較狹窄的虛線拋物線,曲率較大。
  • B 能帶為較寬的實線拋物線,曲率較小。

因此

∣d2EAdk2∣>∣d2EBdk2∣\left|\frac{d^2E_A}{dk^2}\right| > \left|\frac{d^2E_B}{dk^2}\right|

所以

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第 7 題

Consider a GaAs sample at T=300 K. It is N-type doped with ND=10^16 cm³. At this doping concentration and at T=300 K, the electron mobility is 8500 cm²/V-s and the hole mobility is 400 cm²/V-s. If an electric field of 10 V/cm is applied in this sample, what is the induced drift current density?
A. 272 A/cm²
B. 6.4 A/cm²
C. 136 A/cm²
D. 13.6 A/cm²

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本題考查半導體的導電率和漂移電流密度計算。
給定條件:
GaAs 樣品,T=300T=300 K。
N 型摻雜,施體濃度 ND=1016 cm−3N_D = 10^{16} \text{ cm}^{-3}。
電子遷移率 μn=8500 cm2/V-s\mu_n = 8500 \text{ cm}^2/\text{V-s}。
空穴遷移率 μp=400 cm2/V-s\mu_p = 400 \text{ cm}^2/\text{V-s}。
外加電場 E=10 V/cmE = 10 \text{ V/cm}。

首先,我們需要確定樣品的載子濃度。對於 N 型半導體,在室溫下,如果摻雜濃度遠大於本徵載子濃度 (nin_i),則電子濃度 nn 約等於施體濃度 NDN_D,而空穴濃度 pp 則由 np=ni2np = n_i^2 決定。
GaAs 在 300K 的 nin_i 大約是 1.8×106 cm−31.8 \times 10^6 \text{ cm}^{-3}。
由於 ND=1016 cm−3≫ni=1.8×106 cm−3N_D = 10^{16} \text{ cm}^{-3} \gg n_i = 1.8 \times 10^6 \text{ cm}^{-3},我們可以近似認為:
電子濃度 n≈ND=1016 cm−3n \approx N_D = 10^{16} \text{ cm}^{-3}。
空穴濃度 p=ni2/n=(1.8×106)2/1016=3.24×1012/1016=3.24×10−4 cm−3p = n_i^2 / n = (1.8 \times 10^6)^2 / 10^{16} = 3.24 \times 10^{12} / 10^{16} = 3.24 \times 10^{-4} \text{ cm}^{-3}。
很明顯,空穴濃度 pp 遠小於電子濃度 nn,所以這是典型的 N 型半導體。

漂移電流密度 JJ 由以下公式給出:
J=Jn+Jp=qnμnE+qpμpEJ = J_n + J_p = qn\mu_n E + qp\mu_p E
其中 qq 是基本電荷,q=1.602×10−19 Cq = 1.602 \times 10^{-19} \text{ C}。

由於 p≪np \ll n,空穴對總電流的貢獻非常小,我們可以近似認為總電流主要由電子貢獻:
J≈Jn=qnμnEJ \approx J_n = qn\mu_n E

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第 8 題

The Einstein relation talks about the relation between carrier mobility, μ, and carrier diffusion constant, D. Which of the following equations is correct? (q=1.6 x 10^-19 C)
A. Dn/μn=q/kT
B. Dp/μp=kT/q
C. Dp/μn=kT/q
D. Dn/μp=q/kT

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本題考查愛因斯坦關係式 (Einstein relation)。
愛因斯坦關係式描述了半導體中載子遷移率 μ\mu 和載子擴散係數 DD 之間的關係。這個關係式源於熱力學平衡條件下,漂移電流和擴散電流相互抵消。
對於電子,愛因斯坦關係式為:
Dn/μn=kT/qD_n / \mu_n = kT/q
其中:
DnD_n 是電子的擴散係數。
μn\mu_n 是電子的遷移率。
kk 是波茲曼常數 (1.38×10−23 J/K1.38 \times 10^{-23} \text{ J/K})。
TT 是絕對溫度 (K)。
qq 是基本電荷 (1.6×10−19 C1.6 \times 10^{-19} \text{ C})。

對於空穴,愛因斯坦關係式為:
Dp/μp=kT/qD_p / \mu_p = kT/q
其中:
DpD_p 是空穴的擴散係數。
μp\mu_p 是空穴的遷移率。

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第 9 題

Suppose that four resistors are made of the semiconductors listed below, respectively. Which one may exhibit negative differential resistance under high applied voltage in its measured I-V curve?
A. Si
B. InN
C. GaAs
D. Ge

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核心觀念

本題考高電場下的負微分電阻,典型機制是耿氏效應(Gunn effect,又稱轉移電子效應)。負微分電阻區的特徵是電壓增加時,電流反而下降,即 dIdV<0\frac{dI}{dV}<0。

半導體的電流密度可寫為 J=qnvdJ=qn v_d,其中 qq 為電子電量、nn 為載子濃度、vdv_d 為電子漂移速度。低電場下 vd≈μEv_d\approx\mu E;高電場下,若電子轉移到遷移率較低的能谷,平均漂移速度可能隨電場增加而降低,使電流出現負斜率。

解題方法

判斷是否具備高電場轉移電子的條件:材料需有低能量的高遷移率能谷,以及能量較高、遷移率較低的衛星能谷。電場足夠強時,電子轉入衛星能谷,平均漂移速度下降。

對長度為 LL、截面積為 AA 的均勻試片,V=ELV=EL、I=JAI=JA,因此:

dIdV=ALdJdE\frac{dI}{dV}=\frac{A}{L}\frac{dJ}{dE}

若高電場區的 dJdE<0\frac{dJ}{dE}<0,量測的 II–VV 曲線便可能出現負微分電阻。GaAs 是耿氏效應的經典材料:高電場使電子由中央 Γ\Gamma 能谷轉移至遷移率較低的衛星能谷,造成漂移速度與電流下降。IEEE 對轉移電子效應的說明

選項分析

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第 10 題

Suppose that the doping profile in a semiconductor material is linearly graded. In equilibrium, which of the items listed below should not be graded?
A. Ec
B. EFi
C. Ev
D. EF

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核心觀念

本題考查「非均勻摻雜半導體在熱平衡下的能帶彎曲與費米能階特性」。

線性漸變摻雜表示摻雜濃度隨位置改變,例如:

ND=ND(x)N_D=N_D(x)

因此,半導體內的多數載子濃度也會隨位置改變。載子會由高濃度區向低濃度區擴散,形成內建電場,使漂移電流與擴散電流相互抵消,系統達到熱平衡。

在熱平衡時,最重要的判斷原則是:

EF=constantE_F=\text{constant}

也就是說,整個平衡系統的費米能階必須是平坦的,不能隨位置改變。


解題方法

以 nn 型半導體為例,若摻雜濃度隨位置變化,且完全游離、非簡併,則局部電中性近似下有:

n0(x)≈ND(x)n_0(x)\approx N_D(x)

電子濃度與能帶位置的關係為:

n0(x)=niexp⁡(EF−EFi(x)kT)n_0(x)=n_i\exp\left(\frac{E_F-E_{Fi}(x)}{kT}\right)

整理得:

EFi(x)=EF−kTln⁡(n0(x)ni)E_{Fi}(x)=E_F-kT\ln\left(\frac{n_0(x)}{n_i}\right)

因為 n0(x)n_0(x) 隨位置改變,而熱平衡時 EFE_F 為常數,所以:

EFi(x) 會隨位置改變E_{Fi}(x)\ \text{會隨位置改變}

此外,能帶邊緣與局部本徵費米能階會一起受到電勢影響而彎曲,因此 ECE_C 與 EVE_V 也會隨位置改變。

在熱平衡狀態下,費米能階則必須保持水平:

dEFdx=0\frac{dE_F}{dx}=0

所以不應被漸變的是 EFE_F。


選項分析

A. ECE_C

ECE_C 是導帶底能量。由於漸變摻雜造成載子擴散,半導體內形成內建電場。電勢隨位置改變時,電子能量也會隨位置改變,因此導帶會發生彎曲:

dECdx≠0\frac{dE_C}{dx}\neq 0
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第 11 題

In a uniform N-type semiconductor, the behavior of excess carrier concentrations follows the ambipolar transport equation in which the ambipolar diffusion coefficient, D', and the ambipolar mobility, μ', are included. Under low-level injection condition, which one of the following statements about the relations between these two ambipolar parameters and the actual parameters of carriers is true?
A. D'=Dp and μ'=-μp
B. D'=Dn and μ'=-μn
C. D'=Dp and μ'=-μn
D. D'=Dn and μ'=-μp

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核心觀念

雙極(ambipolar)傳輸方程式把過量電子與過量電洞綁在一起描述,其中

D′=DnDp(n+p)Dnn+Dpp,μ′=μnμp(p−n)μnn+μppD'=\frac{D_nD_p(n+p)}{D_n n+D_p p},\qquad \mu'=\frac{\mu_n\mu_p(p-n)}{\mu_n n+\mu_p p}

在 N 型半導體、低階注入(n≈n0≫pn\approx n_0\gg p)時,分母由含 nn 的項主導:

D′≈DnDp nDnn=Dp,μ′≈μnμp(−n)μnn=−μpD'\approx\frac{D_nD_p\,n}{D_n n}=D_p,\qquad \mu'\approx\frac{\mu_n\mu_p(-n)}{\mu_n n}=-\mu_p

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第 12 題

For GaAs, the effective mass of electrons is smaller than the effective mass of holes. At room temperature, where is the energy location of the Fermi level in an intrinsic GaAs?
A. Right at the middle of the energy bandgap
B. In the energy bandgap and closer to the valence band
C. In the energy bandgap and closer to the conduction band
D. Right at the valance band edge

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核心觀念

本題考查本徵半導體的費米能階。本徵半導體中,電子濃度與電洞濃度相等:

n=pn=p

在非簡併近似下,導帶電子濃度與價帶電洞濃度分別為

n=NCexp⁡(−EC−EFkT),p=NVexp⁡(−EF−EVkT)n=N_C\exp\left(-\frac{E_C-E_F}{kT}\right),\qquad p=N_V\exp\left(-\frac{E_F-E_V}{kT}\right)

其中 NCN_C、NVN_V 分別是導帶與價帶的有效態密度。它們和電子、電洞的態密度有效質量有關:

NC∝(me∗)3/2,NV∝(mh∗)3/2N_C\propto (m_e^*)^{3/2},\qquad N_V\propto (m_h^*)^{3/2}

因此,若電子有效質量小於電洞有效質量,則 NC<NVN_C<N_V。

解題方法

令 n=pn=p,將兩個濃度公式相等,取對數並整理,可得本徵費米能階 EiE_i:

Ei=EC+EV2+kT2ln⁡(NVNC)E_i=\frac{E_C+E_V}{2}+\frac{kT}{2}\ln\left(\frac{N_V}{N_C}\right)
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第 13 題

Which of the following sequence best fit in to the blanks in the following statement?
"A (1) diodes have a (2) breakdown voltage, as compare to that of a (3)
diode. Its breakdown current is caused by band-to-band (4) in its (5) pn
junctions."
A. Zener, higher, Avalanche, tunneling, heavily-doped
B. Avalanche, higher, tunneling, multiplications, lightly-doped
C. Zener, lower, Avalanche, tunneling, heavily-doped
D. Tunneling, lower, Avalanche, tunneling, lightly-doped

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本題考查 PN 接面崩潰 (breakdown) 機制及其特性。崩潰主要有兩種機制:齊納崩潰 (Zener breakdown) 和雪崩崩潰 (Avalanche breakdown)。

  1. 齊納崩潰 (Zener breakdown):

    • 發生在摻雜濃度非常高(重摻雜,heavily-doped)的 PN 接面。
    • 高摻雜濃度導致接面寬度很窄,內建電場非常強。
    • 在外加反向電壓下,強電場會直接將價帶中的電子隧穿到導帶,形成崩潰電流。
    • 齊納崩潰的電壓相對較低,且崩潰電流的電壓依賴性較強(斜率陡峭)。
    • 其崩潰機制是「帶到帶的隧穿 (band-to-band tunneling)」。
  2. 雪崩崩潰 (Avalanche breakdown):

    • 發生在摻雜濃度較低(輕摻雜,lightly-doped)的 PN 接面。
    • 外加反向電壓使得載子在高電場中加速,獲得足夠的動能。
    • 這些高能載子與晶格碰撞,產生新的電子-空穴對(倍增效應)。
    • 新產生的載子又被加速,進一步產生更多的載子,形成「雪崩效應」。
    • 雪崩崩潰的電壓相對較高。
    • 其崩潰機制是「載子倍增 (carrier multiplication)」。

現在我們來分析題目陳述:
"A (1) diodes have a (2) breakdown voltage, as compare to that of a (3) diode."
這句話比較了兩種二極體。

"Its breakdown current is caused by band-to-band (4) in its (5) pn junctions."
這句話描述了其中一種二極體的崩潰機制。

讓我們逐一分析選項:

選項 A:Zener, higher, Avalanche, tunneling, heavily-doped

  • (1) Zener
  • (2) higher breakdown voltage
  • (3) Avalanche diode
  • (4) tunneling
  • (5) heavily-doped

如果 (1) 是 Zener,那麼它應該是「較低的」崩潰電壓,而不是「較高的」。所以 A 錯誤。

選項 B:Avalanche, higher, tunneling, multiplications, lightly-doped

  • (1) Avalanche
  • (2) higher breakdown voltage
  • (3) lightly-doped diode (與 (1) 欄位衝突,(3) 應該是另一種二極體,例如 Zener)
  • (4) multiplications
  • (5) lightly-doped

如果 (1) 是 Avalanche,它確實有較高的崩潰電壓。
但是,(3) 應該是與 Avalanche 相對的另一種二極體,例如 Zener。

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📄 以下 3 題共用同一段題幹

For Question 14-16, consider two n+/p diodes with the same cross-sectional area and the same n+ doping of 10^19 cm^-3. D1 has a p-region doping of 10^17 cm^-3; D2 has a p-region doping of 10^16 cm^-3.

第 14 題

Under the same forward-bias current IDO, which is correct?
A. D1 has larger capacitance
B. D2 has a larger built-in potential
C. Voltage across diode is higher in D1.
D. Hole current/Total current > 50% for both diodes

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核心觀念

題組條件(第 14–16 題):兩個 n+/pn^+/p 二極體,截面積相同,n+n^+ 側 1019 cm−310^{19}\ \mathrm{cm^{-3}};D1 的 p 側 NA=1017 cm−3N_A=10^{17}\ \mathrm{cm^{-3}},D2 的 p 側 NA=1016 cm−3N_A=10^{16}\ \mathrm{cm^{-3}}。

n+/pn^+/p 接面的順向電流幾乎全由「注入 p 區的電子」構成:

I≈qAni2NADnLn(eV/VT−1)I\approx qA\frac{n_i^2}{N_A}\frac{D_n}{L_n}\left(e^{V/V_T}-1\right)

p 側摻雜愈高,飽和電流 ISI_S 愈小,要流相同的電流 ID0I_{D0} 就需要愈大的順向電壓。

選項分析

  • A. D1 電容較大:錯。 順向偏壓下,總電容由擴散電容主導,Cd=τnVTID0C_d=\dfrac{\tau_n}{V_T}I_{D0}。
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第 15 題

Following question 14, which is the primary component of IDO?
A. Electron diffusion current in the p-region
B. Hole drift current in the depletion region
C. Generation current in n+ regions
D. Recombination current in the depletion region

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核心觀念

二極體的反向飽和電流 ID0I_{D0},在理想 pp-nn 接面模型中,主要來自中性區的少數載子擴散。少數載子到達空乏區邊緣後,會被空乏區電場掃過接面;電場負責收集載子,主要電流分量則由中性區的擴散決定。柏克萊大學半導體元件講義

理想接面的反向飽和電流可寫成

ID0=qAni2(DnLnNA+DpLpND)I_{D0}=qA n_i^2\left(\frac{D_n}{L_nN_A}+\frac{D_p}{L_pN_D}\right)

其中第一項是電子在 pp 區的擴散電流,第二項是電洞在 nn 區的擴散電流;NAN_A 與 NDN_D 分別是受體與施體濃度。

解題方法

依題目承接第 14 題的接面設定,判斷 ID0I_{D0} 的兩種少數載子擴散分量,再比較其所在區域的摻雜。對 n+n^+-pp 接面,n+n^+ 區施體濃度 NDN_D 很高,因此第二項中的 1/ND1/N_D 很小;相對地,電子在較低摻雜 pp 區的擴散分量較大,為主要分量。

所以主要成分是 pp 區中的電子擴散電流。

選項分析

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第 16 題

Under the same reverse-bias voltage, which is correct?
A. Depletion capacitance is higher D1
B. Generation rate is higher in D2
C. Depletion width is higher in D1
D. Peak electric field in higher in D2

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核心觀念

承第 14 題的條件:D1 的 p 側 NA=1017 cm−3N_A=10^{17}\ \mathrm{cm^{-3}},D2 為 1016 cm−310^{16}\ \mathrm{cm^{-3}},n+n^+ 側同為 1019 cm−310^{19}\ \mathrm{cm^{-3}},是單邊陡接面,空乏區幾乎全落在 p 側:

W≈2εs(Vbi+VR)qNA,Cdep=εsAW,Emax⁡=qNAWεs=2qNA(Vbi+VR)εsW\approx\sqrt{\frac{2\varepsilon_s(V_{bi}+V_R)}{qN_A}},\qquad C_{dep}=\frac{\varepsilon_sA}{W},\qquad E_{\max}=\frac{qN_AW}{\varepsilon_s}=\sqrt{\frac{2qN_A(V_{bi}+V_R)}{\varepsilon_s}}

相同反向偏壓下,NAN_A 較大的 D1:空乏區較窄、空乏電容較大、峰值電場較大。

選項分析

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第 17 題

In a photodiode with lightly-doped pn junction, IPH is measured by the reverse-bias current in response to light? Which does NOT contribute to IPH?
A. Recombination current
B. Generation current
C. Diffusion current
D. Band-to-band tunneling current

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核心觀念

光二極體在反向偏壓下,入射光子若滿足

hν≥Egh\nu \geq E_g

便能產生電子—電洞對。這些光生載子在耗盡區內受到電場漂移,或在中性區先擴散至耗盡區後被收集,形成光電流 IPHI_{PH}。

反向偏壓下量測的電流可概念性寫成

IR=Idark+IPHI_R = I_{\text{dark}} + I_{PH}

其中 IdarkI_{\text{dark}} 是無光時的暗電流,IPHI_{PH} 是光照所增加的電流。對輕摻雜 pnpn 接面而言,耗盡區較寬、電場通常不足以引發顯著的穿隧效應,因此光電流主要與下列機制有關:

  • 耗盡區內的光生載子產生與收集。
  • 中性區少數載子的擴散。
  • 載子的產生—復合過程及其對反向電流、載子收集的影響。

解題方法

判斷各選項是否對 IPHI_{PH} 有貢獻,關鍵在於區分:

  1. 是否與光生電子—電洞對的產生、傳輸或收集有關。
  2. 是否需要非常強的電場或重摻雜條件。

輕摻雜 pnpn 接面的耗盡層較寬,反向偏壓時的主要光電流機制是漂移與擴散;而 band-to-band tunneling 必須依賴極高電場,通常出現在重摻雜接面或極高反向偏壓下。

選項分析

A. Recombination current

復合電流與電子—電洞對的產生及復合有關。在光照下,光生載子可能在被收集前復合;耗盡區內的產生—復合過程也會影響反向電流。因此,復合相關機制會影響光照下量測到的電流與光生載子的收集效率。

所以此項可視為對反向光電流具有貢獻,不能選。

B. Generation current

在耗盡區內,光子產生電子—電洞對。接面電場會將電子與電洞分別推向兩側,形成可量測的光電流。其基本概念可表示為

IPH∝q×單位時間內被收集的光生載子數I_{PH} \propto q \times \text{單位時間內被收集的光生載子數}
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第 18 題

Which statement is INCORRECT in describing the diode quality factor, n?
A. n is typically higher at low current regime
B. n increases when generation-recombination rate increase in the depletion region
C. For n=1, diode current increases 10X with 60mV increase in diode voltage
D. Ranging between 0-2

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核心觀念

二極體品質因子(diode quality factor),又稱理想因子(ideality factor),記為 nn,出現在二極體方程式:

I=IS[exp⁡(qVDnkT)−1]I=I_S\left[\exp\left(\frac{qV_D}{nkT}\right)-1\right]

其中:

  • ISI_S:反向飽和電流
  • qq:電子電荷量
  • VDV_D:二極體端電壓
  • kk:波茲曼常數
  • TT:絕對溫度
  • nn:品質因子

品質因子反映二極體電流主要由何種機制控制:

  • n=1n=1:中性區的少數載子擴散電流主導
  • n=2n=2:空乏區內的產生—復合電流主導

在一般理想二極體模型中,nn 通常介於 11 與 22 之間。


解題方法

本題是判斷品質因子敘述是否正確。可依序檢查三個重點:

  1. 不同電流區域的主導傳導機制。
  2. 空乏區產生—復合效應對 nn 的影響。
  3. n=1n=1 時的電壓與電流關係。
  4. 品質因子的合理數值範圍。

由理想二極體方程式取正向偏壓且忽略 −1-1:

I≈ISexp⁡(qVDnkT)I\approx I_S\exp\left(\frac{qV_D}{nkT}\right)

若電壓增加 ΔV\Delta V,電流比為:

I2I1=exp⁡(qΔVnkT)\frac{I_2}{I_1} = \exp\left(\frac{q\Delta V}{nkT}\right)

在室溫下,熱電壓約為:

VT=kTq≈25.9 mVV_T=\frac{kT}{q}\approx 25.9\ \text{mV}

因此:

I2I1=exp⁡(ΔVnVT)\frac{I_2}{I_1} = \exp\left(\frac{\Delta V}{nV_T}\right)

選項分析

A. nn is typically higher at low current regime

低電流區時,空乏區中的載子產生—復合電流通常較為重要,其電流近似為:

IGR∝exp⁡(qVD2kT)I_{\text{GR}}\propto \exp\left(\frac{qV_D}{2kT}\right)

因此此時品質因子接近:

n≈2n\approx 2

當電流增加後,中性區少數載子的擴散電流逐漸主導,電流近似為:

Idiff∝exp⁡(qVDkT)I_{\text{diff}}\propto \exp\left(\frac{qV_D}{kT}\right)

此時:

n≈1n\approx 1

所以低電流區的 nn 通常較高。選項 A 正確。


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📄 以下 3 題共用同一段題幹

For Question 19-21, consider a Si based pnp transistor with the two p-regions and one n-region of the same width; emitter doping of 2X10^19 cm^-3; base doping of 10^17 cm^-3 and collector doping of 10^16 cm^-3. The mobility of electrons is 2X of that of holes.

第 19 題

If the BJT is in forward-active mode, which is closest estimate of the emitter injection efficiency?
A. 0.5
B. 0.99
C. 1.2
D. 2.5

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核心觀念

本題考查 BJT 的射極注入效率(emitter injection efficiency):

γE=由射極注入基極的多數載子電流射極總電流=JpEJpE+JnE\gamma_E=\frac{\text{由射極注入基極的多數載子電流}} {\text{射極總電流}} =\frac{J_{pE}}{J_{pE}+J_{nE}}

對於 pnppnp 電晶體:

  • 射極為 pp 型,主要注入基極的是電洞,電流記為 JpEJ_{pE}。
  • 基極為 nn 型,也會有電子反向注入射極,電流記為 JnEJ_{nE}。
  • 射極摻雜遠高於基極摻雜時,電洞注入電流遠大於電子反向注入電流,因此 γE\gamma_E 接近 11。

在低階注入、均勻摻雜且兩區寬度相同的條件下:

JpE∝Dpni2/NBWBJ_{pE}\propto \frac{D_p n_i^2/N_B}{W_B} JnE∝Dnni2/NEWEJ_{nE}\propto \frac{D_n n_i^2/N_E}{W_E}

其中:

  • NE=2×1019 cm−3N_E=2\times10^{19}\ \text{cm}^{-3}:射極摻雜濃度
  • NB=1017 cm−3N_B=10^{17}\ \text{cm}^{-3}:基極摻雜濃度
  • DpD_p:電洞擴散係數
  • DnD_n:電子擴散係數

解題方法

由 Einstein 關係式:

D=μkTqD=\mu\frac{kT}{q}

在同一溫度下,擴散係數與遷移率成正比。題目給出電子遷移率為電洞的 22 倍,因此:

Dn=2DpD_n=2D_p

又因為射極與基極寬度相同,WE=WBW_E=W_B,且 ni2n_i^2 與寬度項會相消,因此兩個注入電流的比值為:

JnEJpE=Dn/NEDp/NB=DnDpNBNE\frac{J_{nE}}{J_{pE}} = \frac{D_n/N_E}{D_p/N_B} = \frac{D_n}{D_p}\frac{N_B}{N_E}

代入數值:

JnEJpE=2⋅10172×1019=0.01\frac{J_{nE}}{J_{pE}} = 2\cdot \frac{10^{17}}{2\times10^{19}} = 0.01

因此射極注入效率為:

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第 20 題

The base transport efficiency, ατ, can be increased by?
A. Reducing base width
B. Lowing collector doping level
C. Increasing recombination center in emitter
D. Change the emitter to SiGe

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核心觀念

本題考雙極性電晶體(BJT)的基區傳輸因子 αT\alpha_T。它表示由射極注入基區的少數載子中,有多少比例能穿越基區、抵達集極側而未在基區復合:

αT=InCInE\alpha_T=\frac{I_{nC}}{I_{nE}}

其中 InEI_{nE} 是由射極注入基區的電子電流,InCI_{nC} 是抵達集極側的電子電流。載子若在基區復合,就無法抵達集極,因此要提高 αT\alpha_T,應減少基區內的復合。基區越窄,載子穿越基區所需的距離越短,傳輸因子越高。UCLA 半導體元件教材

對均勻摻雜、正向主動區操作的 BJT,常用下式描述基區傳輸因子:

αT≈sech⁡(WBLn)=1cosh⁡(WB/Ln)\alpha_T \approx \operatorname{sech}\left(\frac{W_B}{L_n}\right) =\frac{1}{\cosh(W_B/L_n)}

WBW_B 是中性基區寬度,Ln=DnτnL_n=\sqrt{D_n\tau_n} 是電子在基區中的擴散長度。當基區遠窄於擴散長度,即 WB≪LnW_B\ll L_n 時,

αT≈1−12(WBLn)2\alpha_T\approx 1-\frac{1}{2}\left(\frac{W_B}{L_n}\right)^2

因此,減小 WBW_B 會使 αT\alpha_T 更接近 1;基區中的載子復合也隨之減少。[伊利諾大學 BJT 課程講義](https://courses.physics.illinois.edu/ece340/sp2020/Dallesasse_Slides/ECE340_L4

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第 21 題

Let ατ =0.95, which is closest estimate of its common-emitter current gain?
A. 1
B. 20
C. 50
D. 200

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核心觀念

本題考查**雙極性接面電晶體(BJT)**的內部載子傳輸機制與端點電流增益關係:

  1. 共基極電流增益(Common-Base Current Gain, α\alpha):
    在理想主動區(Active Mode)操作下,共基極直流電流增益 α\alpha 可表示為三個物理因子的乘積:

    α=γ⋅αT⋅M\alpha = \gamma \cdot \alpha_T \cdot M

    其中:

    • γ\gamma:發射極注入效率(Emitter Injection Efficiency)
    • αT\alpha_T:基極傳輸因子(Base Transport Factor)
    • MM:集極空乏區雪崩倍增因子(Avalanche Multiplication Factor)
      在一般未發生崩潰且設計良好的 BJT 中,通常視 γ≈1\gamma \approx 1 且 M≈1M \approx 1,因此共基極電流增益近似於基極傳輸因子,即 α≈αT\alpha \approx \alpha_T。
  2. 共射極電流增益(Common-Emitter Current Gain, β\beta):
    集極電流 ICI_C、基極電流 IBI_B 與射極電流 IEI_E 的關係為 IE=IB+ICI_E = I_B + I_C 且 IC=αIEI_C = \alpha I_E。由定義 β=ICIB\beta = \frac{I_C}{I_B},可推導出 α\alpha 與 β\beta 之間的標準轉換公式:

    β=α1−α\beta = \frac{\alpha}{1 - \alpha}

解題方法

  1. 代入物理參數:
    題目給定基極傳輸因子 αT=0.95\alpha_T = 0.95。在無其他非理想效應(γ=1,M=1\gamma = 1, M = 1)的前提下,取 α=αT=0.95\alpha = \alpha_T = 0.95。

  2. 計算共射極電流增益 β\beta:
    將 α=0.95\alpha = 0.95 代入電流增益轉換公式:

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第 22 題

The energy band of a MOS structure is shown below.
The device is in
A. Inversion
B. Depletion
C. Flat Band
D. Accumulation
🖼️【此處有附圖,請對照原卷】

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 6 頁

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核心觀念

MOS 結構的工作狀態可由半導體表面的能帶彎曲判斷:

  • 能帶向上彎曲:通常代表耗盡或反轉。
  • 能帶向下彎曲:通常代表累積。
  • 能帶完全水平:表示半導體內沒有能帶彎曲,為平帶狀態(Flat Band)。

平帶條件為表面電位

ψs=0\psi_s=0

因此半導體表面沒有額外的空間電荷,且閘極電壓等於平帶電壓:

VG=VFBV_G=V_{FB}

解題方法

觀察題目附圖中矽區的 ECE_C、EFE_F 與 EVE_V:

  • ECE_C 為水平線;
  • EVE_V 為水平線;
  • 矽內的能帶沒有向上或向下彎曲。

因此,矽表面沒有形成累積層、耗盡層或反轉層,器件處於平帶狀態。

選項分析

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📄 以下 5 題共用同一段題幹

For Questions 22–27, the energy band of a MOS structure is shown below.

🖼️【此處有附圖,請對照原卷】

第 23 題

The flat band voltage is

(A) VFB>0V_{\mathrm{FB}}>0
(B) VFB=0V_{\mathrm{FB}}=0
(C) VFB<0V_{\mathrm{FB}}<0
(D) Cannot decide

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 6 頁

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核心觀念

平帶電壓是使半導體表面能帶不彎曲時所需的閘極電壓。其一般關係式為

VFB=ΦMS−QoxCoxV_{\mathrm{FB}}=\Phi_{\mathrm{MS}}-\frac{Q_{\mathrm{ox}}}{C_{\mathrm{ox}}}

其中 ΦMS\Phi_{\mathrm{MS}} 是金屬與半導體的功函數差,QoxQ_{\mathrm{ox}} 是氧化層中的電荷面密度,CoxC_{\mathrm{ox}} 是氧化層電容。圖中未標示氧化層電荷,因此依圖判斷平帶時所需閘極電壓的正負。

解題方法

圖中 Si 的 EcE_c、EfE_f、EvE_v 都是水平的,表示半導體能帶平坦。金屬的費米能階位置比 Si 的 EfE_f 低,也就是圖上金屬費米能階較靠下。對電子而言,金屬能階相對降低代表金屬端電位較高,因此要形成圖示的平帶狀態,閘極電壓為正;

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第 24 題

Which one of the following statements is true?

(A) When VGV_G is increased, the depletion region width will increase
(B) When VGV_G is increased, the electron density at the SiO2/Si\mathrm{SiO_2/Si} interface will increase
(C) When VGV_G is increased, the EoxE_{\mathrm{ox}} will reduce
(D) VGV_G needs to increase in order to get into the inversion region

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 6 頁

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核心觀念

此題考 MOS 電容的閘極偏壓如何影響半導體表面載子與能帶。圖中矽的能帶 EcE_c、EvE_v 均為水平,表示表面能帶沒有彎曲,處於平帶狀態;EfE_f 靠近 EcE_c,表示矽為 nn 型。以下依理想 MOS 結構判斷。

解題方法

圖中結構由金屬、SiO2\mathrm{SiO_2} 與矽組成;矽側的 EcE_c、EfE_f、EvE_v 都是水平線,且 EfE_f 靠近 EcE_c。因此起始狀態是 nn 型矽的平帶狀態。由平帶狀態提高 VGV_G,即施加更正的閘極偏壓,會吸引電子至氧化層與矽的界面,形成累積。

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第 25 題

Which one of the following could be the high-frequency CV curve of this MOS structure?

(A) 🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
(B) 🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
(C) 🖼️【此處有附圖,請對照原卷】
(D) 🖼️【此處有附圖,請對照原卷】

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 7 頁

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核心觀念

高頻 MOS 電容的 CC–VGV_G 曲線方向,先由矽基板的摻雜型態判斷;曲線沿電壓軸的位置,再由平帶電壓 VFBV_{FB} 的正負判斷。

本題矽能帶中 EfE_f 靠近 EcE_c,表示基板為 n 型。圖中矽的 EcE_c、EfE_f、EvE_v 都是水平的,表示矽內能帶平坦;金屬的費米能階低於矽的 EfE_f。由平帶時的功函數差可知

VFB=Φm−Φs>0V_{FB}=\Phi_m-\Phi_s>0

此處假設圖示未標出氧化層固定電荷。

解題方法

先看偏壓方向:對 n 型基板,正閘極偏壓會使電子累積在 SiO₂/Si 介面,電容趨近氧化層電容 CoxC_{ox};負閘極偏壓則使基板進入空乏,接著進入反轉。高頻下少數載子無法及時跟隨訊號,反轉時電容維持在低值。因此,n 型基板的高頻曲線應由負電壓側的低電容,隨 VGV_G 增加而轉為正電壓側的高電容。

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第 26 題

If the oxide thickness is changed, which one of the following will change?

(A) Cmax⁡C_{\max}
(B) Cmin⁡C_{\min}
(C) Both Cmax⁡C_{\max} and Cmin⁡C_{\min}
(D) None of Cmax⁡C_{\max} and Cmin⁡C_{\min}

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 7 頁

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核心觀念

MOS 電容的氧化層電容(單位面積)為

Cox=εoxtoxC_{\mathrm{ox}}=\frac{\varepsilon_{\mathrm{ox}}}{t_{\mathrm{ox}}}

因此,氧化層厚度 toxt_{\mathrm{ox}} 改變時,CoxC_{\mathrm{ox}} 也會改變。高頻 CC–VV 曲線的最大值與最小值都會受到氧化層電容影響。

解題方法

原卷第 26 題詢問改變氧化層厚度後,Cmax⁡C_{\max} 或 Cmin⁡C_{\min} 哪些會改變;選項列出「只有最大值」、「只有最小值」、「兩者皆變」及「兩者皆不變」。同頁第 25 題提到 MOS 結構的高頻 CC–VV 曲線,但未呈現共用題幹所說的能帶圖;本題判斷電容隨氧化層厚度的變化,不需依賴該圖。

累積區的電容最大值近似為氧化層電容:

Cmax⁡=Cox=εoxtoxC_{\max}=C_{\mathrm{ox}}=\frac{\varepsilon_{\mathrm{ox}}}{t_{\mathrm{ox}}}

所以氧化層厚度改變,Cmax⁡C_{\max} 就會改變。

高頻反轉區的最小電容,是氧化層電容與最大空乏層電容 Cdep,maxC_{\mathrm{dep,max}} 串聯:

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第 27 題

If the doping concentration of Si is changed, which one of the following will change?

(A) Cmax⁡C_{\max}
(B) Cmin⁡C_{\min}
(C) Both Cmax⁡C_{\max} and Cmin⁡C_{\min}
(D) None of Cmax⁡C_{\max} and Cmin⁡C_{\min}

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 8 頁

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核心觀念

MOS 電容的最大值主要由氧化層電容決定:

Cmax⁡=Cox=εoxAtoxC_{\max}=C_{\mathrm{ox}}=\frac{\varepsilon_{\mathrm{ox}}A}{t_{\mathrm{ox}}}

因此,在氧化層材料、厚度與面積不變時,改變矽的摻雜濃度不會改變 Cmax⁡C_{\max}。

高頻 C–V 曲線的最小電容則是氧化層電容與最大空乏層電容的串聯值。空乏層寬度受矽摻雜濃度影響,所以 Cmin⁡C_{\min} 會改變。

解題方法

原卷第 8 頁列出第 27 題及四個選項;題幹提到的能帶圖未出現在附上的兩頁中。不過本題可由 MOS 高頻 C–V 的電容關係判斷,不需要額外圖形數據。

矽基板進入強反轉前,空乏層寬度達到最大值。以 p 型基板為例:

Wd,max=4εSiϕFqNA,ϕF=kTqln⁡(NAni)W_{\mathrm{d,max}} = \sqrt{\frac{4\varepsilon_{\mathrm{Si}}\phi_F}{qN_A}}, \qquad \phi_F = \frac{kT}{q}\ln\left(\frac{N_A}{n_i}\right)

其中 NAN_A 是受體濃度。最大空乏層電容為

Cdep,max=εSiAWd,maxC_{\mathrm{dep,max}} = \frac{\varepsilon_{\mathrm{Si}}A}{W_{\mathrm{d,max}}}

高頻下,反轉層的少數載子無法跟上交流訊號,因此量到的最小電容是氧化層與最大空乏層電容串聯:

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第 28 題

Drain current in the saturation is not constant for an nMOSFET in the measurement. What might be the mechanism behind this?

(A) Velocity saturation due to a high electric field
(B) High-K dielectric as the gate oxide
(C) Channel length modulation
(D) Body effect

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核心觀念

理想長通道 nMOSFET 進入飽和區後,汲極端形成夾止區,汲極電流主要由閘極過驅電壓決定,理想上不再隨汲極—源極電壓 VDSV_{DS} 改變。

令 VOV=VGS−VTHV_{OV}=V_{GS}-V_{TH},長通道模型的飽和電流為

ID,sat=12μnCoxWL(VGS−VTH)2I_{D,\text{sat}}=\frac{1}{2}\mu_n C_{\text{ox}}\frac{W}{L}(V_{GS}-V_{TH})^2

實際量測時,飽和區的 IDI_D 常會隨 VDSV_{DS} 增加而上升。主要原因是通道長度調變:VDSV_{DS} 增加時,汲極端的夾止區向源極方向延伸,導電通道的有效長度縮短,使電流增加。此效應常以修正因子表示:

ID,sat≈12μnCoxWL(VGS−VTH)2(1+λVDS)I_{D,\text{sat}}\approx \frac{1}{2}\mu_n C_{\text{ox}}\frac{W}{L}(V_{GS}-V_{TH})^2(1+\lambda V_{DS})

其中 λ\lambda 為通道長度調變參數。當 λ>0\lambda>0 時,飽和區電流並非完全水平。

解題方法

題目指出「飽和區的汲極電流在量測時不為常數」,應辨認這是實際輸出特性與理想飽和模型的差異。理想模型預測飽和區電流對 VDSV_{DS} 不敏感;若量測曲線在飽和區仍隨 VDSV_{DS} 上升,便對應到通道有效長度縮短造成的通道長度調變。

選項分析

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第 29 題

Which one of the following is the best way to precisely double the drain current for an nMOSFET?

(A) Reduce the oxide thickness by half
(B) Increase the gate voltage by two times
(C) Reduce the channel length by half
(D) Increase the channel width by two times

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核心觀念

長通道 nMOSFET 在飽和區的汲極電流,忽略通道長度調變時為

ID=12μnCoxWL(VGS−VTH)2I_D=\frac{1}{2}\mu_n C_{\mathrm{ox}}\frac{W}{L}(V_{GS}-V_{TH})^2

其中 WW 是通道寬度、LL 是通道長度,CoxC_{\mathrm{ox}} 是單位面積閘極氧化層電容,且

Cox=εoxtoxC_{\mathrm{ox}}=\frac{\varepsilon_{\mathrm{ox}}}{t_{\mathrm{ox}}}

VGS−VTHV_{GS}-V_{TH} 稱為閘極過驅電壓。此式顯示,固定其他條件時,IDI_D 與 WW、CoxC_{\mathrm{ox}} 成正比,與 LL 成反比,並與閘極過驅電壓的平方成正比。

解題方法

判斷各選項對電流的影響時,固定其他操作條件與元件參數,再比較改變後的比例。若要用直接且可預測的方式調整電流,改變通道寬度最簡單:

ID∝WI_D\propto W

因此將 WW 加倍,電流便加倍。此作法不必改變閘極偏壓,也不必改變氧化層厚度或通道長度。

選項分析

(A) Reduce the oxide thickness by half

因為 Cox=εox/toxC_{\mathrm{ox}}=\varepsilon_{\mathrm{ox}}/t_{\mathrm{ox}},若 toxt_{\mathrm{ox}} 減半,CoxC_{\mathrm{ox}} 加倍。在理想長通道模型中,固定其他參數時,汲極電流也會加倍。

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第 30 題

The inversion layer of an n-channel enhancement mode MOSFET is shown in the following figure. Which one of the following best describes the status of this MOSFET?

🖼️【此處有附圖,請對照原卷】

(A) Pinch-off, VD=VD,satV_D=V_{D,\mathrm{sat}}
(B) Post pinch-off, VD=VD,satV_D=V_{D,\mathrm{sat}}
(C) Channel inversion with VD=0V_D=0
(D) Channel inversion with 0<VD<VD,sat0<V_D<V_{D,\mathrm{sat}}

🖼️ 本題含圖表,以下為原卷對應頁面:
原卷第 8 頁

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核心觀念

本題考的是 n 通道增強型 MOSFET 的反轉層形狀與汲極偏壓 VDV_D 的關係。長通道模型下,通道位置 xx 的反轉層電荷可寫為

Qn(x)=−Cox(VGS−VTH−V(x))Q_n(x)=-C_{\mathrm{ox}}\bigl(V_{GS}-V_{TH}-V(x)\bigr)

其中 V(x)V(x) 是該處通道電位。汲極電壓愈高,通道電位由源極往汲極上升,反轉層電荷的絕對值便愈小。

解題方法

圖中可見,源極與汲極都是 N+N^+ 區;兩者之間的反轉層連續延伸至汲極,且厚度大致均勻,沒有在汲極端收窄至零,也沒有在汲極前方中止。這表示通道電位沿長度方向沒有明顯變化,對應 VD=0V_D=0。

當 VD=0V_D=0 時,V(x)=0V(x)=0,所以

Qn(x)=−Cox(VGS−VTH)Q_n(x)=-C_{\mathrm{ox}}(V_{GS}-V_{TH})

沿通道為常數,反轉層厚度均勻,符合圖示。

選項分析

  • (A) Pinch-off, VD=VD,satV_D=V_{D,\mathrm{sat}}:錯。 臨界夾止時,汲極端反轉層電荷降至零,通道會在汲極端收窄至尖端;
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第 31 題4 分

Suppose that a beam of monochromatic light illuminates the surface of an intrinsic silicon wafer, the light beam spot size is smaller than the wafer area, and the photon energy of this light is larger than the energy bandgap value of silicon.

Now, if the optical power of this monochromatic light is doubled, which of the following items will change accordingly?

(A) The frequency of the light
(B) The number of excited electrons per unit time
(C) The energy gained by each excited electron
(D) The number of created holes per unit time
(E) The power of reflected light at the wafer surface

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核心觀念

單色光的每個光子能量為

Eγ=hνE_{\gamma}=h\nu

其中 hh 為普朗克常數,ν\nu 為光頻率。光功率 PP 是單位時間傳遞的能量,因此入射光子的數目率為

N˙γ=Phν\dot{N}_{\gamma}=\frac{P}{h\nu}

題目固定光的頻率,將光功率加倍時,每個光子的能量不變,但單位時間入射的光子數加倍。對矽而言,若光子能量大於能隙 EgE_g,被吸收的光子可激發電子並產生電子-電洞對。

以下依一般線性光吸收情況討論:材料與表面狀態不變,沒有光學飽和或其他非線性效應。

解題方法

設原入射功率為 PP,頻率為 ν\nu。功率加倍後,光子數目率由

N˙γ=Phν\dot{N}_{\gamma}=\frac{P}{h\nu}

變為

N˙γ′=2Phν=2N˙γ\dot{N}'_{\gamma}=\frac{2P}{h\nu}=2\dot{N}_{\gamma}

因此,單位時間入射的光子數加倍。吸收光子的比例固定時,單位時間吸收的光子數也加倍;每個被吸收的光子產生一個電子-電洞對,所以電子與電洞的產生率都加倍。

表面反射率 RR 固定時,反射功率為 Pref=RPP_{\mathrm{ref}}=RP,故入射功率加倍也使反射功率加倍。

選項分析

(A) The frequency of the light:不變。
光源仍是同一束單色光,增加光功率會增加光子的數目率,不會改變光頻率。

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第 32 題4 分

Which of the following items will increase the tunneling probability of a free electron traveling toward a rectangular potential barrier with a width of WW and a barrier height of VV?

Suppose that the energy of the electron, EE, is smaller than VV.

(A) Increasing WW
(B) Increasing VV
(C) Making EE closer to VV
(D) Reducing WW
(E) Making EE larger than VV

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核心觀念

本題考查電子遇到矩形位障時的量子穿隧效應。當電子能量 EE 小於位障高度 VV 時,電子在位障內的波函數會呈指數衰減,但不會立刻變成零,因此仍有機率穿過位障。

定義位障內的衰減常數為

κ=2m(V−E)ℏ\kappa=\frac{\sqrt{2m(V-E)}}{\hbar}

其中 mm 是電子質量,ℏ\hbar 是約化普朗克常數。對足夠寬的位障,穿隧機率可用近似式表示:

T∝e−2κW=exp⁡(−2W2m(V−E)ℏ)T\propto e^{-2\kappa W} = \exp\left(-\frac{2W\sqrt{2m(V-E)}}{\hbar}\right)

因此,位障越薄,或電子能量越接近位障高度,穿隧機率越大。

解題方法

由近似式可直接判斷參數的影響:

  • 增加位障寬度 WW:指數衰減加劇,穿隧機率降低。
  • 增加位障高度 VV:κ\kappa 增大,穿隧機率降低。
  • 提高電子能量 EE,使其接近 VV:V−EV-E 變小,κ\kappa 減小,穿隧機率增加。
  • 降低位障寬度 WW:指數衰減減弱,穿隧機率增加。

所以會增加穿隧機率的是 (C) 和 (D)。

選項分析

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📄 以下 2 題共用同一段題幹

二、多選題(第 31–40 題)

For question 33-34, consider a lightly-doped pn junction with ND=NAN_D=N_A. The mobility of electrons is 2X of that of holes.

第 33 題4 分

For the diode in reverse-bias voltage of −VR-V_R, which of the followings are correct?

(A) Depletion width to the n-region and p-region is the same
(B) Band-to-band tunneling current determines its breakdown current
(C) Maximum electric field occurs at the edges of the depletion region under reversed bias.
(D) Diode leakage current is independent of temperature.
(E) Depletion capacitance of the diode decreases with increasing VRV_R

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核心觀念

本題考察突變 pnpn 接面的空乏區分布、反向崩潰機制、電場分布、漏電流的溫度效應,以及接面空乏電容與反向偏壓的關係。

在空乏近似下,接面兩側的空乏區電荷量大小相等:

qNDxn=qNAxpqN_Dx_n=qN_Ax_p

因此空乏區寬度滿足:

xnxp=NAND\frac{x_n}{x_p}=\frac{N_A}{N_D}

總空乏寬度為:

W=xn+xp=2εsq(1NA+1ND)(Vbi+VR)W=x_n+x_p =\sqrt{\frac{2\varepsilon_s}{q} \left(\frac{1}{N_A}+\frac{1}{N_D}\right) (V_{\mathrm{bi}}+V_R)}

其中 VbiV_{\mathrm{bi}} 是內建電位,VRV_R 是反向偏壓的大小。接面空乏電容為:

Cj=εsAWC_j=\frac{\varepsilon_s A}{W}

解題方法

先用電中性條件判斷空乏區在兩側的分布,再辨認輕摻雜接面的典型崩潰機制。接著利用突變接面中的電場分布判斷最大電場位置,最後由反向漏電流的溫度依賴性及 Cj=εsA/WC_j=\varepsilon_sA/W 判斷其餘選項。

題幹給定 ND=NAN_D=N_A,故 xn=xpx_n=x_p。電子遷移率是電洞遷移率的兩倍,與空乏區寬度分布及空乏電容的判斷無關。

選項分析

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第 34 題4 分

This diode is biased with a forward bias current of ID0I_{D0}, which are correct?

(A) Voltage across diode increases exponentially with ID0I_{D0}
(B) Diffusion current in the p-region is 22 times higher than that in the n-region.
(C) Built-in potential of this diode increases with raising ID0I_{D0}
(D) Diffusion capacitance is proportional to ID0I_{D0}
(E) Depletion capacitance is zero

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核心觀念

題組條件(第 33–34 題):輕摻雜 pn 接面,ND=NAN_D=N_A,電子遷移率是電洞的 2 倍。由愛因斯坦關係 D=μVTD=\mu V_T,得 Dn=2DpD_n=2D_p。

順向偏壓下,兩側注入的少數載子擴散電流分別為

Jn (p 區)∝Dnni2NA L,Jp (n 區)∝Dpni2ND LJ_n\ (\text{p 區})\propto\frac{D_n n_i^2}{N_A\,L},\qquad J_p\ (\text{n 區})\propto\frac{D_p n_i^2}{N_D\,L}

NA=NDN_A=N_D,在兩側長度條件相同的假設下,Jn/Jp=Dn/Dp=2J_n/J_p=D_n/D_p=2。

選項分析

  • A. 電壓隨 ID0I_{D0} 呈指數增加:錯。 是電流隨電壓指數增加;反過來 V=VTln⁡(ID0/IS)V=V_T\ln(I_{D0}/I_S),電壓只隨電流對數增加。
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第 35 題4 分

Consider a pn junction, with a built-in voltage Vbi=0.8 VV_{\mathrm{bi}}=0.8\,\mathrm{V} at T=300 KT=300\,\mathrm{K}.

Under a reverse-bias voltage, VR=−2.4 VV_R=-2.4\,\mathrm{V}, its depletion capacitance, Cdep=6 fFC_{\mathrm{dep}}=6\,\mathrm{fF}, the peak electric field in the depletion region, Emax⁡=0.4 MV/cmE_{\max}=0.4\,\mathrm{MV/cm}.

Which of the following CANNOT be correct?

(A) Cdep=12 fFC_{\mathrm{dep}}=12\,\mathrm{fF} at zero bias.
(B) Cdep=4 fFC_{\mathrm{dep}}=4\,\mathrm{fF} at VR=−6.4 VV_R=-6.4\,\mathrm{V}.
(C) The potential difference across its depletion region >5 V>5\,\mathrm{V}, at VR=−1 VV_R=-1\,\mathrm{V}.
(D) Emax⁡=0.5 MV/cmE_{\max}=0.5\,\mathrm{MV/cm}, at VR=−1 VV_R=-1\,\mathrm{V}.
(E) Depletion width at zero bias >0.1 μm>0.1\,\mu\mathrm{m}.

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核心觀念

本題以突變 pn 接面的耗盡區模型為基礎。令耗盡區電位差為 VDV_D,在反向偏壓 VR<0V_R<0 時:

VD=Vbi−VR=Vbi+∣VR∣V_D=V_{\mathrm{bi}}-V_R=V_{\mathrm{bi}}+|V_R|

對突變接面,耗盡電容、峰值電場與耗盡寬度分別滿足:

Cdep∝1VD,Emax⁡∝VD,W∝VDC_{\mathrm{dep}}\propto \frac{1}{\sqrt{V_D}}, \qquad E_{\max}\propto \sqrt{V_D}, \qquad W\propto \sqrt{V_D}

此外,耗盡區的電場分布呈三角形,因此:

VD=12Emax⁡WV_D=\frac{1}{2}E_{\max}W

題目已知在 VR=−2.4 VV_R=-2.4\,\mathrm{V} 時:

VD=0.8−(−2.4)=3.2 V,Cdep=6 fF,Emax⁡=0.4 MV/cmV_D=0.8-(-2.4)=3.2\,\mathrm{V}, \quad C_{\mathrm{dep}}=6\,\mathrm{fF}, \quad E_{\max}=0.4\,\mathrm{MV/cm}

以下以此工作點作為比例基準。

解題方法

先由 VD=Vbi+∣VR∣V_D=V_{\mathrm{bi}}+|V_R| 求各偏壓下的耗盡區電位差,再分別套用電容與電場的平方根比例。最後由 VD=12Emax⁡WV_D=\frac12 E_{\max}W 求耗盡寬度,檢查各選項。

選項分析

(A) Cdep=12 fFC_{\mathrm{dep}}=12\,\mathrm{fF} at zero bias

零偏壓時 VD=0.8 VV_D=0.8\,\mathrm{V}。由 Cdep∝1/VDC_{\mathrm{dep}}\propto 1/\sqrt{V_D}:

Cdep(0)=63.20.8=12 fFC_{\mathrm{dep}}(0) =6\sqrt{\frac{3.2}{0.8}} =12\,\mathrm{fF}

因此 (A) 可以成立。

(B) Cdep=4 fFC_{\mathrm{dep}}=4\,\mathrm{fF} at VR=−6.4 VV_R=-6.4\,\mathrm{V}

此時 VD=0.8+6.4=7.2 VV_D=0.8+6.4=7.2\,\mathrm{V},所以:

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第 36 題4 分

For the npn transistor, its base-region doping level increases while all the other parameters remain the same. Which of the following is expected to decrease?

(A) Common-emitter current gain
(B) BVCEO\mathrm{BV}_{\mathrm{CEO}} (breakdown voltage between emitter and collector with base floating)
(C) Base transit time
(D) Emitter injection efficiency
(E) Base resistance

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核心觀念

本題考察提高 npn 電晶體 p 型基區摻雜濃度後,電流增益、射極注入效率、基區渡越時間、基區電阻與崩潰電壓的變化。

基區摻雜濃度記為 NBN_B,射極施體濃度記為 NEN_E。在其他參數固定的標準模型下:

  • 射極注入效率 γ\gamma 是由射極注入基區的電子電流,占射極總電流的比例。
  • 共射極電流增益 β\beta 與共基極電流增益 α\alpha 的關係為
    β=α1−α\beta=\frac{\alpha}{1-\alpha}
  • 基區電阻與基區電導率相關,而電導率近似正比於摻雜濃度與載子遷移率的乘積。

解題方法

先比較基區摻雜濃度對電子注入與電洞注入的影響。電子注入基區的電流密度近似與基區摻雜濃度成反比;射極注入效率可寫成

γ=11+CNBNE\gamma=\frac{1}{1+C\frac{N_B}{N_E}}

其中 CC 包含擴散係數與幾何尺寸等固定參數。因此,提高 NBN_B 會使 γ\gamma 下降。由於共基極增益包含射極注入效率,α\alpha 隨之下降,進而使 β\beta 下降。

此外,基區電阻近似為

RB∝1qμpNBR_B\propto\frac{1}{q\mu_p N_B}

提高基區摻雜通常會提高基區電導率,因此基區電阻也會下降。

選項分析

(A) 共射極電流增益:下降。
射極注入效率下降會使共基極電流增益 α\alpha 下降。

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第 37 題4 分

Consider an n+\mathrm{n^+} Si gate nMOSFET on a Si substrate with Tox=10 nmT_{\mathrm{ox}}=10\,\mathrm{nm} at 300 K300\,\mathrm{K}.

Which of the following factors will reduce its on/off current ratio at a given operation condition?

(A) Increase temperature
(B) Increase oxide thickness
(C) Increase body doping concentration
(D) Use a high-K dielectric
(E) Use a p+\mathrm{p^+} Si gate

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核心觀念

on/off 電流比 =Ion/Ioff=I_{on}/I_{off}。關閉狀態的電流是次臨界電流,其大小由次臨界擺幅決定:

S=kTqln⁡10(1+CdepCox)S=\frac{kT}{q}\ln10\left(1+\frac{C_{dep}}{C_{ox}}\right)

SS 愈大,閘極電壓從 VthV_{th} 降到 0 時電流下降得愈少,IoffI_{off} 愈大,on/off 比愈小。開啟電流則受 VG−VthV_G-V_{th} 與載子遷移率影響。

選項分析

  • A. 升高溫度:官方答案未列入。 升溫使 kT/qkT/q 變大、VthV_{th} 下降,關閉電流明顯上升;遷移率下降又使開啟電流變小。依一般教科書推論 on/off 比會下降,這與官方答案有出入。
  • B. 增加氧化層厚度:官方答案未列入。 CoxC_{ox} 變小會使 SS 變差、開啟電流變小;依一般推論 on/off 比也會下降,同樣與官方答案有出入。
  • **C. 提高基板摻雜濃度:正確。
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第 38 題4 分

Which of the following factors will decrease the inversion layer charge density at a given VGV_G greater than VthV_{\mathrm{th}}?

(A) Increase temperature
(B) Increase oxide thickness
(C) Increase body doping concentration
(D) Increase channel width
(E) Use a p+\mathrm{p^+} Si gate

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核心觀念

本題考查 MOSFET 強反轉時,閘極電壓如何控制反轉層電荷密度。以下以長通道 nMOS、p 型基板為例,並假設其他條件固定。

反轉層電荷密度可近似寫成

Qinv≈−Cox(VG−Vth)Q_{\mathrm{inv}} \approx -C_{\mathrm{ox}}(V_G-V_{\mathrm{th}})

其中 Cox=εox/toxC_{\mathrm{ox}}=\varepsilon_{\mathrm{ox}}/t_{\mathrm{ox}} 是單位面積閘氧電容。QinvQ_{\mathrm{inv}} 帶負號;比較電荷密度大小時,以下比較 ∣Qinv∣|Q_{\mathrm{inv}}|。在固定 VGV_G 下,凡是使 CoxC_{\mathrm{ox}} 變小或使 VthV_{\mathrm{th}} 升高的因素,都會使反轉層電荷密度降低。

解題方法

逐一判斷各因素如何改變氧化層電容、臨界電壓,或反轉層的面積。

以 p 型基板 nMOS 的臨界電壓為例:

Vth=VFB+2ϕF+4qεSiNAϕFCoxV_{\mathrm{th}} = V_{\mathrm{FB}}+2\phi_F+ \frac{\sqrt{4q\varepsilon_{\mathrm{Si}}N_A\phi_F}}{C_{\mathrm{ox}}}

其中 VFBV_{\mathrm{FB}} 是平帶電壓,ϕF\phi_F 是費米位能,NAN_A 是基板受體濃度。此式顯示,氧化層電容、基板摻雜及閘極功函數都會影響 VthV_{\mathrm{th}},進而改變固定閘極電壓下的反轉電荷密度。

選項分析

(A) Increase temperature:錯。
通常溫度上升會使 nMOS 的臨界電壓下降。固定 VGV_G 時,VG−VthV_G-V_{\mathrm{th}} 因而增加,反轉層電荷密度通常增加,而非降低。

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第 39 題4 分

Suppose a VGV_G greater than VthV_{\mathrm{th}} is applied. Which of the following factors will decrease the electric field in the oxide?

(A) Increase temperature
(B) Increase oxide thickness
(C) Apply 0.2 V0.2\,\mathrm{V} to the body electrode.
(D) Increase channel width
(E) Use a p+\mathrm{p^+} Si gate

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核心觀念

氧化層電場由氧化層兩側的電位差決定:

Eox=VG−VFB−ψstoxE_{\mathrm{ox}}=\frac{V_G-V_{\mathrm{FB}}-\psi_s}{t_{\mathrm{ox}}}

其中 VFBV_{\mathrm{FB}} 是平帶電壓、ψs\psi_s 是半導體表面電位,toxt_{\mathrm{ox}} 是氧化層厚度。也可用高斯定律表示為 ∣Eox∣=∣Qs∣/εox|E_{\mathrm{ox}}|=|Q_s|/\varepsilon_{\mathrm{ox}},其中 QsQ_s 是半導體表面電荷密度。

以下依一般題意,假設是 nMOS、p 型基板,且比較時 VGV_G 固定。在強反轉區,表面電位大致固定在 2ϕF2\phi_F 附近;若閘極功函數或氧化層厚度改變,氧化層電場也會隨之改變。

解題方法

比較各選項對 VFBV_{\mathrm{FB}}、表面電位、氧化層厚度及表面電荷的影響。對 nMOS 而言,增加 toxt_{\mathrm{ox}} 會降低 EoxE_{\mathrm{ox}};改用 p⁺ 多晶矽閘極則會提高閘極功函數,增加 VFBV_{\mathrm{FB}} 與臨界電壓,在相同 VGV_G 下減少氧化層上的電壓降,因此也會降低 EoxE_{\mathrm{ox}}。

選項分析

  • (A) Increase temperature:錯。 一般 nMOS 的臨界電壓會隨溫度上升而下降。在固定 VGV_G 下,過驅電壓 VG−VthV_G-V_{\mathrm{th}} 增加,通常使反轉電荷與氧化層電場增加。
  • **(B) Increase oxide thickness:對。
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第 40 題4 分

When a VGV_G smaller than VthV_{\mathrm{th}} is applied to a p-type MOS capacitor, which is originally flat band at equilibrium, which of the following items will be affected?

(A) Surface potential φs\varphi_s
(B) Depletion region width WdW_d
(C) Intrinsic carrier density nin_i
(D) Oxide electric field EoxE_{\mathrm{ox}}
(E) ϕF=Ei−EF\phi_F=E_i-E_F in the bulk

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這一題的完整詳解

核心觀念

這題考的是 MOS 電容加上閘極電壓後,哪些量會隨表面能帶彎曲而改變,哪些量仍由半導體材料、溫度與體內摻雜決定。

平帶時 VG=VFBV_G=V_{\mathrm{FB}},表面位勢 φs=0\varphi_s=0。施加閘極電壓後,閘極與半導體間的電壓關係為

VG−VFB=φs−QsCoxV_G-V_{\mathrm{FB}} = \varphi_s-\frac{Q_s}{C_{\mathrm{ox}}}

其中 QsQ_s 是半導體表面電荷,CoxC_{\mathrm{ox}} 是單位面積氧化層電容。表面位勢改變會使半導體表面形成累積、空乏或反轉;體內的材料參數與平衡費米能階則不因表面偏壓而改變。

解題方法

題目未明確說明 VGV_G 相對於平帶電壓的方向。依一般 MOS 操作的慣例,以下採用「由平帶往閾值方向施加偏壓,且處於空乏區」的假設。

對 p 型基板,閘極電壓由平帶往正方向增加時,表面電洞減少,形成空乏區。此時 φs\varphi_s 改變,空乏層寬度為

Wd=2εsiφsqNAW_d=\sqrt{\frac{2\varepsilon_{\mathrm{si}}\varphi_s}{qN_A}}

因此 WdW_d 隨 φs\varphi_s 改變。半導體表面電荷也隨之改變,氧化層電場可由

Eox=∣Qs∣εoxE_{\mathrm{ox}}=\frac{|Q_s|}{\varepsilon_{\mathrm{ox}}}

求得,所以 EoxE_{\mathrm{ox}} 也會改變。

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